特許 5816591 透明配線シートの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5816591

(24)【登録日】2015年10月2日

(45)【発行日】2015年11月18日

(54)【発明の名称】透明配線シートの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G06F 3/041 20060101AFI20151029BHJP

   G06F 3/044 20060101ALI20151029BHJP

   H01B 5/14 20060101ALI20151029BHJP

   H01B 13/00 20060101ALI20151029BHJP

【ＦＩ】

   G06F3/041 400

   G06F3/041 660

   G06F3/044 122

   H01B5/14 A

   H01B5/14 B

   H01B13/00 503B

   H01B13/00 503C

   H01B13/00 503D

【請求項の数】3

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2012-102502(P2012-102502)

(22)【出願日】2012年4月27日

(65)【公開番号】特開2013-232291(P2013-232291A)

(43)【公開日】2013年11月14日

【審査請求日】2014年10月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100064908

【弁理士】

【氏名又は名称】志賀 正武

(74)【代理人】

【識別番号】100108578

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 詔男

(74)【代理人】

【識別番号】100094400

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 三義

(72)【発明者】

【氏名】国司 洋介

(72)【発明者】

【氏名】西沢 孝治

【審査官】 松田 岳士

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１１／１５８２９９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１２−０７９１４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０９０８７９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０６Ｆ ３／０４１

Ｇ０６Ｆ ３／０４４

Ｈ０１Ｂ ５／１４

Ｈ０１Ｂ １３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

透明絶縁基材の一方の面側に、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより透明導電層を形成する透明導電層形成工程と、
前記透明導電層をパターン状に絶縁化して、アスペクト比が１超の複数の電極を、その長手方向が前記αと平行になるように形成する電極形成工程と、
を有することを特徴とする透明配線シートの製造方法。

【請求項2】

電極形成工程における透明導電層のパターン状の絶縁化では、透明導電層にパターン状にレーザ光を照射して、透明基体を溶融することなく導電性極細繊維を蒸発、除去することを特徴とする請求項１に記載の透明配線シートの製造方法。

【請求項3】

前記透明絶縁基材として長尺のフィルムを用い、該フィルムの長手方向を前記方向αとすることを特徴とする請求項１または２に記載の透明配線シートの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、投影型静電容量式のタッチパネルにおいて入力部材として用いられる透明配線シートおよびその製造方法に関する。また、投影型静電容量式タッチパネルの入力部材に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、携帯電話、ゲーム機、オフィス事務機器等にタッチパネルが広く使用されている。タッチパネルは、通常、液晶ディスプレイ等の画像表示装置の前面に座標検出用の入力部材を備えている。
入力部材としては、例えば、電極が形成された電極シートを一対有し、電極同士が絶縁されているものが用いられている（特許文献１）。電極シートとしては、透明絶縁基材の片面に透明導電層が設けられ、その透明導電層に絶縁パターンが形成されたものが用いられている。透明導電層を構成する導電材料としては錫ドープ酸化インジウムが広く使用されているが、近年では、銀ナノワイヤ等の導電性極細繊維が用いられることもある（特許文献２，３）。
導電性極細繊維が用いられる場合、ガラス板や長尺のポリエステルフィルム等の透明絶縁基材の表面に、スロットダイやマイクログラビアコーター等の塗液に大きな剪断応力がかかる方法等で導電性極細繊維の分散液を塗布し、その上に透明基体を含む塗料を塗布して透明導電層を形成し、その透明導電層に絶縁パターンを形成して電極シートになる領域を含む透明配線シートを作製し、これを打ち抜いて電極シートを得る。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１１−１７００７２号公報

【特許文献2】特開２０１１−１６７８４８号公報

【特許文献3】特開２０１２−０３２８６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、透明配線シートの製造の際には、電極に導通不良となる傷を生じることがあった。傷が生じたものは製品に含まれないように検査によって排除する必要があるが、透明なシートにおいては目視や光学的な検出手段では検出困難であるため、通常、電極に電流を流して導通検査を行っている。
しかし、従来の透明配線シートでは、電極に傷が生じているにもかかわらず、導通不良を検出できないことがあり、傷が生じたものが製品に含まれるおそれがあった。傷が生じた透明配線シートを用いた入力部材では、正しく座標を検出できないことがあった。
そこで、本発明は、導通不良を確実に検出できる透明配線シートおよびその製造方法を提供することを目的とする。また、不良品が使用されず、正しく座標を検出できる入力部材を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明者らは、透明配線シートの製造の際に、透明基体塗料を塗布する際に生じる剪断応力によって、塗布方向に対して垂直に生じる傷が生じることを見出した。また、透明絶縁基材の片面に導電性極細繊維の分散液を塗布した後に、透明基体塗料を塗らずに一旦巻き取った場合には、導電性極細繊維が保護されていないため、塗布方向に対して垂直な傷が生じやすくなることを見出した。そして、前記配向した傷に平行に電極を設けた場合には、電極が断絶しないため、導通検査で導通不良を検出できなくなっていた。本発明者らは、これらの知見に基づき、電極の方向を検討して、以下の透明配線シートおよびその製造方法ならびにタッチパネル用入力部材を発明した。

【0006】

［１］透明絶縁基材と、該透明絶縁基材の一方の面側に設けられた透明導電層とを備え、平面視で中央に配置された入力エリアと、該入力エリアよりも外側に配置された引き回し配線エリアとを有し、入力エリア内の透明導電層がパターン状に絶縁化されて、複数の座標検出用の電極が形成されている透明配線シートであって、透明導電層は、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより形成された層であり、前記電極は、繊維分散液の塗布方向と平行に形成されてアスペクト比が１超とされていることを特徴とする透明配線シート。
［２］引き回し配線エリアの透明導電層に、前記電極の一端に接続された中継用端子部が形成されていることを特徴とする［１］に記載の透明配線シート。
［３］引き回し配線エリアの透明導電層に、前記電極の他端に接続された検査用端子部が形成されていることを特徴とする［２］に記載の透明配線シート。
［４］透明導電層のパターン状に絶縁化された部分は、透明導電層にパターン状にレーザ光が照射されて、透明基体が溶融されることなく導電性極細繊維が蒸発、除去されていることを特徴とする［１］〜［３］のいずれかに記載の透明配線シート。
［５］透明絶縁基材が長尺のフィルムであり、そのフィルムの長手方向が前記方向αであることを特徴とする［１］〜［４］のいずれかに記載の透明配線シート。

【0007】

［６］透明絶縁基材の一方の面側に、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより透明導電層を形成する透明導電層形成工程と、前記透明導電層をパターン状に絶縁化して、アスペクト比が１超の複数の電極を、その長手方向が前記αと平行になるように形成する電極形成工程と、を有することを特徴とする透明配線シートの製造方法。
［７］電極形成工程における透明導電層のパターン状の絶縁化では、透明導電層にパターン状にレーザ光を照射して、透明基体を溶融することなく導電性極細繊維を蒸発、除去することを特徴とする［６］に記載の透明配線シートの製造方法。
［８］前記透明絶縁基材として長尺のフィルムを用い、該フィルムの長手方向を前記方向αとすることを特徴とする［６］または［７］に記載の透明配線シートの製造方法。

【0008】

［９］座標検出用の第１電極が方向Ｘに沿って設けられた第１電極シートと、座標検出用の第２電極が前記方向Ｘに対して垂直な方向Ｙに沿って設けられた第２電極シートとを有し、第１電極と第２電極とが互いに絶縁されているタッチパネル用入力部材において、第１電極シートおよび第２電極シートの少なくとも一方は、［１］に記載の透明配線シートから得たものであることを特徴とするタッチパネル用入力部材。

【発明の効果】

【0009】

本発明の透明配線シートは、導通不良を確実に検出できる。
本発明の透明配線シートの製造方法によれば、導通不良を確実に検出できる透明配線シートを容易に製造できる。
本発明のタッチパネル用入力部材は、不良品が使用されず、正しく座標を検出できるものである。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の透明配線シートの一実施形態である第１透明配線シートを示す平面図である。

【図2】本発明の透明配線シートの一実施形態である第２透明配線シートを示す平面図である。

【図3】第１透明配線シートおよび第２透明配線シートの部分断面図である。

【図4】透明導電層の絶縁部以外の部分の電子顕微鏡写真である。

【図5】透明導電層の絶縁部の電子顕微鏡写真である。

【図6】本発明の透明配線シートの製造方法を構成する透明導電層形成工程について説明する模式図である。

【図7】本発明の透明配線シートの製造方法を構成する電極形成工程について説明する模式図である。

【図8】本発明のタッチパネル用入力部材の一実施形態を示す断面図である。

【図9】図８のタッチパネル用入力部材における第１電極シートと第２電極シートとの重なり状態を示す平面図である。

【図10】本発明のタッチパネル用入力部材を用いた座標入力装置の入力について説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

＜透明配線シート＞
本発明の透明配線シートの一実施形態について説明する。
図１〜３に、本実施形態の透明配線シートを示す。本実施形態の第１透明配線シート１および第２透明配線シート２（以下、「第１透明配線シート」および「第２透明配線シート」を単に「透明配線シート」ということがある。）は、透明絶縁基材１０と、透明絶縁基材１０の一方の面に設けられた透明導電層２０とを備え、平面視で中央付近の入力エリアＡ_１と、入力エリアＡ_１よりも外側に配置された引き回し配線エリアＡ_２とに区分されたものである。
なお、後述するように、第１透明配線シート１と第２透明配線シート２とは組み合わされてタッチパネル用の入力部材とされる。
また、本発明において、「透明」とは、ＪＩＳ Ｋ７１０５に従って測定した光線透過率が５０％以上のことを意味する。また、「絶縁」とは、電気抵抗値が１ＭΩ以上、好ましくは１０ＭΩ以上のことであり、「導電」とは、電気抵抗値が１ＭΩ未満であることを意味する。

【0012】

（透明絶縁基材）
透明絶縁基材１０の材質としては、例えば、ガラス、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル、アクリル樹脂などが挙げられる。
透明絶縁基材１０の厚さは１０〜２５０μｍであることが好ましく、２５〜１８８μｍであることがより好ましい。透明絶縁基材１０の厚さが前記下限値以上であれば、充分な強度・剛性を確保でき、前記上限値以下であれば、タッチパネルを容易に薄型化できる。

【0013】

（透明導電層）
透明導電層２０は、層状の透明基体Ｂと、該透明基体Ｂの内部に２次元ネットワーク状に配置された導電性極細繊維Ｗとを含有している（図４参照）。
入力エリアＡ_１内の透明導電層２０には、第１絶縁ラインＬ_１が形成されて、複数の電極２１が設けられている。具体的に、透明導電層２０に第１絶縁ラインＬ_１が、方向αに沿って複数の略正方形状の導電部２１ａがその角で連結した電極形状が得られるように方向αに沿ってジグザグに形成されて、いわゆるダイヤモンドパターンの電極２１が設けられている。電極２１のアスペクト比は１超であり、５以上であることが好ましく、７以上であることがより好ましい。また、電極２１のアスペクト比は４００以下であることが好ましい。ここで、アスペクト比は、電極の長さ／電極の平均幅である。アスペクト比が１の電極は投影型静電容量式のタッチパネルへの適用は困難である。
なお、隣接する互いに平行な電極２１，２１同士は導通していない。また、隣接する電極２１，２１同士の間には、第２絶縁ラインＬ_２が形成されて、電極２１と導通しない微小導電部２２が設けられている。入力エリアＡ_１内の、電極２１および微小導電部２２以外の部分は、電極２１および微小導電部２２と導通しない孤立導電部２３となっている。
第１透明配線シート１の電極２１と第２透明配線シート２の電極２１とは、組み合わせて入力部材とした際に互いに重ならないように形成されている。
入力エリアＡ_１と引き回し配線エリアＡ_２との境界には、第３絶縁ラインＬ_３が形成されている。

【0014】

引き回し配線エリアＡ_２の透明導電層２０には、入力エリアＡ_１から突出し、電極２１の一端に電気的に接続された中継用端子部２５が複数形成されている。中継用端子部２５が形成されていると、後述する引き回し回路３０を容易に且つ低抵抗に接続できる。
また、引き回し配線エリアＡ_２の透明導電層２０には、入力エリアＡ_１から突出し、電極２１の他端に電気的に接続された検査用端子部２６が複数設けられている。ここで、検査用端子部２６は、導電性物質を含むインキやペーストによって形成された低抵抗材料からなる。導電性物質としては特に制限されず、金属、導電性金属酸化物、導電性高分子などの粒子または繊維が挙げられる。検査用端子部２６は検査用プローブとの接触抵抗を小さくできるため、検査用端子部２６を用いて導通検査を行うことで、検査精度を向上させることができる。

【0015】

また、引き回し配線エリアＡ_２には、電極２１で得られる信号を、各中継用端子部２５から透明配線シート１，２の外部にある外部回路（図示せず）に接続するための引き回し回路３０が複数本設けられている。引き回し回路３０は、中継用端子部２５に接続された引き回し配線３１と、引き回し配線３１に接続された外部接続用端子部３２とを有している。また、引き回し回路３０は、導電性物質を含むインキやペーストによって形成された低抵抗材料からなる。導電性物質としては特に制限されず、金属、導電性金属酸化物、導電性高分子などの粒子または繊維が挙げられる。
また、引き回し配線エリアＡ_２内の透明導電層２０には、互いに隣接する引き回し回路３０，３０が透明導電層２０を介して導通しないように絶縁する第４絶縁ラインＬ_４が、各引き回し回路３０の近傍に形成されている。さらに、引き回し配線エリアＡ_２内の透明導電層２０には、第５絶縁ラインＬ_５が格子状に形成されている。引き回し配線エリアＡ_２内の透明導電層２０に格子状の第５絶縁ラインＬ_５が形成されていると、後述するように透明配線シート１，２を重ねてタッチパネルの入力部材とした際に、互いに隣接する引き回し回路３０，３０の間のクロストークを抑制できる。

【0016】

第１絶縁ラインＬ_１、第２絶縁ラインＬ_２、第３絶縁ラインＬ_３、第４絶縁ラインＬ_４および第５絶縁ラインＬ_５は、透明基体Ｂが溶融されることなく導電性極細繊維が蒸発、除去されて空隙Ｖが形成されたものであり（図５参照）、透明基体は残っている。そのため、導電性極細繊維を含んでいる導電領域と光学的な特性がほぼ同等であるため、入力エリアＡ_１内のパターンは視認されにくくなっている。したがって、画像表示装置上に設置されるタッチパネル用入力部材として好適である。

【0017】

第１絶縁ラインＬ_１、第２絶縁ラインＬ_２、第３絶縁ラインＬ_３、第４絶縁ラインＬ_４および第５絶縁ラインＬ_５の幅は、照射するレーザ光の波長にもよるが、通常、１０〜１００μｍである。幅１００μｍの絶縁ラインをレーザ照射により形成する場合には、複数回に分けて照射を行えばよい。

【0018】

透明導電層２０に含まれる導電性極細繊維は、透明絶縁基材１０の表面の面方向に沿い、その少なくとも一部が互いに接触し合う程度に密集して２次元網目状に配置されている。このような配置によって導電性極細繊維同士が互いに電気的に接続されることで、導電ネットワーク構造を形成している。
また、導電性極細繊維は、その殆どが透明基体の内部に埋設されているが、一部は透明基体の表面から突出している。

【0019】

導電性極細繊維としては、銅、白金、金、銀、ニッケル等からなる金属ナノワイヤや金属ナノチューブ、シリコンナノワイヤやシリコンナノチューブ、金属酸化物ナノチューブ、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、グラファイトフィブリル等の繊維状部材及びその金属被覆部材が挙げられる。これらのなかでも、透明性および導電性の点から、銀を主成分とする金属ナノワイヤ（銀ナノワイヤ）が好ましい。導電性極細繊維は、その直径が０．３〜１００ｎｍ、長さが１μｍ〜１００μｍであることが好ましい。

【0020】

透明基体を形成する樹脂としては、透明な熱可塑性樹脂（ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリメチルメタクリレート、ニトロセルロース、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、フッ化ビニリデン）、熱や活性エネルギ線（紫外線、電子線、放射線）で硬化する透明な硬化性樹脂（メラミンアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル変性シリケートなどのシリコーン樹脂）が挙げられる。
透明基体は、接着性および透明性の点から、透明絶縁基材１０と同種の材料とすることが好ましい。例えば、透明絶縁基材がポリエチレンテレフタレートフィルムである場合には、透明基体としてポリエステル樹脂を選択することが好ましい。

【0021】

（外形マーク、位置決めマーク）
透明導電層２０には、入力エリアＡ_１および引き回し配線エリアＡ_２を囲う視認可能な外形マーク２７が設けられている。また、引き回し配線エリアＡ_２には、第１透明配線シート１と第２透明配線シート２とを重ねる際の位置合わせに用いる、視認可能な第１位置決めマーク２８が設けられている。また、透明導電層２０には、外形マーク２７よりも外側に、引き回し回路３０の印刷の際の位置合わせに用いる、視認可能な第２位置決めマーク２９が設けられている。

【0022】

＜透明配線シートの製造方法＞
次に、上記透明配線シート１，２の製造方法について説明する。
本実施形態の透明配線シート１，２の製造方法は、透明導電層形成工程と電極形成工程とマーク形成工程と引き回し回路形成工程とを有する。

【0023】

（透明導電層形成工程）
透明導電層形成工程は、透明絶縁基材１０の一方の面側に、導電性極細繊維を含む繊維分散液を一方向αに沿って塗布して導電性極細繊維の２次元ネットワークを形成した後、該２次元ネットワークの上に、透明基体を含む透明基体塗料を塗布することにより透明導電層を形成する工程である。
このときに用いる透明絶縁基材は、長尺のフィルムであってもよいし、枚葉のガラス板やフィルムであってもよいが、長尺のフィルムの場合には本発明の効果がとりわけ発揮されるため、好ましい。
透明絶縁基材として長尺フィルムを用いる場合には、図６に示すように、透明絶縁基材の巻取りロール５１から透明絶縁基材１０を連続的に繰り出し、塗布装置５２を用いて繊維分散液を連続的に塗布し、乾燥機５３を用いて乾燥処理して、導電性極細繊維の２次元ネットワークが形成された繊維積層シート５４を得る。その後、導電性極細繊維の２次元ネットワークの上に、塗布装置を用いて透明基体塗料を連続的に塗布した後、乾燥機を用いて乾燥処理することで透明導電層を形成して導電シート５８を得る。このように繊維分散液を塗布した場合には、透明絶縁基材の長手方向が塗布方向となる。
あるいは、前記繊維積層シートを一旦巻き取り、図６に示すように、改めて、繊維積層シートの巻取りロール５５から繊維積層シート５４を繰り出し、導電性極細繊維の２次元ネットワークの上に、塗布装置５６を用いて透明基体塗料を連続的に塗布した後、乾燥機５７を用いて乾燥処理することで透明導電層を形成してもよい。この場合でも、透明絶縁基材の長手方向が塗布方向となる。
なお、透明基体塗料の塗布方向は、透明絶縁基材の短手方向であっても構わない。スクリーン印刷等を適用すれば、透明基体塗料の塗布方向を透明絶縁基材の短手方向にすることは可能である。

【0024】

繊維分散液および透明基体塗料を塗布する際に使用する塗布装置５２，５６としては、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、リバースロールコーター、キスコーター、ロールナイフコーター、バーコーター（ロッドコーター）等の塗工機や、スプレーもしくはスクリーン印刷機を用いることができる。これらの中でも、塗工機を用いた場合には、透明導電層に傷が発生しやすいので、本発明の効果がより発揮される。
乾燥機５３，５７としては、熱風乾燥機、赤外線乾燥機、真空乾燥機等を適用することができる。

【0025】

（電極形成工程）
電極形成工程は、透明導電層２０に、繊維分散液の塗布方向と平行に複数の電極２１を形成する工程である。具体的に、電極形成工程では、透明絶縁基材１０の片面に透明導電層２０が形成された導電シート５８をステージ上に配置した後、透明導電層２０に、レーザ光発生手段より出射し、集光手段により集光したレーザ光を集光点が位置するように照射する。レーザ光の照射パターンは、第１絶縁ラインＬ_１、第２絶縁ラインＬ_２、第３絶縁ラインＬ_３、第４絶縁ラインＬ_４および第５絶縁ラインＬ_５が形成されるパターンとする。透明導電層２０に第１絶縁ラインＬ_１を形成することによって複数の電極２１を形成する。本製造方法では、繊維分散液の塗布方向（すなわち透明絶縁基材１０の長手方向）と平行に電極２１を形成する。ここでいう「平行」とは、繊維分散液の塗布方向と電極２１の長手方向との角度が０°のことだけでなく、前記角度が±３０°以内のことである。
また、第２絶縁ラインＬ_２を形成することによって微小導電部２２および孤立導電部２３を形成する。また、第３絶縁ラインＬ_３を形成することによって入力エリアＡ_１と引き回し配線エリアＡ_２の境界線を形成する。また、第４絶縁ラインＬ_４を形成することによって引き回し回路３０，３０間を絶縁する。また、第５絶縁ラインＬ_５を形成することによって引き回し配線エリアＡ_２に格子状の絶縁ラインを形成する。
電極形成工程において、目的のパターンでレーザ光を導電シート５８に照射するためには、ガルバノミラーを用いてレーザ光を走査する方法、ステージを二次元的にスライドさせる方法などを適用することができる。

【0026】

電極形成工程において、導電シート５８に形成する電極は、第１透明配線シートの電極２１のみでもよいし、第２透明配線シートの電極２１のみでもよいし、図７に示すように、第１透明配線シートの電極２１および第２透明配線シートの電極２１の両方でもよい。導電シート５８に形成する電極が、第１透明配線シートの電極２１および第２透明配線シートの電極２１の両方であると、歩留まりを向上させることができる。
なお、電極形成工程で使用される導電シート５８は、長尺の導電シートから、切り出された枚葉のものであっても塗布方向αが判別できるように管理されていれば同様の効果を得ることができる。

【0027】

本製造方法で使用されるレーザ光は、ＹＡＧやＹＶＯ_４等のパルス状レーザ光、炭酸ガスレーザ等の連続発振レーザ光が挙げられる。中でも、簡便であることから、ＹＡＧやＹＶＯ_４等の波長１０６４ｎｍもしくはその２次高調波を使用した５３２ｎｍ、パルス幅１〜２００ｎ秒のパルス状レーザ光が好ましい。また、レーザ照射痕を目立たせたくない用途に対しては、波長が１６００〜６００ｎｍでパルス幅が１０ｆ〜１００ｐ秒の極短パルスレーザが好ましい。
パルス状レーザにおいては、レーザ光のスポットの位置を、スポット同士が重なるように少しずつ移動させながら、導電性基板に照射することが好ましい。

【0028】

透明導電層２０においてレーザ光が照射された部分は、透明基体が溶融することなく導電性極細繊維が蒸発、除去されて空隙が形成される。この空隙では、導電性極細繊維同士の接触がなく、導電ネットワークが断絶しているため、絶縁ラインとなる。

【0029】

絶縁ラインの形成は、パルス状レーザで形成され、そのパルス幅は走査速度に比べて充分に短いため、集光スポットは略円形となり、絶縁ラインの幅は集光スポット径に等しくなる。
レーザ光の１パルスあたりの照射エネルギ密度は、レーザ光１パルスあたりの照射エネルギを集光スポット面積で除したものとして定義される。その値は、パルス幅が１０ｆ秒〜２００ｎ秒の範囲で、レーザ光の波長によらず、１×１０^４〜１×１０^５Ｊ／ｍ^２となる。
また、連続する絶縁ラインを形成するためには、走査により移動して形成される個々の集光スポットが、互いにオーバーラップする必要があり、特に銀ナノワイヤを含む透明導電層では、銀ナノワイヤのみが確実に除去されて絶縁ラインの視認されにくさと絶縁の安定性を両立できる点では、オーバーラップ回数を１．５〜１０回程度にすることが好ましい。また、外形マーク２７、第１位置決めマーク２８および第２位置決めマーク２９など、視認されることを目的とする場合には、オーバーラップ回数を２５回以上に設定するか、複数回の走査でオーバーラップ回数を２５回以上にすることが好ましい。

【0030】

導電シートが配置されるステージとしては、光散乱性で不透明な板が好ましい。ここで、不透明とは、ＪＩＳ Ｋ７１０５に従って測定した光線透過率が１０％以下のことである。光散乱性で不透明な板としては、表面に凹凸が形成された板、内部にフィラーまたは空気を含有させた板、表面に着色インクが塗布された板などが挙げられる。
透明導電層２０は透明であり、ピント（レーザ光の集光点）を合わせにくい。しかし、ステージとして光散乱性で不透明な板を用いる場合には、電極形成工程にて、不透明なステージを基準にしてピントを合わせることで、透明導電層２０にピントを合わせてレーザ光を照射することができる。
また、ステージは、導電シートを固定するために、吸引可能になっていることが好ましい。

【0031】

（マーク形成工程）
マーク形成工程では、レーザ光を導電性基板に、外形マーク２７、第１位置決めマーク２８および第２位置決めマーク２９が形成されるパターンで照射する。該工程では、外形マーク２７、第１位置決めマーク２８および第２位置決めマーク２９を視認可能にするために、電極形成工程よりも高いエネルギでレーザ光を照射して透明基体を着色させる。電極形成工程よりも高いエネルギでレーザ光を照射する方法としては、レーザ光の走査速度を遅くする方法、レーザ光を同じ位置に複数回照射する方法、レーザ光の出力を上げる方法、長焦点距離の光学系により集光したレーザ光を照射する方法などが挙げられる。
なお、マーク形成工程は、どのタイミングでおこなってもよく、例えば、電極形成工程の前でも後でもよいし、電極形成工程の間でもよい。

【0032】

（引き回し回路形成工程）
引き回し回路形成工程は、引き回し配線エリアＡ_２に引き回し回路３０を形成する工程である。具体的な引き回し回路３０の形成方法としては、第４絶縁ラインＬ_４，Ｌ_４の間に導電性物質を含むインキやペーストを印刷または塗布する方法が挙げられる。印刷・塗布方法の中でも、スクリーン印刷法が好適である。通常、塗布後には、乾燥処理または焼成処理を施して、引き回し回路３０を得る。これにより、長尺の透明配線シートを得る。
その後、所定のサイズに打ち抜いて、上記透明配線シート１，２を得る。

【0033】

（作用効果）
通常、透明配線シート１，２は、使用前に、電極２１の両端間の電気抵抗を測定する導通検査を行う。繊維分散液の塗布方向に対して電極２１を平行に形成した上記透明配線シート１，２において、塗布方向に対して垂直な傷が生じた場合には、電極２１が断絶するため、導通検査において絶縁状態となり、導通不良を確実に検出できる。
なお、塗布方向に対して電極を垂直に形成した透明配線シート（すなわち本発明ではない透明配線シート）において、塗布方向に対して垂直な傷が生じた場合には、電極の面積が小さくなって電気抵抗が低下することはあっても導通状態のままであるため、導通不良を検出することが困難である。

【0034】

＜タッチパネル用入力部材＞
次に、上記透明配線シート１，２を用いたタッチパネル用入力部材（以下、「入力部材」という。）について説明する。
図８および図９に示すように、本実施形態の入力部材１００は、座標検出用の第１電極１１１が方向Ｘに沿って設けられた第１電極シート１１０と、座標検出用の第２電極１２１が前記方向Ｘに対して垂直な方向Ｙに沿って設けられた第２電極シート１２０と、表面側に配置された保護材１３０とを有する。第１電極シート１１０と第２電極シート１２０とは絶縁性の透明接着剤１４０によって接着されて、第１電極１１１と第２電極１２１とが互いに絶縁されている。また、第１電極シート１１０と保護材１３０とは絶縁性の透明接着剤１５０によって接着されている。
本実施形態では、第１電極シート１１０が上記第１透明配線シート１とされ、第２電極シート１２０が上記第２透明配線シート２とされている。したがって、第１電極１１１が第１透明配線シート１の電極２１であり、第２電極１２１が上記第２透明配線シート２の電極２１である。
保護材１３０としては、各種透明樹脂フィルム、ガラス板を用いることができる。

【0035】

この入力部材１００を用いた座標検出では、電極を切り替えるスイッチ手段によって第２電極１２１の１つを選択し、矩形パルス発生装置から矩形パルスを入力し、第１電極１１１から発せられる微分パルス波形を観察する。スイッチ手段によって矩形パルスを入力する第２電極１２１を順次切り換え、各第１電極１１１からの微分パルス波形を観察する。また、電極を切り替えるスイッチ手段によって第１電極１１１の１つを選択し、矩形パルス発生装置から矩形パルスを入力し、第２電極１２１から発せられる微分パルス波形を観察する。スイッチ手段によって矩形パルスを送る第１電極１１１を順次切り換え、各第２電極１２１から出力される微分パルス波形を観察する。
タッチパネルの使用者が入力する際には、図１０に示すように、保護材１３０の表面（入力者側の表面）に指Ｆを接触させる。このとき、指Ｆと第１電極１１１との間に容量結合が形成され、指Ｆと第２電極１２１との間に、第１電極１１１を介して容量結合が形成される。
指Ｆが接触している部分では、第１電極１１１と第２電極１２１との間の結合容量が大きくなる。そのため、指Ｆの近傍の第１電極１１１または第２電極１２１から得られる微分パルス波形は大きくなる。この微分パルス波形の変動を検知することにより、Ｘ座標およびＹ座標を求めることができる。

【0036】

上記入力部材１００では、導通検査によって確実に不良品を排除できる上記透明配線シート１，２から得た第１電極シート１１０および第２電極シート１２０を用いるため、正しく座標を検出できる。

【0037】

＜他の実施形態＞
なお、本実施形態は、上記実施形態に限定されない。
例えば、電極の形状は、複数の略正方形状の導電部がそのコーナー部で連結した形状である必要はなく、複数の略円形状の導電部が連結した形状や、単なる矩形状でもよい。
また、低抵抗材料からなる引き回し回路は省略されても構わない。低抵抗材料からなる引き回し回路が省略された場合には、引き回し配線エリアの透明導電層を、引き回し配線が形成されるようにレーザ光によって加工すればよい。
また、本発明の透明配線シートは、引き回し配線エリアの透明導電層に中継用端子部が形成されていなくてもよいし、検査用端子部が形成されていなくてもよい。
また、透明導電層のパターン状に絶縁化された部分は、レーザ光の照射によって導電性極細繊維を蒸発、除去させたものでなくてもよい。例えば、導電性極細繊維を切断して絶縁化したものでもよい。
また、上記実施形態の透明配線シート１，２はそのまま電極シートとして使用できるものであったが、本発明の透明配線シートは、引き回し配線エリアよりも外側に余白エリアを有する長尺の透明配線シートであってもよい。すなわち、上記製造方法における打ち抜き前の長尺の透明配線シートも本発明の透明配線シートに含まれる。

【0038】

また、本発明の入力部材は、第１電極シートおよび第２電極シートの一方が本発明の透明配線シートでなくてもよい。
また、本発明の透明配線シートを用いた他の入力部材として、透明絶縁基材と、該透明絶縁基材の両面側に設けられた透明導電層とを備え、入力エリア内の各透明導電層にアスペクト比１超の電極が形成されたものが挙げられる。この入力部材における透明導電層は上記と同様に形成され、一方の電極と他方の電極とは互いに垂直に配置され、一方の電極のみが繊維分散液の塗布方向と平行になる。

【実施例】

【0039】

（実施例１）
ロール状に巻かれた厚さ１２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）を繰り出し、その片面に、ダイコーターを用いて、銀ナノワイヤ分散液（Ｃａｍｂｒｉｏｓ社製ＣｌｅａｒＯｈｍ）の希釈液を連続的に塗布した。次いで、塗布した銀ナノワイヤを、赤外線乾燥機を用いて乾燥して繊維積層シートを作製し、これを巻き取った。
次いで、巻き取られた繊維積層シートを繰り出し、紫外線硬化性アクリル樹脂を、ダイコーターを用いて塗布し、紫外線照射により硬化して透明導電層を形成した後、ＰＥＴフィルムの露出面に保護フィルムを重ね合わせ、巻き取った。これにより得た導電シートの表面抵抗は１３０Ω／□、光線透過率は９５％であった。
得られた導電シートに、アスペクト比１超の第１電極が形成された第１電極シートになる領域と、第１電極に対して垂直なアスペクト比１超の第２電極が形成された第２電極シートになる領域とが形成されるように、レーザ光を照射して絶縁ラインを形成して、長尺の透明配線シートを得た。このとき、塗布方向（ＰＥＴフィルムの長手方向）に沿って第１電極、第２電極を設けた。また、導電性ペーストのスクリーン印刷により、第１電極および第２電極の各々の一端には中継用端子部を形成し、他端には検査用端子部を設けた。
得られた透明配線シートにおいて、７個の第１電極シートになる領域に人為的に透明配線シートの短手方向に沿って傷を付けて試験用シートを７個作製し、これらについて電極の導通検査をした。導通検査は中継用端子部と検査用端子部との間の電気抵抗を測定することにより行った。導通検査の結果、７個の試験用シートのすべてにおいて導通不良（抵抗値１００ｋΩ以上）を検出できた。

【0040】

また、上記の傷を付けた７個の第１電極シートを打ち抜き、これを、前記長尺の透明配線シートから打ち抜いた良品の７個の第２電極シートに貼り合せて７個の入力部材を作製した。なお、第１電極シートの露出面側には保護材として厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた。
次いで、第１電極シートの外部接続用端子部に１００ｋΩの抵抗器を接続してプルダウンし、第２電極シートの外部接続用端子部から矩形パルス波形（周波数１５ｋＨｚ、電圧１５Ｖ）を入力し、第１電極シートの外部接続用端子部から出力されるパルス波形を、オシロスコープを用いて観察した。
第１電極シート上のＰＥＴフィルムに指を接触させたところ、７個の入力部材のいずれにおいても、波形に変化が見られない領域もしくは波形がやや変化する領域が存在することが確認された。

【0041】

（比較例１）
導電シートの短手方向に沿って電極を形成したこと以外は実施例１と同様にして、長尺の透明配線シートを作製した。得られた透明配線シートにおいて、９個の第１電極シートになる領域に人為的に透明配線シートの短手方向に沿って傷を付けて試験用シートを９個作製し、これらについて電極の導通検査をした。その結果、導通不良を検出できたものは３個のみであった。なお、これらの不良サンプルを用いて、実施例１と同様に、入力部材を作製し、動作テストをしたところ、指が入力部材に接触してもパルス波形に変化が見られない領域が存在することが確認された。
また、導通不良が検出されなかった６個の試験用シートを用いて、実施例１と同様に、入力部材を作製し、動作テストをしたところ、４個のシートでは傷があるにもかかわらずパルス波形に異常が見られず、２個のシートでは、指が入力部材に接触した際のパルス波形変化が小さい領域が存在するのみであった。

【符号の説明】

【0042】

１，２ 透明配線シート
１０ 透明絶縁基材
２０ 透明導電層
２１ 電極
２１ａ 導電部
２２ 微小導電部
２３ 孤立導電部
２５ 中継用端子部
２６ 検査用端子部
２７ 外形マーク
２８ 第１位置決めマーク
２９ 第２位置決めマーク
３０ 引き回し回路
３１ 引き回し配線
３２ 外部接続用端子部
５１ 透明絶縁基材の巻取りロール
５２，５６ 塗布装置
５３，５７ 乾燥機
５４ 繊維積層シート
５５ 繊維積層シートの巻取りロール
５８ 導電シート
１００ 入力部材
１１０ 第１電極シート
１１１ 第１電極
１２０ 第２電極シート
１２１ 第２電極
１３０ 保護材
１４０，１５０ 透明接着剤
Ａ_１ 入力エリア
Ａ_２ 引き回し配線エリア
Ｂ 透明基体
Ｌ_１ 第１絶縁ライン
Ｌ_２ 第２絶縁ライン
Ｌ_３ 第３絶縁ライン
Ｌ_４ 第４絶縁ライン
Ｌ_５ 第５絶縁ライン
Ｖ 空隙
Ｗ 導電性極細繊維

【図1】

【図2】

【図3】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図4】

【図5】