特許第5813007号(P5813007)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5813007マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)デバイスのための音響(acoustic)エアチャネルを有するリードフレームベースのプリモールドされたパッケージ