特許 5816561 基板処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5816561

(24)【登録日】2015年10月2日

(45)【発行日】2015年11月18日

(54)【発明の名称】基板処理装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20151029BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/04 A

   H05K13/04 Z

【請求項の数】6

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2012-4219(P2012-4219)

(22)【出願日】2012年1月12日

(65)【公開番号】特開2013-143547(P2013-143547A)

(43)【公開日】2013年7月22日

【審査請求日】2014年8月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001036

【氏名又は名称】特許業務法人暁合同特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 利道

(72)【発明者】

【氏名】岡田 篤史

【審査官】 遠藤 秀明

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−２１６６１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２０１０６０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ １３／００−１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に所定の作業を行うヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを一軸方向に移動させる移動装置と、
を備え、
前記移動装置は、ガイドレールと、前記ガイドレールに沿って移動するスライド部とを有し、
前記ヘッドユニットは、少なくとも一部が前記スライド部のうちその移動方向の端面から外側に突出する位置に固定されている基板処理装置であって、
前記移動装置は、前記ガイドレールの端面が対向するようにして一対設けられ、
前記ヘッドユニットは、前記スライド部の端面から前記ガイドレールの端面が対向する側に突出する位置に固定されている基板処理装置。

【請求項2】

前記ガイドレールの一端側には、前記ガイドレールと略直交するフレームが備えられ、
前記ガイドレールは、前記フレームの側面と交差して延びている請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項3】

前記ガイドレールの一端側には、前記ガイドレールと略直交するフレームが備えられ、
前記移動装置は、前記フレームに片持ち状に支持されており、
前記ヘッドユニットは、前記スライド部の端面から前記フレームとは反対側に突出する位置に固定されている請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置。

【請求項4】

前記移動装置には、前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動領域に突出して前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動を規制する移動規制位置と、前記スライド部および前記ヘッドユニットの移動領域から退避して前記スライド部および前記ヘッドユニットの移動を許容する移動許容位置との間を移動可能な可動ストッパが備えられている請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の基板処理装置。

【請求項5】

前記可動ストッパは、前記ガイドレールの端部に備えられ、
前記基板への所定の作業が停止されると、前記可動ストッパが前記移動規制位置に移動して前記ガイドレールの端部に位置する前記スライド部または前記ヘッドユニットに当接し、前記スライド部または前記ヘッドユニットが前記ガイドレールの中心側に押し戻される請求項４に記載の基板処理装置。

【請求項6】

前記可動ストッパのうち前記スライド部または前記ヘッドユニットに当接する当接部は、前記ガイドレールの中心側から端側に向かって、前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動領域への突出寸法が少しずつ増す傾斜面とされている請求項５に記載の基板処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板に対して各種作業を行う基板処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、各種の電子部品を基板に実装する作業は、複数の作業（例えば基板にクリーム半田を印刷する半田印刷作業、基板に電子部品を装着する部品装着作業、電子部品が装着された基板を加熱することで半田付けを行う半田付け作業、各作業の作業結果を検査する検査作業等）によって構成されている。そして、これら基板に対して行われる各種の作業は、半田印刷機、部品装着機、リフロー炉、検査機等、各種の基板処理装置によってなされる。

【0003】

基板処理装置として、基板に所定の作業を行うヘッドユニットを、ガイドレールに沿って一軸方向に移動させる移動装置を備えたものが知られている。しかし、この移動装置では、ヘッドユニットの移動がガイドレールの敷設範囲内に制限されるので、その範囲外（ガイドレールの軸方向の端面よりも外側）がヘッドユニットのデッドスペースにならざるを得なかった。

【0004】

そこで、このようなヘッドユニットのデッドスペースをなくすべく、例えば、下記特許文献１に記載の基板処理装置は、２段式の移動装置を備えている。この２段式の移動装置は、Ｘ軸方向に延びるガイドレールをそれぞれ有する第１軌道形成部と第２軌道形成部とを備え、第１軌道形成部は、Ｘ軸方向には移動しないで所定の位置を保ち、第２軌道形成部は、第１軌道形成部に沿ってＸ軸方向に移動するものとされ、さらにヘッドユニットは、第２軌道形成部に沿ってＸ軸方向に移動するものとされている。この２段式の移動装置によれば、第２軌道形成部が第１軌道形成部のガイドレールの端面よりも外側に突出する位置まで移動し、さらに、ヘッドユニットが第２軌道形成部のガイドレールの端部に移動することで、ヘッドユニットが第１軌道形成部のガイドレールの端面よりも外側に到達できるものとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００９−１１１４２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、上記のように、第２軌道成形部とヘッドユニットとがそれぞれ移動する２段式の移動装置では、複雑な制御が必要であるため工夫が望まれていた。

【0007】

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、複雑な制御を要することなく、ヘッドユニットをガイドレールの端面よりも外側に突出する位置まで移動することが可能な基板処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の基板処理装置は、基板に所定の作業を行うヘッドユニットと、前記ヘッドユニットを一軸方向に移動させる移動装置と、を備え、前記移動装置は、ガイドレールと、前記ガイドレールに沿って移動するスライド部とを有し、前記ヘッドユニットは、少なくとも一部が前記スライド部のうちその移動方向の端面から外側に突出する位置に固定されている。

【0009】

このような構成によれば、スライド部がガイドレールの端まで移動したときには、少なくともヘッドユニットの一部がガイドレールの端面よりも外側に突出する。また、移動装置はスライド部が移動する１段式のものであるから、複雑な制御を要することなく、ヘッドユニットをガイドレールの端面よりも外側に突出する位置まで移動することができる。

【0010】

また、前記移動装置は、前記ガイドレールの端面が対向するようにして一対設けられ、前記ヘッドユニットは、前記スライド部の端面から前記ガイドレールの端面が対向する側に突出する位置に固定されているものとしてもよい。

【0011】

このような構成によれば、スライド部がガイドレールの端まで移動したときには、少なくともヘッドユニットの一部が一対のガイドレールの端面の間に突出するから、この間がデッドスペースになることを防ぐことができる。

【0012】

また、前記ガイドレールの一端側には、前記ガイドレールと略直交するフレームが備えられ、前記ガイドレールは、前記フレームの側面と交差して延びているものとしてもよい。ここで、ガイドレールがフレームの側面と交差することなくその手前で止まっている場合には、ヘッドユニットの移動範囲はフレームの手前までに限られる。しかしながら、ガイドレールがフレームの側面と交差して延びているから、ヘッドユニットはより広い範囲で移動することができる。

【0013】

また、ガイドレールの一端側には、前記ガイドレールと略直交するフレームが備えられ、前記移動装置は、前記フレームに片持ち状に支持されており、前記ヘッドユニットは、前記スライド部の端面から前記フレームとは反対側に突出する位置に固定されているものとしてもよい。

【0014】

また、前記移動装置には、前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動領域に突出して前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動を規制する移動規制位置と、前記スライド部および前記ヘッドユニットの移動領域から退避して前記スライド部および前記ヘッドユニットの移動を許容する移動許容位置との間を移動可能な可動ストッパが備えられているものとしてもよい。
このような構成によれば、可動ストッパを移動させることで、ヘッドユニットの移動領域を適宜可変することができる。

【0015】

また、前記可動ストッパは、前記ガイドレールの端部に備えられ、前記基板への所定の作業が停止されると、前記可動ストッパが前記移動規制位置に移動して前記ガイドレールの端部に位置する前記スライド部または前記ヘッドユニットに当接し、前記スライド部または前記ヘッドユニットが前記ガイドレールの中心側に押し戻されるものとしてもよい。

【0016】

このような構成によれば、基板への所定の作業が停止されたときには、ヘッドユニットはガイドレールの中心側に引っ込むので、例えば作業員が手動で移動装置を動かした場合に、ヘッドユニットが周囲に衝突する事態を防ぐことができる。

【0017】

また、前記可動ストッパのうち前記スライド部または前記ヘッドユニットに当接する当接部は、前記ガイドレールの中心側から端側に向かって、前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動領域への突出寸法が少しずつ増す傾斜面とされているものとしてもよい。
このような構成によれば、可動ストッパによって、スライド部またはヘッドユニットを、ガイドレールの中心側にスムーズに押し戻すことができる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、複雑な制御を要することなく、ヘッドユニットをガイドレールの端面よりも外側に突出する位置まで移動することが可能な基板処理装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本実施形態における部品実装装置を示す斜視図

【図2】部品実装装置を示す平面図

【図3】アームおよびヘッドユニットを示す部品実装装置の一部拡大斜視図

【図4】アームおよびヘッドユニットを示す部品実装装置の一部拡大図

【図5】可動ストッパが移動規制位置にある状態を示す断面図であって、図４のＡ−Ａ位置における断面に相当する断面図

【図6】ヘッドユニットがＸ方向レールの端に移動した状態を示す一部拡大断面図

【図7】ヘッドユニットが可動ストッパによってＸ方向レールの中心側に押し戻された状態を示す一部拡大断面図

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明を具体化した一実施形態について、図１〜図７を参照しつつ詳細に説明する。
本実施形態における基板処理装置は、所定の位置（実装作業位置）に搬送された基板（図示せず）に対し、部品供給部１１から電子部品（図示せず）をピックアップして実装する部品実装装置１０である。

【0021】

部品実装装置１０は、部品供給部１１から実装作業位置へ電子部品を移送して実装作業を行うヘッドユニット５０を備えている。ヘッドユニット５０は複数（本実施形態では４つ）が備えられており、例えば、基台１２上にセットされた４枚の基板に対して各ヘッドユニット５０が個別に実装作業を行ったり、基台１２上にセットされた１枚または２枚の基板に対して複数のヘッドユニット５０が同時に実装作業を行うことが可能とされている。以下、各構成部材において、基板の搬送方向と平行方向をＸ軸方向、基板の搬送方向と直角方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向として説明する。

【0022】

部品実装装置１０の基台１２には、基板を搬送するとともに所定の位置で停止させることが可能なコンベア１３が備えられている（図２参照）。コンベア１３は、基台１２の幅方向（Ｙ軸方向）の略中央に一対ずつ、計４つが設けられ、これにより基板の搬送路が１レーンまたは２レーン構成されるようになっている。すなわち大型の基板であれば、一対ずつあるコンベア１３のうち一方の一対のコンベア１３の幅を狭くするとともに他方の一対のコンベア１３の幅を拡げ、この拡幅された側の一対のコンベア１３に基板を配置することで基板を１列に並べて搬送することができ、小型の基板であれば、一対のコンベア１３にそれぞれ基板を配置することで基板を２列に並べて搬送することができる。

【0023】

部品供給部１１は、自在に移動可能とされた一括交換台車であり、コンベア１３の両側（図２の左右両側）の着脱スペースＳに着脱可能とされている。各部品供給部１１には、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の電子部品を供給する部品フィーダー１４が、多数セットされている。着脱スペースＳに装着された部品供給部１１の上方は、図示しない開閉カバーによって覆われる。そして、部品実装装置１０の動作中に開閉カバーが開けられると、その動作が非常停止するようになっている。

【0024】

部品実装装置１０は、コンベア１３の上方においてＹ軸方向に延びる２本のフレーム２０と、２本のフレーム２０の間においてＸ軸方向に延びるアーム（移動装置）３０とを備え、アーム３０には、ヘッドユニット５０が備えられている。

【0025】

アーム３０は、フレーム２０に沿ってＹ軸方向に移動可能とされ、ヘッドユニット５０はアーム３０に沿ってＸ軸方向に移動可能とされている。これにより、ヘッドユニット５０は、ＸＹ方向に自在に水平移動可能とされている。

【0026】

アーム３０は、フレーム２０に片持ち状に支持され、各フレーム２０に一対ずつ、計４つが備えられている。各アーム３０は、フレーム２０から基台１２の中心に向かって延び、一方のフレーム２０に支持されたアーム３０と、他方のフレーム２０に支持されたアーム３０とが、基台１２の中心を挟んで向き合うように配置されている。なお、一方のフレーム２０に支持されたアーム３０と、他方のフレーム２０に支持されたアーム３０とからなる一対のアーム３０の組み合わせを一対の対向アーム３０Ａ，３０Ｂと称する。
各アーム３０のフレーム２０からの突出寸法は、一対の対向アーム３０Ａ，３０ＢがＸ軸方向に並んだ場合に、その自由端同士が接触しないように設定されている。

【0027】

アーム３０は、リニアモータ駆動により、フレーム２０に沿ってＹ軸方向に自在に移動可能とされている。リニアモータとして、フレーム２０の内側面に、固定永久磁石で構成されたマグネットプレート２１が取り付けられ、アーム３０の基端側に、複数のコイルで構成された可動部３１が取り付けられている。また、リニアガイドとして、各フレーム２０には、その全長にわたり上下一対のＹ方向レール２２が備えられ、アーム３０には、Ｙ方向レール２２に嵌合した状態でＹ方向レール２２に沿って移動可能なＹ方向スライダ３２が備えられている。

【0028】

基台１２の複数個所には、共通認識マークが印された円柱状をなすマーク部材（図示せず）を立設可能なマーク設置部１５が設けられている。マーク設置部１５は、円形状をなして凹み形成された凹部である。基台１２に設けられた複数のマーク設置部１５は、コンベア１３の両外側に設けられ、基台１２のＸ軸方向の中心に位置している（図２参照）。この基台１２の中心に位置するマーク設置部１５は、コンベア１３に沿って３つずつ並んで設けられ、そのうちの一つ（真ん中に位置するマーク設置部１５）は、一対の対向アーム３０Ａ，３０Ｂの自由端の間に形成される隙間の真下に位置している。

【0029】

ヘッドユニット５０は、電子部品をピックアップまたは装着し得る複数本の吸着ノズル５１を備えている。吸着ノズル５１は、電子部品をピックアップまたは装着する際に下降するとともに、電子部品をピックアップまたは装着する向きにあわせて垂直方向の軸線周りに回転する。吸着ノズル５１は、Ｘ軸方向に複数本（本実施形態では６本）並べられた列が、Ｙ軸方向に複数列（本実施形態では２列）並べられている。吸着ノズル５１は、図４に示すように、ヘッドユニット５０の幅方向の両端寄りの位置に、半数ずつに分かれて配置されている。なお、吸着ノズル５１は、リニアモータ駆動により、個別に昇降可能とされている。

【0030】

ヘッドユニット５０の背面側（アーム３０側）には、ベースプレート５２が備えられている。ベースプレート５２は、ヘッドユニット５０の背面側の略全体を覆う略長方形の板状とされ、その上下方向の寸法は、アーム３０の略全高にわたる寸法とされている（図３参照）。

【0031】

また、ベースプレート５２の背面側には、図５に示すように、一対のダンパ（第１ダンパ５３Ａおよび第２ダンパ５３Ｂと称する）が設けられている。一対のダンパ５３Ａ，５３Ｂは、ヘッドユニット５０の幅方向の略中心に突設された突出部５４を挟んでその両側に設けられている。一対のダンパ５３Ａ，５３Ｂは、ともにウレタン製とされ、それぞれ後述する固定ストッパ３６Ａ，３６Ｂに対応して備えられている。なお、一対のダンパ５３Ａ，５３Ｂは、必ずしもウレタン製でなくてもよく、例えばゴム製やばね等であってもよい。

【0032】

また、ベースプレート５２の背面側には、シャフト５５が備えられている。シャフト５５は、その両端がベアリングを介してベースプレート５２に取り付けられ、回転可能に軸支されている。シャフト５５は、ヘッドユニット５０の幅方向の略中心に位置し、一対のダンパ５３Ａ，５３Ｂよりもさらに背面側に設けられている。シャフト５５は上下方向に延びる細長い円柱状とされ、その長さ寸法は、後述する上下のＸ方向レール３４の間に収まる寸法とされている。そして、シャフト５５は、上下のＸ方向レール３４の間において、上下のＸ方向レール３４と垂直方向に重なる位置に配される。

【0033】

ヘッドユニット５０には、基台１２の共通認識マーク、および基板の基準マーク（図示せず）を認識するマーク認識装置５６が備えられている。マーク認識装置５６は、図３に示すように、ヘッドユニット５０の下端（ベースプレート５２よりも下側）に固定され、ヘッドユニット５０と共にＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する。マーク認識装置５６は、全体としてヘッドユニット５０の幅方向に細長い箱型とされ、その一端はヘッドユニット５０の側面からフレーム２０側に突出し、他端はヘッドユニット５０の側面と揃う位置に配されている。マーク認識装置５６のフレーム２０側の端部にはＣＣＤカメラ５７が備えられ、図示しない複数のミラーにより、マーク認識装置５６の長手方向の両端部の真下の画像を撮像可能とされている。

【0034】

ヘッドユニット５０は、ボールねじ駆動により、アーム３０に沿ってＸ軸方向に自在に移動可能とされている。アーム３０には、Ｘ軸方向に延びるボールねじ軸と、このボールねじ軸を駆動するサーボモータ３３とが備えられている。

【0035】

また、アーム３０には、Ｘ方向レール（ガイドレール）３４と、Ｘ方向レール３４に嵌合した状態でＸ方向レール３４に沿って移動可能なＸ方向スライダ（スライド部）３５とが備えられている。

【0036】

Ｘ方向レール３４は、図４に示すように、上下に一対が設けられ、ともにアーム３０のＸ軸方向の略全長にわたって延びている。上側のＸ方向レール３４はフレーム２０よりも上側に位置し、下側のＸ方向レール３４はフレーム２０よりも下側に位置しており、上下のＸ方向レール３４はともにフレーム２０の内側面（側面）と交差して延びている。また、上下のＸ方向レール３４の他方の端面は、アーム３０の自由端側の側面とＸ軸方向における位置が同等の位置に達している。

【0037】

Ｘ方向スライダ３５は、上下のＸ方向レール３４に対応して一対ずつ設けられている。各Ｘ方向スライダ３５は、各Ｘ方向レール３４に嵌合する断面略コの字状をなして、Ｘ方向レール３４に沿って細長い形状に形成されている。そして、各Ｘ方向レール３４に設けられた一対のＸ方向スライダ３５は、Ｘ方向レール３４の延び方向に接して配置されている。Ｘ方向スライダ３５は、その移動方向の端面（長手方向の端面）がＸ方向レール３４の端面から突出しない範囲内で、Ｘ方向レール３４に沿ってその全長にわたり移動可能とされている。なお、連なって配置された一対のＸ方向スライダ３５の長手方向の合計寸法は、ベースプレート５２の幅寸法よりも若干大きい寸法とされている。

【0038】

そして、ヘッドユニット５０は、図５に示すように、Ｘ方向スライダ３５に対してアーム３０の自由端側にずれた位置に固定されている。これにより、ヘッドユニット５０の一部がＸ方向スライダ３５の両端面のうちアーム３０の自由端側に位置する端面３５Ａから外側に突出している。ヘッドユニット５０は、その幅方向の略中心位置がＸ方向スライダ３５の端部に固定されており、ヘッドユニット５０の幅方向の半分弱（ヘッドユニット５０の幅方向の一端寄りに配置された吸着ノズル５１群が含まれる範囲）が、Ｘ方向スライダ３５の端面３５Ａから突出している。

【0039】

アーム３０には、図４に示すように、一対の固定ストッパ３６Ａ，３６Ｂが備えられている。一対の固定ストッパ３６Ａ，３６Ｂのうち一方（第１固定ストッパ３６Ａと称する）はアーム３０の自由端側に設けられ、他方（第２固定ストッパ３６Ｂと称する）はアーム３０の基端側に設けられている。両固定ストッパ３６Ａ，３６Ｂは、上下方向に長い略長方形の板状とされ、第２固定ストッパ３６Ｂは第１固定ストッパ３６Ａよりもその長さ寸法が大きくされている。第１固定ストッパ３６Ａおよび第２固定ストッパ３６Ｂの上端面の高さ位置はほぼ等しくされ、第１固定ストッパ３６Ａは、上側のＸ方向レール３４に寄った位置に設けられている。第１固定ストッパ３６Ａの側面は、アーム３０の側面およびＸ方向レール３４の端面とほぼ面一（Ｘ軸方向における位置が同等）とされている。また、第２固定ストッパ３６Ｂは、可動部３１と隣接して設けられている。

【0040】

アーム３０の自由端側には、アーム３０に対してＹ軸方向に相対移動可能な可動ストッパ３７が備えられている。可動ストッパ３７は、第１固定ストッパ３６Ａの内側（基端側）に隣接して設けられ、全体としてＹ軸方向に長い形状とされている（図５参照）。

【0041】

可動ストッパ３７は、アーム３０に対してＹ軸方向に相対移動することにより、ヘッドユニット５０の移動領域に突出してヘッドユニット５０の移動を規制する移動規制位置（図５参照）と、ヘッドユニット５０の移動領域から退避してヘッドユニット５０の移動を許容する移動許容位置（図６参照）との間を移動する。

【0042】

可動ストッパ３７のうち一端側は、可動ストッパ３７が移動規制位置に至ると上下のＸ方向レール３４の間に突出するストッパ部３８とされている。ストッパ部３８には、ダンパー（第３ダンパ３９と称する）が備えられている。第３ダンパ３９は、ウレタン製とされ、ストッパ部３８の上下方向にわたる細長い柱状とされている。第３ダンパ３９は、ストッパ部３８の側面（第１固定ストッパ３６Ａとは反対側の側面）に備えられ、可動ストッパ３７が移動規制位置にあるときには、ヘッドユニット５０のシャフト５５とＸ軸方向に並んで（対向して）配される（図５参照）。なお、第３ダンパ３９は、第１ダンパ５３Ａおよび第２ダンパ５３Ｂと同様、必ずしもウレタン製でなくてもよく、例えばゴム製やばね等であってもよい。

【0043】

可動ストッパ３７のうちストッパ部３８とは反対側（部品供給部１１側）の端部には、ハンドル４１が設けられている。このハンドル４１を握ってＹ軸方向に押し引きすることで、アーム３０を手動でＹ軸方向に移動させることができる。

【0044】

そして、可動ストッパ３７が移動規制位置にあるときには、ストッパ部３８が第１固定ストッパ３６Ａの内側に突出し、ストッパ部３８の幅寸法分だけヘッドユニット５０の移動範囲が狭まり、可動ストッパ３７が移動許容位置にあるときには、ストッパ部３８が第１固定ストッパ３６Ａの内側から退避し、ストッパ部３８の幅寸法分だけヘッドユニット５０の移動範囲が広くなる。

【0045】

そして、ヘッドユニット５０の移動には予め規制値が設定されている。本実施形態の部品実装装置１０においては、ヘッドユニット５０の吸着ノズル５１が電子部品をピックアップまたは装着する部品実装作業時には、可動ストッパ３７が移動規制位置に配置され、ヘッドユニット５０は第２固定ストッパ３６Ｂと可動ストッパ３７との間を移動するように設定されている。また、ヘッドユニット５０のマーク認識装置５６がマークを認識するマーク認識作業時には、可動ストッパ３７が移動許容位置に配置され、ヘッドユニット５０は第２固定ストッパ３６Ｂと第１固定ストッパ３６Ａとの間を移動するように設定されている。なお、部品実装作業時のヘッドユニット５０の移動範囲を通常移動範囲と称し、マーク認識作業時のヘッドユニット５０の移動範囲を拡張移動範囲と称する。

【0046】

通常移動範囲および拡張移動範囲の一端側（アーム３０の基端側）の位置は等しく、ヘッドユニット５０が最も一端側に移動したときには、第１ダンパ５３Ａの側面が第２固定ストッパ３６Ｂに近接して配される。このとき、Ｘ方向スライダ３５は、フレーム２０の上方および下方にそれぞれ突入し、ヘッドユニット５０の側面は、フレーム２０の内側面に近接して配される。

【0047】

通常移動範囲および拡張移動範囲の他端側（アーム３０の自由端側）の位置は異なり、ヘッドユニット５０が通常移動範囲の最も他端側に移動したときには、ヘッドユニット５０のシャフト５５が可動ストッパ３７の第３ダンパ３９に近接して配され、ヘッドユニット５０が拡張移動範囲の最も他端側に移動したときには、ヘッドユニット５０の第２ダンパ５３Ｂが第１固定ストッパ３６Ａに近接して配される。なお、第２ダンパ５３Ｂの角部には、後述する可動ストッパ３７の当接部４２の傾斜と同等の勾配の傾斜面が形成されている。

【0048】

可動ストッパ３７は、移動規制位置に移動するとヘッドユニット５０のシャフト５５に当接する当接部４２を有している。当接部４２は、ストッパ部３８の先端に設けられ、Ｘ方向レール３４の中心側から自由端側に向かって、ヘッドユニット５０の移動領域への突出寸法が少しずつ増す傾斜面とされている。

【0049】

次に、部品実装装置１０による作業の一例を説明する。
まず、マーク認識作業を行う。
最初に、基台１２の共通認識マークを認識する。ここでは、基台１２の共通認識マークが基台１２の中心に設置されている場合について説明する。

【0050】

一対の対向アーム３０Ａ，３０Ｂに備えられたヘッドユニット５０により、同一の共通認識マークを認識する。まず、一対の対向アーム３０Ａ，３０Ｂのうちの一方のアーム３０Ａに備えられたヘッドユニット５０により、共通認識マークの認識作業を行う。この共通マーク認識作業時には、図６に示すように、可動ストッパ３７が移動許容位置に配置され、ヘッドユニット５０は、拡張移動範囲内を移動可能となる。また、他方のアーム３０Ｂにおいては、可動ストッパ３７が移動規制位置に配置され、ヘッドユニット５０は、通常移動範囲内に配される。

【0051】

そして、一方のアーム３０Ａのヘッドユニット５０を拡張移動範囲の端まで移動させる。すると、アーム３０Ａに備えられた図示しないセンサにより、ヘッドユニット５０が拡張移動範囲の端に配されたことが認識される。このとき、ヘッドユニット５０の幅方向の一端側がＸ方向レール３４の端面よりも外側に突出し、マーク認識装置５６の端部が共通認識マークの真上に到達する。そして、マーク認識装置５６により基台１２の共通認識マークを撮像して認識する。

【0052】

共通認識マークの撮像が終了すると、この一方のアーム３０Ａにおいては、可動ストッパ３７が移動規制位置に配され、ヘッドユニット５０の移動が通常移動範囲内に制限される。

【0053】

こうして、一のヘッドユニット５０によるマーク認識作業が終了したら、次のヘッドユニット５０によるマーク認識作業を開始する。この次のヘッドユニット５０によるマーク認識作業は、先に述べたのと同様の手順でなされる。このとき、先にマーク認識作業を終えたヘッドユニット５０は、通常移動範囲内に配されているから、先にマーク認識作業を終えたヘッドユニット５０と、次にマーク認識作業を行うヘッドユニット５０との衝突が回避される。

【0054】

そして、各ヘッドユニット５０に備えられたマーク認識装置５６により、同一の共通認識マークが認識されたら、それぞれ算出された座標に基づいて、この座標が一致するよう、各ヘッドユニット５０の座標系の補正がなされる。

【0055】

ところで、マーク認識作業の途中で、例えば開閉カバーが開けられることにより、部品実装装置１０が非常停止する場合がある。すると、図７に示すように、マーク認識作業中のアーム３０において可動ストッパ３７が移動規制位置に飛び出し、拡張移動範囲の端に配されたヘッドユニット５０のシャフト５５に当接して、このシャフト５５をＸ方向レール３４の中心側に押し戻す。これにより、ヘッドユニット５０が通常移動範囲内に配されるので、例えば作業員が手動でアーム３０を動かした場合に、ヘッドユニット５０が周囲に衝突する事態を防ぐことができる。なお、可動ストッパ３７がシャフト５５を押し戻す際には、シャフト５５が回転し、押し戻しが容易になされる。

【0056】

次に、基板の基準マークを認識する。
各ヘッドユニット５０は、基板の基準マークを認識することで基板の固定位置を認識する。なお、基板の基準マークが基台１２の中心（通常移動範囲内のヘッドユニット５０からデッドスペースとなる部分）に位置している場合には、共通マーク認識作業時と同様に、可動ストッパ３７を移動許容位置に配置し、ヘッドユニット５０を拡張可能範囲の端まで移動させて基準マークの認識作業を行う。

【0057】

その後、部品実装作業を行う。
各ヘッドユニット５０は、基板の固定位置に基づき、電子部品の搭載位置を補正して電子部品を基板上に実装する。この部品実装作業時には、可動ストッパ３７は移動規制位置に配置され、ヘッドユニット５０は通常移動範囲内を移動する。なお、アーム３０に備えられた図示しないセンサにより、可動ストッパ３７が移動規制位置に配されていることが認識される。

【0058】

また、マーク認識作業中や部品実装作業中に、万が一ヘッドユニット５０が第１固定ストッパ３６Ａ、第２固定ストッパ３６Ｂ、または可動ストッパ３７に衝突しそうになった場合には、アーム３０に備えられたセンサがそれを察知し、サーボモータ３３の電源が落とされるように設定されている。

【0059】

上記のように構成された本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
本実施形態の部品実装装置１０は、基板に電子部品を実装する作業を行うヘッドユニット５０と、ヘッドユニット５０をＸ軸方向に移動させるアーム３０と、を備え、アーム３０は、Ｘ方向レール３４と、Ｘ方向レール３４に沿って移動するＸ方向スライダ３５とを有し、ヘッドユニット５０は、一部がＸ方向スライダ３５のうちその移動方向の端面３５Ａから外側に突出する位置に固定されている。

【0060】

これにより、Ｘ方向スライダ３５がＸ方向レール３４の端まで移動したときには、ヘッドユニット５０の一部がＸ方向レール３４の端面よりも外側に突出する。また、アーム３０は、Ｘ方向スライダ３５がＸ方向レール３４に対して移動する１段式のものであるから、複雑な制御を要することなく、ヘッドユニット５０をＸ方向レール３４の端面よりも外側に突出する位置まで移動することができる。

【0061】

また、アーム３０は、Ｘ方向レール３４の端面が対向するようにして一対設けられ、ヘッドユニット５０は、Ｘ方向スライダ３５の端面３５ＡからＸ方向レール３４の端面が対向する側に突出する位置に固定されている。これにより、Ｘ方向スライダ３５がＸ方向レール３４の端まで移動したときには、ヘッドユニット５０の一部が一対のＸ方向レール３４の端面の間に突出するから、この間がデッドスペースになることを防ぐことができる。

【0062】

また、Ｘ方向レール３４の一端側には、Ｘ方向レール３４と略直交するフレーム２０が備えられ、Ｘ方向レール３４は、フレーム２０の内側面と交差して延びている。ここで、Ｘ方向レールがフレームの内側面と交差することなくその手前で止まっている場合には、ヘッドユニットの移動範囲はフレームの手前までに限られる。しかしながら、Ｘ方向レール３４がフレーム２０の内側面と交差して延びているから、ヘッドユニット５０はより広い範囲で移動することができる。これにより、ヘッドユニット５０がＸ方向スライダ３５に対してフレーム２０とは反対側にずれた位置に固定されていても、このずれによりフレーム２０側にデッドスペースが広がることを防ぐことができる。

【0063】

また、アーム３０には、ヘッドユニット５０の移動領域に突出してヘッドユニット５０の移動を規制する移動規制位置と、ヘッドユニット５０の移動領域から退避してヘッドユニット５０の移動を許容する移動許容位置との間を移動可能な可動ストッパ３７が備えられている。これにより、可動ストッパ３７を移動させることで、ヘッドユニット５０の移動領域を適宜可変することができる。

【0064】

また、可動ストッパ３７は、基板に対する作業が停止されると、移動規制位置に移動してＸ方向レール３４の端部に位置するヘッドユニット５０に当接し、ヘッドユニット５０がＸ方向レール３４の中心側に押し戻される。これにより、基板に対する作業が停止されたときに、例えば作業員が手動でアーム３０を動かした場合に、ヘッドユニット５０が周囲に衝突する事態を防ぐことができる。

【0065】

また、可動ストッパ３７のうちヘッドユニット５０のシャフト５５に当接する当接部４２は、Ｘ方向レール３４の中心側から端側に向かって、ヘッドユニット５０の移動領域への突出寸法が少しずつ増す傾斜面とされている。これにより、可動ストッパ３７によってヘッドユニット５０をＸ方向レール３４の中心側にスムーズに押し戻すことができる。

【0066】

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では、本発明の基板処理装置を、基板に対して電子部品を実装する部品実装装置１０に適用した例を示したが、本発明は、基板に対してヘッドユニット５０により何らかの処理を行う各種の装置に広く適用することができる。
（２）上記実施形態では、本発明を、複数のヘッドユニット５０が備えられた部品実装装置１０に適用した例を示したが、本発明は、例えば一のヘッドユニットのみが備えられた部品実装装置にも適用することができる。
（３）上記実施形態では、アーム３０は、フレーム２０に片持ち状に支持されたものとされているが、これに限らず、例えばアームは、部品実装装置の天井部から吊り下げられたものであってもよい。
（４）上記実施形態では、ヘッドユニット５０がＸ方向スライダ３５の一方の端面３５Ａから突出しているが、これに限らず、ヘッドユニットがＸ方向スライダの両方の端面から両側に突出するものとしてもよい。

【0067】

（５）上記実施形態では、部品実装作業時には、可動ストッパ３７が移動規制位置に配置され、ヘッドユニット５０が通常移動範囲内を移動するように設定されているが、これに限らず、部品実装作業時においても可動ストッパを移動許容位置に配置し、ヘッドユニットを拡張移動範囲内で移動させるように設定してもよく、このように設定することで、例えば、基板のサイズ等によって基台の中心に位置する領域に電子部品を搭載したり、基台の中心に位置する領域から電子部品を吸着したりすることができる。
（６）上記実施形態では、基板に対する作業が停止されると、可動ストッパ３７が移動規制位置に移動してＸ方向レール３４の端部に位置するヘッドユニット５０のシャフト５５に当接し、ヘッドユニット５０をＸ方向レール３４の中心側に押し戻すものとされているが、これに限らず、可動ストッパがＸ方向スライダに当接し、Ｘ方向スライダをＸ方向レールの中心側に押し戻すことでヘッドユニットを押し戻すものとしてもよい。
（７）上記実施形態では、可動ストッパ３７の当接部４２が傾斜面とされているが、これに限らず、例えばヘッドユニット側に傾斜面を設けてもよく、また可動ストッパおよびヘッドユニットの両方に傾斜面を設けてもよい。
（８）上記実施形態では、可動ストッパ３７はアーム３０の端部のみに備えられているが、これに限らず、アームの複数箇所に可動ストッパを設けることで、ヘッドユニットの移動範囲を複数段階に可変できるものとしてもよい。

【符号の説明】

【0068】

１０…部品実装装置（基板処理装置）
３０…アーム（移動装置）
３４…Ｘ方向レール（ガイドレール）
３５…Ｘ方向スライダ（スライド部）
３５Ａ…Ｘ方向スライダの端面（スライド部のうちその移動方向の端面）
３７…可動ストッパ
４２…当接部
５０…ヘッドユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】