特許第5816349号(P5816349)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5816349基体上に膜を堆積する方法および気化前駆体化合物を送達する装置
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  • 特許5816349-基体上に膜を堆積する方法および気化前駆体化合物を送達する装置 図000005
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