特許5810701光近接効果補正方法、設計方法及び設計装置

発明の名称　光近接効果補正方法、設計方法及び設計装置

出願人　株式会社ソシオネクスト　（識別番号 514315159）

　　　　特許公開件数ランキング 1631 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 760 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5810701

公報発行日　2015年11月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5810701

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