特許第5809264号(P5809264)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5809264プラズマを生成するための電極、この電極を有するプラズマチャンバ、及び層又はプラズマをリアルタイム分析又はリアルタイム処理をするための方法
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