特許 5808204 取付部の位置決め方法、ヘッド・サスペンション半製品の製造方法、及びヘッド・サスペンション半製品

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5808204

(24)【登録日】2015年9月18日

(45)【発行日】2015年11月10日

(54)【発明の名称】取付部の位置決め方法、ヘッド・サスペンション半製品の製造方法、及びヘッド・サスペンション半製品

(51)【国際特許分類】

   G11B 21/21 20060101AFI20151021BHJP

   G11B 5/60 20060101ALI20151021BHJP

【ＦＩ】

   G11B21/21 C

   G11B5/60 P

【請求項の数】11

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2011-194354(P2011-194354)

(22)【出願日】2011年9月6日

(65)【公開番号】特開2013-54813(P2013-54813A)

(43)【公開日】2013年3月21日

【審査請求日】2014年4月11日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004640

【氏名又は名称】日本発條株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110629

【弁理士】

【氏名又は名称】須藤 雄一

(74)【代理人】

【識別番号】100166615

【弁理士】

【氏名又は名称】須藤 大輔

(72)【発明者】

【氏名】常盤 忠史

(72)【発明者】

【氏名】守谷 直樹

【審査官】 深沢 正志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−２２５２６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２６０３５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０５９６２１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ１１Ｂ ５／５６ − ５／６０

Ｇ１１Ｂ ２１／１６ − ２１／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

先端側に情報の読み書きを行うヘッド部の取付部を有する可撓性のフレキシャと前記取付部を支持する支持部を有するロード・ビームとを製品外フレーム上で重ね合わせ接合する際に、前記取付部を前記支持部に対して位置決める取付部の位置決め方法であって、
前記先端側が前記製品外フレームに結合されたフレキシャを前記ロード・ビームに重ね合わせて位置決め保持し、
前記製品外フレームの塑性変形により前記フレキシャの先端側を撓ませ前記ロード・ビームの支持部に対する前記フレキシャの取付部の位置調整を行い、
前記ロード・ビームと前記フレキシャとの間を接合して前記取付部の位置調整状態を保持する、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項2】

請求項１記載の取付部の位置決め方法であって、
前記製品外フレームは、前記フレキシャの先端側に結合されたフレキシャ・フレームと前記ロード・ビームに結合されたビーム・フレームとからなり、
前記フレキシャ・フレームとビーム・フレームとは、前記フレキシャとロード・ビームとの位置決め保持状態で相互に重なる重なり部において接合され、
前記取付部の位置調整は、前記フレキシャ・フレーム及びビーム・フレームの少なくとも何れか一方の塑性変形によって行われる、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項3】

請求項２記載の取付部の位置決め方法であって、
前記フレキシャ・フレームは、前記フレキシャの延設方向の軸線に対する両側で前記フレキシャの先端側に結合された一対のフレキシャ側アームを備え、
前記取付部の位置調整は、少なくとも前記フレキシャ側アームの塑性変形により行われる、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項4】

請求項２記載の取付部の位置決め方法であって、
前記フレキシャ・フレーム及びビーム・フレームの一方は、前記フレキシャの幅方向に沿って延設されて前記フレキシャ・フレーム及びビーム・フレームの他方に端部が重なる幅方向アームを備え、
前記幅方向アーム及び前記ビーム・フレーム間は、前記フレキシャの延設方向に沿って延設された延設方向アームを備え、
前記取付部の位置調整は、前記幅方向アーム及び前記延設方向アームの塑性変形により前記幅方向及び前記延設方向での位置調整を各別に行う、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項5】

請求項２記載の取付部の位置決め方法であって、
前記フレキシャ・フレーム及びビーム・フレームの一方は、波形状に延設されて前記フレキシャ・フレーム及びビーム・フレームの他方に端部が重なる波形アームを備え、
前記取付部の位置調整は、前記波形アームの塑性変形により行われる、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項6】

請求項２〜５の何れか1項に記載の取付部の位置決め方法であって、
前記フレキシャ・フレーム及びビーム・フレーム間と前記フレキシャ及びロード・ビーム間に基準孔を備え、
前記位置決め保持は、前記基準孔に対する位置決めピンの挿入によって行われる、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項7】

請求項１〜５の何れか1項に記載の取付部の位置決め方法であって、
前記フレキシャとロード・ビームとの位置決め保持は、位置決め状態で重ね合わされた前記フレキシャとロード・ビームとの間を、前記接合部分よりも前記フレキシャの先端側から離れた位置で仮接合することで行われる、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項8】

請求項２〜５の何れか1項に記載の取付部の位置決め方法であって、
前記フレキシャとロード・ビームとの位置決め保持は、位置決め状態で重ね合わされた前記フレキシャとロード・ビームとの間を、前記接合部分よりも前記フレキシャの先端側から離れた位置で仮接合することで行われ、
前記フレキシャ・フレームとビーム・フレームとの接合及び前記フレキシャとロード・ビームとの仮接合は、レーザー溶接によって同時に行われる、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項9】

請求項１〜８の何れか1項に記載の取付部の位置決め方法であって、
前記塑性変形は、レーザー照射によって行われる、
ことを特徴とする取付部の位置決め方法。

【請求項10】

請求項１〜９の何れか1項に記載の取付部の位置決め方法を用いたヘッド・サスペンション半製品の製造方法であって、
前記フレキシャとロード・ビームとの接合により前記製品外フレームにヘッド・サスペンションが結合されたヘッド・サスペンション半製品を製造する、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション半製品の製造方法。

【請求項11】

請求項１０記載のヘッド・サスペンション半製品の製造方法によって製造されたことを特徴とするヘッド・サスペンション半製品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ヘッド・サスペンションのフレキシャとロード・ビームとを重ね合わせ接合する際に、フレキシャ側のヘッド部の取付部とロード・ビーム側の支持部とを位置決める取付部の位置決め方法、ヘッド・サスペンション半製品の製造方法、及びヘッド・サスペンション半製品に関する。

【背景技術】

【0002】

ハード・ディスク・ドライブのヘッド・サスペンションは、先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビーム及びロード・ビーム上に重ね合わせ接合されたフレキシャを備えている。

【0003】

フレキシャは、ヘッド部に対する導体パターンを備え、先端部に導体パターンのパッド（電極）を有するタング部が取付部として形成されている。タング部の表面には、ヘッド部が取り付けられ、タング部の裏面は、ロード・ビームに形成された支持部としてのディンプルに当接支持されている。

【0004】

このようなヘッド・サスペンションでは、高速で回転するハード・ディスク上でヘッド部を僅かに浮上させてデータの読み書きを可能とする。このとき、ヘッド部は、ディンプルを支点とした揺動により姿勢の安定性が確保される。

【0005】

ヘッド・サスペンションにおいては、この安定性を確保するためにヘッド部とディンプルとの正確な位置決めが必要とされ、その精度もハード・ディスク・ドライブの高速化、高容量化に伴い極めて高いものが要求されている。

【0006】

かかる要求に対し、例えば特許文献１のように、ヘッド部の取付部であるタング部とディンプルとを正確に位置決める技術がある。

【0007】

具体的には、フレキシャ及びロード・ビームに位置決め用のピンを挿通する基準孔を設け、フレキシャ側の基準孔を導体パターンと同時に同一層として形成される導体層により区画している。

【0008】

この技術では、フレキシャとロード・ビームとを基準孔及び位置決めピンで位置決めると、導体パターンとディンプルとを位置決めることができる。これにより、パッド位置に応じたヘッド部の取付位置に対応させて、タング部とディンプルとの正確な位置決めを行うことができる。

【0009】

しかしながら、かかる従来技術では、導体層が一般的に銅等の柔らかい材質からなることから、基準孔自身が容易に変形して位置決め精度を十分に向上させることはできなかった。

【0010】

また、基準孔と位置決めピンとの間にクリアランスが必要となるので、その分、位置決め精度を十分に向上させることはできなかった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開２０１０−４０１１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

解決しようとする問題点は、フレキシャ側のヘッド部の取付部とロード・ビーム側の支持部との位置決め精度の向上に限界があった点である。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明は、フレキシャ側のヘッド部の取付部とロード・ビーム側の支持部との位置決め精度の向上させるために、先端側に情報の読み書きを行うヘッド部の取付部を有する可撓性のフレキシャと前記取付部を支持する支持部を有するロード・ビームとを製品外フレーム上で重ね合わせ接合する際に、前記取付部を前記支持部に対して位置決める取付部の位置決め方法であって、前記先端側が前記製品外フレームに結合されたフレキシャを前記ロード・ビームに重ね合わせて位置決め保持し、前記製品外フレームの塑性変形により前記フレキシャの先端側を撓ませ前記ロード・ビームの支持部に対する前記フレキシャの取付部の位置調整を行い、前記ロード・ビームと前記フレキシャとの間を接合して前記取付部の位置調整状態を保持することを最も主要な特徴とする。

【発明の効果】

【0014】

本発明は、ロード・ビーム及びフレキシャの全体としての位置決めのみでは調整不能な微少量の取付部の位置調整を行うことができ、位置決め精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】位置決め方法を適用して得られたヘッド・サスペンション半製品を示す平面図である（実施例１）。

【図2】位置決め方法を示すフローチャートである（実施例１）。

【図3】（ａ）〜（ｃ）は、図２の位置決め方法の工程を示す概略図である（実施例１）。

【図4】製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である（実施例１）。

【図5】製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である（実施例２）。

【図6】製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である（実施例３）。

【発明を実施するための形態】

【0016】

フレキシャ側のヘッド部の取付部とロード・ビーム側の支持部との位置決め精度を向上させるという目的を、フレキシャとロード・ビームとの位置決め保持状態で、フレキシャに結合された製品外フレームを塑性変形させることで実現した。

【0017】

製品外フレームは、フレキシャの先端側に結合されたフレキシャ・フレームとロード・ビームに結合されたビーム・フレームとからなるのが好ましい。

【0018】

この場合、フレキシャ・フレームとビーム・フレームとは、フレキシャとロード・ビームとの位置決め保持状態で相互に重なる重なり部において接合され、取付部の位置調整は、フレキシャ・フレーム及びビーム・フレームの少なくとも何れか一方の塑性変形によって行えばよい。

【0019】

塑性変形は、レーザー照射によって行うのが好ましいが、例えば圧電素子やリニアモータ等のアクチュエータを用いて製品外フレームに直接外力を加えることで行っても良い。

【実施例1】

【0020】

[ヘッド・サスペンションの半製品]
図１は、本発明の実施例１に係る位置決め方法を適用して得られたヘッド・サスペンション半製品を示す平面図である。

【0021】

図１のヘッド・サスペンション半製品１（以下、単に「サスペンション半製品１」と称する）は、ビーム半製品３とフレキシャ半製品５とを重ね合わせ接合することで形成され、製品外フレーム７にヘッド・サスペンション９が一体に結合されている。このサスペンション半製品１からは、製品外フレーム７の切除と、ヘッド部である磁気ヘッド・スライダ（図示せず）の取り付けとによってヘッド・サスペンション９の完成品が得られる。

【0022】

サスペンション半製品１では、複数のヘッド・サスペンション９を製品外フレーム７に結合して連設してもよい。ただし、本実施例では、図１のように、明確性のために単一のヘッド・サスペンション９が製品外フレーム７に結合されたものとして説明する。

【0023】

ビーム半製品３は、ロード・ビーム１１と、ビーム・フレーム１３とを備えている。

【0024】

ロード・ビーム１１は、スライダに負荷荷重を与えるもので、剛体部１５及びばね部１７を備えている。

【0025】

剛体部１５は、例えばステンレス鋼等の金属製薄板からなっている。剛体部１５の幅方向両縁は、曲げ部１９ａ，１９ｂを備えて剛性を向上している。剛体部１５の先端側には、支持部としてのディンプル２３が設けられ、中間部には、基準孔２５が貫通形成され、基端には、ばね部１７が一体に設けられている。

【0026】

ばね部１７は、一対の脚部２７ａ，２７ｂからなり、その中間部からロード・ビーム１１の基端側端部にわたってベース・プレート３１に重ね合わせ接合されている。この接合は、レーザー溶接による各４箇所の接合部Ｗ１によって行われている。

【0027】

ベース・プレート３１は、例えばステンレス鋼等の金属製薄板からなる。ベース・プレート３１の幅方向一側縁部には、基準孔３３が設けられている。ベース・プレート３１の中央部には、略円形形状のボス部３５が設けられている。このボス部３５を介して、ベース・プレート３１は、図示しないキャリッジ側に取り付けられボイス・コイル・モータによって旋回駆動されることになる。

【0028】

ビーム・フレーム１３は、ロード・ビーム１１のばね部１７に一体に結合され、ロード・ビーム１１同様にステンレス鋼等の金属製薄板からなっている。このビーム・フレーム１３は、ビーム基端側フレーム３７ａ，３７ｂと、ビーム側部フレーム３９ａ，３９ｂと、ビーム先端側フレーム４１とを備えている。

【0029】

ビーム基端側フレーム３７ａ，３７ｂは、ばね部１７の脚部２７ａ，２７ｂの端部からロード・ビーム１１の幅方向に沿って延設されている。ビーム基端側フレーム３７ａ，３７ｂには、ビーム側部フレーム３９ａ，３９ｂが一体に結合されている。ビーム側部フレーム３９ａ，３９ｂは、ロード・ビーム１１の両側で延設方向に沿って設けられている。ビーム側部フレーム３９ａ，３９ｂには、ロード・ビーム１１の先端に対向配置されたビーム先端側フレーム４１が一体に結合されている。このビーム先端側フレーム４１には、基準孔４３が貫通形成されている。

【0030】

ビーム・フレーム１３は、これらのビーム基端側フレーム３７ａ，３７ｂ、ビーム側部フレーム３９ａ，３９ｂ、及びビーム先端側フレーム４１によって区画されたスペースＳ内にロード・ビーム１１を位置させている。

【0031】

フレキシャ半製品５は、フレキシャ４５と、フレキシャ・フレーム４７とを備えている。

【0032】

フレキシャ４５は、可撓性（ばね性）を有する薄いステンレス鋼圧延板（ＳＳＴ）等の導電性基板５０に、電気絶縁層を介して導体パターン５１が形成されている。

【0033】

フレキシャ４５は、ベース・プレート３１側からロード・ビーム１１の先端側にかけて配索されて重ね合わせ接合されている。フレキシャ４５の接合は、ロード・ビーム１１及びベース・プレート３１に対し、レーザー溶接による接合部Ｗ２〜Ｗ８によって行われている。

【0034】

フレキシャ４５の先端側には、スライダの取付部であるタング部４９が片持ち状に設けられている。タング部４９の表面基端側には、導電パターン５１のパッド（電極）５３が配置されている。タング部４９の裏面側は、ロード・ビーム１１のディンプル２３に当接支持されている。

【0035】

フレキシャ４５の中間部には、ロード・ビーム１１の剛体部１５の基準孔２５に対応して基準孔５５が形成されている。この基準孔５５は、フレキシャ４５の導電性基板５０によって区画されている。基準孔５５の延設方向両側には、接合部Ｗ２，Ｗ３が位置している。

【0036】

また、フレキシャ４５の中間部には、剛体部１５の基端部に対応して幅方向の張出部５７ａ，５７ｂが設けられている。張出部５７ａ，５７ｂには、それぞれ接合部Ｗ４，Ｗ５が位置している。

【0037】

ロード・ビーム１１のばね部１７の脚部２７ａ，２７ｂ間では、ベース・プレート３１の端部に対応した中間露出部５９が設けられている。中間露出部５９では、導体パターン５１が迂回して導電性基板５０が露出している。この中間露出部５９には、接合部Ｗ６が位置している。

【0038】

ベース・プレート３１上では、フレキシャ４５が幅方向に変位して端部がベース・プレート３１の一側縁部上に位置している。このフレキシャ４５の端部には、導体パターン５１が迂回による端部露出部６１が設けられている。端部露出部６１には、ベース・プレート３１の基準孔３３に対応して基準孔６３が設けられている。基準孔６３の延設方向両側には、接合部Ｗ７，Ｗ８が位置している。

【0039】

フレキシャ・フレーム４７は、ビーム・フレーム１３と共に製品外フレーム７を構成するものであり、フレキシャ４５の先端側に一体に結合されている。このフレキシャ・フレーム４７は、一対のフレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂと、フレーム本体６７とを備えている。

【0040】

フレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂは、フレキシャ４５の延設方向の軸線に対する両側でフレキシャ４５の先端側に一体に結合されている。この結合部分は、フレキシャ４５先端側のパッド５３に対応した位置となっている。フレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂは、フレキシャ４５の延設方向に沿って設けられて、フレーム本体６７が一体に結合されている。

【0041】

フレーム本体６７は、フレキシャ４５の先端に対向配置されている。フレーム本体６７の端部は、ビーム・フレーム１３のビーム先端側フレーム４１に重なる重なり部６９を形成している。重なり部６９には、ビーム・フレーム１３の基準孔４３に対応した基準孔７１が設けられている。基準孔７１の幅方向両側には、フレキシャ・フレーム４７とビーム・フレーム１３との間の接合部Ｗ９，Ｗ１０がレーザー溶接によって形成されている。
［位置決め方法］
図２は、本発明の実施例１に位置決め方法を示すフローチャート、図３は、図２の位置決め方法の工程を示す概略図である。なお、図３のフレキシャ４５及びロード・ビーム１１は、図１のものと若干異なる部分があるが、基本的には同構造である。これらの図２のフローチャート及び図３の工程図に基づき、図１をも参照しながら本実施例の位置決め方法について説明する。

【0042】

本実施例の位置決め方法は、図１及び図３のようにフレキシャ４５とロード・ビーム１１とを製品外フレーム７上で重ね合わせ接合する際に、フレキシャ４５のタング部４９をロード・ビーム１１のディンプル２３に対して高精度に位置決める。

【0043】

具体的には、図３（ａ）のように、まずフレキシャ半製品５とビーム半製品３とを重ね合わせておく。この状態で、図２のステップＳ１において、フレキシャ４５をロード・ビーム１１に対して位置決め保持する。

【0044】

位置決めは、図３（ａ）及び図１のように、位置決めピン７３，７５，７７を用いて行われる。すなわち、位置決めピン７３，７５，７７を、フレキシャ・フレーム４７及びビーム・フレーム１３の基準孔７１，４３間、フレキシャ４５及びロード・ビーム１１の剛体部１５の基準孔５５，２５間、フレキシャ４５及びベース・プレート３１の基準孔６３，３３間に各別に挿入する。

【0045】

この位置決めにより、フレキシャ４５とロード・ビーム１１との全体としての位置決めが完了する。同時に、フレキシャ４５のタング部４９が、ロード・ビーム１１のディンプル２３に対して大凡位置決められる。

【0046】

位置決め状態の保持は、図１の位置決めピン７３，７５，７７の挿入状態の維持及び図３（ａ）のレーザー照射Ｌ１によるフレキシャ４５とロード・ビーム１１との間の仮接合の何れか一方又は併用で行われる。

【0047】

仮接合は、例えば図１の接合部Ｗ４〜Ｗ８の何れか一つ或いは組み合わせによって行わせることができる。なお、後述する本接合は、接合部Ｗ２〜Ｗ５によって行われる。このため、仮接合は、少なくともタング部４９に最も近接した本接合の接合部Ｗ２よりもフレキシャ４５の先端側から離れた位置で行われる。

【0048】

こうしてステップＳ１が完了してステップＳ２に移行する。

【0049】

ステップＳ２では、図３（ａ）のように、レーザー照射Ｌ２，Ｌ３によって製品外フレーム７の接続を行う。具体的には、フレキシャ・フレーム４７とビーム・フレーム１３との重なり部６９をレーザー溶接による接合部Ｗ９，Ｗ１０で接合する。

【0050】

なお、上記仮接合を行う場合は、フレキシャ４５とロード・ビーム１１との仮接合と同時に、重なり部６９での接合を行うことができる。

【0051】

こうしてステップＳ２が完了してステップＳ３に移行する。

【0052】

ステップＳ３では、ロード・ビーム１１のディンプル２３に対するフレキシャ４５のタング部４９の位置決め精度を測定する。この位置決め精度の測定では、ディンプル２３に対するタング部４９のずれ量が測定される。このずれ量は、基準孔４３，７１，２５，５５，３３，６３と位置決めピン７３，７５，７７とのクリアランスや、フレキシャ４５のパッド位置に応じたスライダの取付位置に基づく数ミクロンの誤差等である。測定は、コンピュータ等の情報処理装置を用い、撮像画像の重ね合わせのような周知の画像処理等を通じて行うことができる。

【0053】

こうしてステップＳ３が完了してステップＳ４に移行する。

【0054】

ステップＳ４では、位置決め精度が許容範囲内か否かの判定が行われる。具体的には、ステップＳ３の測定結果から、タング部４９の位置決め精度が許容範囲内であるか否かを判定する。許容範囲外である場合は、ステップＳ５へ移行し、許容範囲内である場合は、ステップＳ６へ移行する。

【0055】

ステップＳ５では、図３（ｂ）のように、フレキシャ４５のタング部４９の位置調整を、レーザー照射Ｌ４，Ｌ５によるフレキシャ・フレーム４７の塑性変形によって行う。

【0056】

図４は、製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である。

【0057】

図４の斜線で示すように、フレキシャ・フレーム４７の変形領域７９，８１は、フレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂ上に位置している。この変形領域７９，８１に対するレーザー照射により、フレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂが曲げ変形して、フレキシャ４５の先端側を引っ張ることになる。この引っ張りに応じてフレキシャ４５の先端側が撓み、タング部４９がロード・ビーム１１のディンプル２３に対して位置調整される。

【0058】

なお、ステップＳ１において仮接合が行われていても、上記のように本接合の接合部Ｗ２よりもフレキシャ４５の先端側から離れた位置で仮接合が行われているので、フレキシャ４５の先端側の撓みを許容することができタング部４９の位置調整を行わせることができる。

【0059】

位置調整量は、変形領域７９，８１内でのレーザー照射位置やレーザー強度等との関係に応じたものとなる。このため、その関係を調整テーブルとして用意しておくことで、測定された位置決め精度（ずれ量）に応じた位置調整量とすることが可能になる。

【0060】

位置調整後は、ステップＳ３に戻って再度タング部４９の位置決め精度の測定が行われ、以降の処理が繰り返される。これにより、タング部４９の位置決め精度が許容範囲内になるまで位置調整が行われることになる。

【0061】

繰り返しの結果、位置決め精度が許容範囲内となった場合は、上記同様、ステップＳ４からステップＳ６へ移行する。

【0062】

ステップＳ６では、図３（ｃ）のように、レーザー照射Ｌ６，Ｌ７によるフレキシャ４５とロード・ビーム１１との本接合が行われる。具体的には、フレキシャ４５とロード・ビーム１１とを、図１の接合部Ｗ２〜Ｗ５において接合する（仮接合に用いられた接合部Ｗ４又はＷ５を除く）。このとき、仮接合がされていない場合や仮接合に用いられなかった接合部Ｗ４〜Ｗ８においても接合が行われる。

【0063】

本接合が行われると、フレキシャ４５のタング部４９の位置調整状態を保持することができる。

【0064】

こうして、ロード・ビーム１１及びフレキシャ４５の全体としての位置決めのみでは調整不能な上記誤差等に対する数ミクロンの位置調整が完了する。また、フレキシャ４５のタング部４９の位置調整が完了と同時に、サスペンション半製品１の製造も完了する。
［実施例１の効果］
本実施例の位置決め方法では、先端側が製品外フレーム７に結合されたフレキシャ４５をロード・ビーム１１に重ね合わせて位置決め保持し、製品外フレーム７の塑性変形によりフレキシャ４５の先端側を撓ませロード・ビーム１１のディンプル２３に対するフレキシャ４５のタング部４９の位置調整を行い、ロード・ビーム１１とフレキシャ４７との間を接合してタング部４９の位置調整状態を保持する。

【0065】

従って、本実施例では、ロード・ビーム１１及びフレキシャ４５の全体としての位置決めのみでは調整不能な微少量のタング部４９の位置調整を行うことができ、位置決め精度を向上させることができる。

【0066】

特に、ロード・ビーム１１及びフレキシャ４５の全体としての位置決め状態では、基準孔４３，７１，２５，５５，３３，６３と位置決めピン７３，７５，７７とのクリアランスやパッド位置に応じたスライダの取付位置等による数ミクロンの誤差が存在するが、本実施例では、このような誤差に対する数ミクロンの位置決め精度を詰めることができる。

【0067】

また、本実施例では、最終製品であるヘッド・サスペンション９の製造時に切除される不要な製品外フレーム７を塑性変形させるので、ヘッド・サスペンション９側の加工が不要となり動特性の変動等を抑制することができる。

【0068】

本実施例の位置決め方法では、製品外フレーム７の塑性変形を、レーザー照射によって容易且つ確実に行わせることができる。

【0069】

本実施例では、製品外フレーム７が、フレキシャ４５の先端側に結合されたフレキシャ・フレーム４７とロード・ビーム１１に結合されたビーム・フレーム１３とからなり、フレキシャ・フレーム４７とビーム・フレーム１３とが、フレキシャ４５とロード・ビーム１１との位置決め保持状態で相互に重なる重なり部６９において接合され、タング部４９の位置調整が、フレキシャ・フレーム４７の塑性変形によって行われる。

【0070】

従って、本実施例では、フレキシャ・フレーム４７及びビーム・フレーム１３によってフレキシャ４５及びロード・ビーム１１の取り扱いを容易にすることができながら、フレキシャ・フレーム４７及びビーム・フレーム１３を利用してタング部４９の位置調整を行わせることができる。

【0071】

フレキシャ・フレーム４７は、フレキシャ４５の延設方向の軸線に対する両側でフレキシャ４５の先端側に結合された一対のフレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂを備え、タング部４９の位置調整は、フレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂの塑性変形により行われる。

【0072】

従って、本実施例では、より確実にフレキシャ４５の先端側を変位させてタング部４９の位置調整を行わせることができる。

【0073】

本実施例の位置決め方法では、フレキシャ・フレーム４７及びビーム・フレーム１３間とフレキシャ４５及びロード・ビーム１１間に基準孔４３，７１，２５，５５，３３，６３を備え、フレキシャ４５とロード・ビーム１１との位置決め保持が、基準孔４３，７１，２５，５５，３３，６３に対する位置決めピン７３，７５，７７の挿入によって行うことができる。

【0074】

この場合は、タング部４９の位置調整を行わせることができながら、フレキシャ４５とロード・ビーム１１との位置決め保持を容易に行わせることができる。

【0075】

また、本実施例の位置決め方法では、フレキシャ４５とロード・ビーム１１との位置決め保持が、位置決め状態で重ね合わされたフレキシャ４５とロード・ビーム１１との間を、本接合の接合部Ｗ２よりもフレキシャ４５の先端側から離れた位置での仮接合によって行うことができる。

【0076】

この場合は、タング部４９の位置調整を行わせることができながら、フレキシャ４５とロード・ビーム１１との位置決め保持を確実に行わせることができる。

【0077】

本実施例では、フレキシャ４５とロード・ビーム１１とを仮接合する場合、フレキシャ・フレーム４７とビーム・フレーム１３との重なり部分での接合及びフレキシャ４５とロード・ビーム１１との仮接合を、レーザー溶接によって同時に行うことができる。

【0078】

この場合は、フレキシャ４５とロード・ビーム１１とを仮接合しながらも、タング部４９の位置決め及びサスペンション半製品１の製造のタクト・アップを図ることができる。

【0079】

本実施例の位置決め方法（ヘッド・サスペンション半製品の製造方法）では、フレキシャ４５とロード・ビーム１１との本接合により、製品外フレーム７にヘッド・サスペンション９が結合されたサスペンション半製品１を製造することができる。

【0080】

従って、タング部４９の位置調整完了と同時にサスペンション半製品１を製造することができる。

【0081】

こうして製造されたサスペンション半製品１は、フレキシャ４５のタング部４９がロード・ビーム１１のディンプル２３に対して高精度で位置決められているので、スライダとディンプル２３との高精度の位置決めを行わせることができる。

【0082】

このため、サスペンション半製品１では、その後の製品外フレーム７の切除と、スライダの取り付けとにより、精度の高いヘッド・サスペンション９の完成品を得ることができる。

【実施例2】

【0083】

図５は、本発明の実施例２に係る製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である。なお、本実施例では、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する部分に同符号又は同符号にＡを付加した符号を用いて重複した説明を省略する。

【0084】

本実施例では、図５のように、製品外フレーム７Ａに幅方向アーム８３ａ，８３ｂ及び延設方向アーム８５ａ，８５ｂを設けたものである。

【0085】

幅方向アーム８３ａ，８３ｂは、フレキシャ４５の幅方向に沿って延設されている。幅方向アーム８３ａ，８３ｂの一端は、フレキシャ・フレーム４７及びビーム・フレーム１３Ａの一方、本実施例ではビーム・フレーム１３Ａのビーム側部フレーム３９ａ，３９ｂに一体に結合されている。幅方向アーム８３ａ，８３ｂの他端は、フレキシャ・フレーム４７及びビーム・フレーム１３Ａの他方、本実施例ではフレキシャ・フレーム４７のフレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂに重なっている。この重なりによって、フレキシャ・フレーム４７とビーム・フレーム１３Ａとの重なり部６９Ａ，６９Ａが形成されている。

【0086】

延設方向アーム８５ａ，８５ｂは、フレキシャ４５の延設方向に沿って延設されている。この延設方向アーム８５ａ，８５ｂは、その一端がビーム・フレーム１３Ａのビーム先端側フレーム４１に、中間部が幅方向アーム８３ａ，８３ｂに、他端が補強アーム部８７ａ，８７ｂに一体に結合されている。

【0087】

補強アーム部８７ａ，８７ｂは、フレキシャ４５の幅方向に沿って延設され、一端が延設方向アーム８５ａ，８５ｂに、他端がビーム・フレーム１３Ａのビーム側部フレーム３９ａ，３９ｂに一体に結合されている。

【0088】

上記幅方向アーム８３ａ，８３ｂ及び延設方向アーム８５ａ，８５ｂには、変形領域８９ａ，８９ｂ，９１ａ，９１ｂが設定されている。従って、本実施例では、幅方向アーム８３ａ，８３ｂ及び延設方向アーム８５ａ，８５ｂの塑性変形により、タング部４９の幅方向及び延設方向での位置調整を各別に行わせることができる。

【0089】

なお、フレキシャ・フレーム４７のフレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂの塑性変形を併用しても良い。

【0090】

かかる本実施例では、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができる。加えて、幅方向アーム８３ａ，８３ｂ及び延設方向アーム８５ａ，８５ｂの塑性変形により、タング部４９の幅方向及び延設方向での位置調整を各別に行わせることができるので、より高精度のタング部４９の位置調整を行わせることができる。

【実施例3】

【0091】

図６は、本発明の実施例３に係る製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である。なお、本実施例では、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する部分に同符号又は同符号にＢを付加した符号を用いて重複した説明を省略する。

【0092】

本実施例では、図６のように、製品外フレーム７Ｂに波形アーム９３ａ，９３ｂを設けたものである。

【0093】

波形アーム９３ａ，９３ｂは、フレキシャ４５の幅方向に沿って延設され、延設軸に対する交差方向に複数折り返しされた波形状に湾曲している。なお、波形形状は、特に限定されるものではなく、正弦波状、のこぎり波状、矩形波状、台形波、或いは三角波形状等とするこができる。

【0094】

波形アーム９３ａ，９３ｂの一端は、フレキシャ・フレーム４７及びビーム・フレーム１３Ｂの一方、本実施例ではビーム・フレーム１３Ｂのビーム側部フレーム３９ａ，３９ｂに一体に結合されている。波形アーム９３ａ，９３ｂの一端は、フレキシャ・フレーム４７及びビーム・フレーム１３Ｂ他方、本実施例ではフレキシャ・フレーム４７のフレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂに重なっている。

【0095】

この波形アーム９３ａ，９３ｂは、その波形部９５ａ，９５ｂに変形領域９７ａ，９７ｂが設定されている。従って、本実施例では、波形アーム９３ａ，９３ｂの塑性変形により、タング部４９の位置調整を行わせることができる。

【0096】

なお、フレキシャ・フレーム４７のフレキシャ側アーム６５ａ，６５ｂの塑性変形を併用しても良い。

【0097】

かかる本実施例では、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができる。

【0098】

加えて、本実施例では、製品外フレーム７上にヘッド・サスペンション９が複数連接されている場合に、隣接するヘッド・サスペンション９相互間でタング部４９の位置調整による影響を緩衝することができる。
［その他］
上記実施例では、製品外フレーム７，７Ａ，７Ｂがフレキシャ・フレーム４７とビーム・フレーム１３，１３Ａ，１３Ｂとからなっていたが、ビーム・フレームを省略する等のように製品外フレームがフレキシャ４５のみに結合される構成であってもよい。

【0099】

このように構成しても、製品外フレームの塑性変形によってフレキシャ４５のタング部４９の位置調整を上記実施例同様に行わせることができる。

【符号の説明】

【0100】

１ ヘッド・サスペンション半製品
７ 製品外フレーム
９ ヘッド・サスペンション
１１ ロード・ビーム
１３ ビーム・フレーム
２３ ディンプル（支持部）
４５ フレキシャ
４７ フレキシャ・フレーム
４９ タング部（取付部）
６５ａ，６５ｂ フレキシャ側アーム
６７ フレーム本体
６９ 重なり部
７９，８１ 変形領域
Ｗ２〜Ｗ８ 接合部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】