特許 5816615 基材用金属箔

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5816615

(24)【登録日】2015年10月2日

(45)【発行日】2015年11月18日

(54)【発明の名称】基材用金属箔

(51)【国際特許分類】

   C23C 28/02 20060101AFI20151029BHJP

   C23C 28/00 20060101ALI20151029BHJP

   C23C 2/02 20060101ALI20151029BHJP

   C23C 2/12 20060101ALI20151029BHJP

   C23C 2/26 20060101ALI20151029BHJP

   B32B 15/01 20060101ALI20151029BHJP

【ＦＩ】

   C23C28/02

   C23C28/00 B

   C23C2/02

   C23C2/12

   C23C2/26

   B32B15/01 B

【請求項の数】6

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2012-508683(P2012-508683)

(86)(22)【出願日】2011年11月16日

(86)【国際出願番号】JP2011076400

(87)【国際公開番号】WO2012067146

(87)【国際公開日】20120524

【審査請求日】2014年9月25日

(31)【優先権主張番号】特願2010-257322(P2010-257322)

(32)【優先日】2010年11月17日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】306032316

【氏名又は名称】新日鉄住金マテリアルズ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000006655

【氏名又は名称】新日鐵住金株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100064908

【弁理士】

【氏名又は名称】志賀 正武

(74)【代理人】

【識別番号】100108578

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 詔男

(74)【代理人】

【識別番号】100106909

【弁理士】

【氏名又は名称】棚井 澄雄

(74)【代理人】

【識別番号】100129403

【弁理士】

【氏名又は名称】増井 裕士

(74)【代理人】

【識別番号】100134359

【弁理士】

【氏名又は名称】勝俣 智夫

(72)【発明者】

【氏名】寺嶋 晋一

(72)【発明者】

【氏名】小林 孝之

(72)【発明者】

【氏名】田中 将元

(72)【発明者】

【氏名】藤島 正美

(72)【発明者】

【氏名】黒崎 将夫

(72)【発明者】

【氏名】真木 純

(72)【発明者】

【氏名】須田 秀昭

(72)【発明者】

【氏名】長崎 修司

【審査官】 宮本 靖史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−０９３５７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０１−１５０４０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６４−０２８３４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６１−２８１８６１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ ２４／００ − ３０／００

Ｃ２３Ｃ ２／００ − ２／４０

Ｃ２３Ｃ ８／００ − １２／０２

Ｂ３２Ｂ １／００ − ４３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

厚さが１０〜２００μｍである鋼層と、前記鋼層上に生成したＦｅとＡｌとを含有する合金層と、前記合金層上に配されたＡｌ含有金属層と、を備える金属箔であって；
前記金属箔を圧延方向と直交する板幅方向が観察面となるように板厚方向に沿って平面切断した切断面に表れる、前記Ａｌ含有金属層の表面の切断線を輪郭曲線とし、前記輪郭曲線に位相補償型フィルタを適用して求めた直線、あるいは、前記輪郭曲線の各極点の座標から最小二乗法を用いて求めた直線を輪郭平均直線とするとき、前記輪郭平均直線からの距離が１０μｍ超となる前記輪郭曲線の前記Ａｌ含有金属層の表面側に凸である極大点の個数が零であり；
前記合金層が、厚さ０．１〜８μｍであり、かつ、Ａｌ_７Ｃｕ_２Ｆｅ金属間化合物、又は、ＦｅＡｌ_３基の金属間化合物を含む；
ことを特徴とする太陽電池及び有機エレクトロルミネセンスの基材用金属箔。

【請求項2】

前記鋼層と前記合金層との間に、さらに、厚さ２〜１０μｍのＣｕ層、又は、厚さ２〜１０μｍのＮｉ層を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の金属箔。

【請求項3】

前記Ａｌ含有金属層の厚さが０．１〜３０μｍである
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の金属箔。

【請求項4】

前記Ａｌ含有金属層上に、さらに、厚さ０．０１〜０．０８μｍのＡｌＮ層、又は、厚さ０．０１〜５０μｍのＡｌ_２Ｏ_３層を有する
ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の金属箔。

【請求項5】

前記Ａｌ含有金属層上に、さらに、厚さ０．１〜８μｍのＣｒ層、又は、厚さ０．１〜８μｍのＮｉ層を有する
ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の金属箔。

【請求項6】

前記Ａｌ含有金属層上に、さらに、ゾルゲル層、及び、ラミネート層から選択される少
なくとも１種の皮膜を有する
ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の金属箔。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、化合物系太陽電池、薄膜系太陽電池、それらを複数層積層させたハイブリッド型太陽電池、及び、有機エレクトロルミネセンス照明の基材として使用可能な金属箔に関する。
本願は、２０１０年１１月１７日に、日本に出願された特願２０１０−２５７３２２号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

【背景技術】

【0002】

ＣＩＧＳ（Ｃｏｐｐｅｒ−Ｉｎｄｉｕｍ−Ｇａｌｌｉｕｍ−Ｓｅｌｅｎｉｕｍ）、ＣＩＳ（Ｃｏｐｐｅｒ− Ｉｎｄｉｕｍ−Ｓｅｌｅｎｉｕｍ，）、ＣｄＴｅ（Ｃａｄｍｉｕｍ−Ｔｅｌｌｕｒ）等の化合物系太陽電池、アモルファスＳｉ等の薄膜系太陽電池、それらを複数層積層させたハイブリッド型太陽電池、及び、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）照明には、ＣＩＧＳ層、ＣＩＳ層、ＣｄＴｅ層、アモルファスＳｉ層や有機ＥＬ層等を強度的に支える目的で、基材と呼ばれる土台が使用される。

【0003】

従来、上記基材として、特許文献１に記載のように、ガラス基材が使用されることが多かった。しかし、ガラスは割れやすいので、一定の強度を確保するため、厚膜化する必要があった。ガラスを厚膜化すると、太陽電池や、有機ＥＬ照明そのものが重くなってしまう。

【0004】

一方、近年、上記基材として、ガラス基材に代わって、割れにくく、そして、薄膜化に適している金属箔を使用することが試みられている。基材用である金属箔には、耐食性、表面平滑性、及び、弾塑性変形性の何れもが良好であることが要求される。

【0005】

上記耐食性は、基材として用いる金属箔が、屋外環境で２０年ともいわれる長期間曝されることを可能とするために必要とされる。

【0006】

上記表面平滑性は、基材表面に存在する突起状欠陥によって、基材上に積層される太陽電池層や有機ＥＬ層が、物理的な損傷を受けることを避けるために必要とされる。基材表面は、突起状欠陥を有さない平滑な表面であることが望まれる。

【0007】

上記弾塑性変形性は、硬質なガラス基材では不可能であった、基材用金属箔のロール形状への巻き取りを可能とするために必要とされる。その結果、Ｂａｔｃｈ処理による製造を、Ｒｏｌｌ ｔｏ Ｒｏｌｌ処理による連続的な製造へ変更できれば、太陽電池や有機ＥＬの製造コストを大幅に低減できる。

【0008】

基材用金属箔として、一般的に、耐食性に優れるステンレス（ＳＵＳ）箔の使用が進められている。特許文献２に記載されるように、ＳＵＳ箔上に、更に有機被膜を形成した基材が使用されることもある。

【0009】

ＳＵＳ箔は、優れた耐食性を有しているため、基材用金属箔として用いられる。しかし、ＳＵＳ箔は、材料が高価であるという問題を有する。加えて、ＳＵＳ箔は、硬度が高く圧延が容易ではないので、製造コストが高くなるという問題も有している。そのため、ガラス基材と比べると、現状、その使用はさほど広まっていない。

【0010】

一方、普通鋼（炭素鋼）箔は、ＳＵＳよりも、材料自体が安価であり、そして、高い塑性変形能を有しているので、製造コストも大幅に低減することができる。しかし、普通鋼箔そのままでは、基材用金属箔として要求される、耐食性を満足できない。基材用金属箔に要求される上記特性を満足する普通鋼箔が利用可能となれば、太陽電池及び有機ＥＬの製造コストを大幅に低減することが可能となる。よって、現在、その開発が強く待望されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】日本国特開２００６− ８０３７０号公報

【特許文献2】日本国特開２００６−２９５０３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

本発明の一実施態様は、上記事情に鑑みてなされたものであり、太陽電池や有機ＥＬの基材用金属箔として要求される耐食性、表面平滑性、及び、弾塑性変形性を同時に満足する安価な基材用金属箔を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の要旨は、以下のとおりである。
（１）本発明の一態様にかかる基材用金属箔は、厚さが１０〜２００μｍである鋼層と、前記鋼層上に生成したＦｅとＡｌとを含有する合金層と、前記合金層上に配されたＡｌ含有金属層と、を備える金属箔であって；前記金属箔を圧延方向と直交する板幅方向が観察面となるように板厚方向に沿って平面切断した切断面に表れる、前記Ａｌ含有金属層の表面の切断線を輪郭曲線とし、前記輪郭曲線に位相補償型フィルタを適用して求めた直線、あるいは、前記輪郭曲線の各極点の座標から最小二乗法を用いて求めた直線を輪郭平均直線とするとき、前記輪郭平均直線からの距離が１０μｍ超となる前記輪郭曲線の前記Ａｌ含有金属層の表面側に凸である極大点の個数が零であり；前記合金層が、厚さ０．１〜８μｍであり、かつ、Ａｌ_７Ｃｕ_２Ｆｅ金属間化合物、又は、ＦｅＡｌ_３基の金属間化合物を含む。
（２）上記（１）に記載の基材用金属箔であって、前記鋼層と前記合金層との間に、さらに、厚さ２〜１０μｍのＣｕ層、又は、厚さ２〜１０μｍのＮｉ層を有してもよい。
（３）上記（１）又は（２）に記載の基材用金属箔であって、前記Ａｌ含有金属層の厚さが０．１〜３０μｍであってもよい。
（４）上記（１）〜（３）のいずれか一項に記載の基材用金属箔であって、前記Ａｌ含有金属層上に、さらに、厚さ０．０１〜０．０８μｍのＡｌＮ層、又は、厚さ０．０１〜５０μｍのＡｌ_２Ｏ_３層を有してもよい。
（５）上記（１）〜（３）のいずれか一項に記載の基材用金属箔であって、前記Ａｌ含有金属層上に、さらに、厚さ０．１〜８μｍのＣｒ層、又は、厚さ０．１〜８μｍのＮｉ層を有してもよい。
（６）上記（１）〜（３）のいずれか一項に記載の基材用金属箔であって、前記Ａｌ含有金属層上に、さらに、ゾルゲル層、及び、ラミネート層から選択される少なくとも１種の皮膜を有してもよい。

【発明の効果】

【0014】

本発明の上記態様によれば、ガラス基材と比較して、割れにくく、そして、薄膜化に適しており、加えて、基材用金属箔として要求される耐食性、表面平滑性、及び、弾塑性変形性を同時に満足する安価な基材用金属箔の提供が可能となる。したがって、低コストで薄型軽量のＣＩＧＳ、ＣＩＳ、ＣｄＴｅ等の化合物系太陽電池、アモルファスＳｉ等の薄膜系太陽電池、それらを複数層積層させたハイブリッド型太陽電池、及び、有機ＥＬ照明の製造が可能となる。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下に本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。初めに、基材用金属箔の技術構成と数値限定理由とについて詳細に説明する。

【0016】

普通鋼（炭素鋼）の耐食性を向上させるために、普通鋼にＡｌ含有めっきを施す。このＡｌ含有めっきにより、鋼層上にＡｌ含有金属層が配される。このＡｌ含有金属層により、基材用金属箔として要求される耐食性が向上する。

【0017】

上記Ａｌ含有金属層は、６０〜１００質量％のＡｌ、０〜１５質量％のＳｉ、０〜４０質量％のＣｕを含有させた組成であると好ましい。これは、この組成でめっき浴の融点が低下するためにめっき工程が簡便となるからである。より好ましくは、上記Ａｌ含有金属層を、６８．２質量％Ａｌ−４．７質量％Ｓｉ−２７．１質量％Ｃｕ、又は、６８質量％Ａｌ−３２質量％Ｃｕという組成から各成分について±５質量％以内の範囲の組成とする。この組成では、めっき浴の融点がさらに低下する。また、上記Ａｌ含有金属層の厚さは、０．１〜３０μｍであることが好ましい。０．１μｍ未満では、好適な耐食効果は得られず、３０μｍ超では、Ａｌを大量にめっきする必要があり、生産コストが高くなるためである。好ましくは、上記Ａｌ含有金属層の厚さを、１〜３０μｍとする。より好ましくは、上記Ａｌ含有金属層の厚さを、３〜３０μｍとする。最も好ましくは、上記Ａｌ含有金属層の厚さを、８〜３０μｍとする。

【0018】

一般的に、Ａｌ含有めっきの際、鋼層とＡｌ含有金属層との界面には、Ｆｅ−Ａｌ系合金相（例えば、ＦｅＡｌ_３，Ｆｅ_２Ａｌ_８Ｓｉ、ＦｅＡｌ_５Ｓｉなどの金属間化合物）が層状に形成される。この合金層は非常に硬くて脆い。Ａｌ含有めっきを施した金属箔がハンドリングなどの際に弾塑性変形すると、この合金層は、金属箔の変形に追随できず、最終的に、鋼層とＡｌ含有金属層との剥離、及び、Ａｌ含有金属層の割れを誘発する。つまり、普通鋼箔にＡｌ含有めっきを施せば、基材用金属箔として要求される耐食性を満足することができるが、弾塑性変形性は満足されない。

【0019】

基材用金属箔として要求される弾塑性変形性を満足するためには、鋼層とＡｌ含有金属層との界面に生成する上記合金層が、厚さ０．１〜８μｍであり、かつ、Ａｌ_７Ｃｕ_２Ｆｅ金属間化合物、又は、ＦｅＡｌ_３基の金属間化合物を含む必要がある。このＡｌ_７Ｃｕ_２Ｆｅ金属間化合物、又は、ＦｅＡｌ_３基の金属間化合物は、上記合金層中に、面積％で、５０％以上を含まれることが好ましく、９０％以上を含まれることがより好ましい。

【0020】

ここで、ＦｅＡｌ_３基の金属間化合物とは、ＦｅＡｌ_３金属間化合物中に、系を構成する元素（例えば、ＳｉやＣｕ等のＡｌ含有金属層を構成する元素、ＮｉやＣｕ等のプレめっき膜を構成する元素、あるいはＣ、Ｐ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｏ等の鋼層を構成する元素）が固溶した金属間化合物や、上記の系を構成する元素と、Ｆｅと、Ａｌとから新たな組成比で形成される金属間化合物を指す。このＦｅＡｌ_３基の金属間化合物は、特に、Ｃｕが固溶したＦｅＡｌ_３基の金属間化合物、又は、Ｎｉが固溶したＦｅＡｌ_３基の金属間化合物であることが好ましい。しかし、後述するように、この合金層のビッカース硬度が、５００〜６００Ｈｖ程度となるならば、固溶する元素は、Ｎｉ又はＣｕに限定されない。

【0021】

上記のＡｌ_７Ｃｕ_２Ｆｅ金属間化合物、又は、ＦｅＡｌ_３基の金属間化合物を含む合金層は、普通鋼にＡｌ含有めっきを施す際に、後述するＣｕ又はＮｉプレめっき膜と、鋼層と、Ａｌ含有金属層とから、系を構成する元素が拡散し、そして、Ｆｅ及びＡｌと合金化することで形成される。このように、上記のＡｌ_７Ｃｕ_２Ｆｅ金属間化合物、又は、ＦｅＡｌ_３基の金属間化合物を含む合金層を好適に形成させるためには、Ａｌ含有めっきを施す前に、予め、普通鋼にＣｕ又はＮｉプレめっきを施すことで、鋼層上にＣｕ又はＮｉのプレめっき膜を形成しておくことが好ましい。ただ、上記合金層は、例えば、鋼層及びＡｌ含有金属層を構成する元素の拡散によっても形成することができるので、Ｃｕ又はＮｉプレめっき膜が必須な技術構成ではない。

【0022】

このＡｌ_７Ｃｕ_２Ｆｅ金属間化合物、又は、ＦｅＡｌ_３基の金属間化合物を含む合金層は、そのビッカース硬度が、５００〜６００Ｈｖとなる。上述した従来の硬くて脆い合金層は、そのビッカース硬度が、９００Ｈｖ程度である。このように、合金層を比較的軟質である層へ制御することにより、金属箔の弾塑性変形性を向上させることが可能となる。また、上記合金層の厚さが０．１μｍ未満では、軟質合金層としての上記効果が得られない。その厚さが８μｍ超では、系を構成する元素の拡散が進行し過ぎて、カーケンダル（Ｋｉｒｋｅｎｄａｌｌ）ボイドが生じ易くなるので、好ましくない。

【0023】

金属箔の弾塑性変形性をさらに高めるには、上記金属層の厚さを０．１〜５μｍとすることが好ましい。また、その厚さを３〜８μｍとすると、金属箔の耐食性がさらに高まるので好適である。上記金属層の厚さを３〜５μｍとすると、両効果が同時に得られるので、最も好ましい。

【0024】

また、上記鋼層と、上記合金層との間に、Ｃｕ又はＮｉプレめっき膜を２〜１０μｍの厚さで残存させて、Ｃｕ層又はＮｉ層とすると、鋼層と合金層との間の密着性がさらに増して、弾塑性変形性が向上するので好ましい。この結果、プレス成形や深絞り等の際に過酷な加工を行っても、上記合金層の剥離が生じ難くなる。

【0025】

鋼層と合金層との間に、上記のＣｕ層又はＮｉ層が存在しても、上述した合金層が有する効果は妨げられない。但し、Ｃｕ層又はＮｉ層の厚さが２μｍ未満であると、鋼層と合金層との間の密着性を向上する効果が得られない。また、その厚さが１０μｍ超では、上記効果は飽和し、そして、プレめっき膜を形成させるコストも上昇するので、好ましくない。

【0026】

また、金属箔の鋼層の厚さは、１０〜２００μｍとする。厚さが１０μｍ未満の箔を製造するには、高精度な装置を慎重に制御する必要が生じ、高コストとなってしまう。また、厚さが２００μｍ超では、金属箔の重量が重くなってしまい、箔を使用するメリットが充分には得られない。基材の重量を軽減するためには、厚さが１０〜１５０μｍであると好ましい。また、材料の強度を高めて、基材上に重量物を載置するためには、厚さが１００〜２００μｍであると好適である。上記鋼層の厚さを１００〜１５０μｍとすると、両効果が同時に得られるので、最も好ましい。

【0027】

太陽電池や有機ＥＬの基材用金属箔は、上記した耐食性、及び、弾塑性変形性に加えて、表面平滑性も同時に満足することが重要である。

【0028】

基材用金属箔として要求される表面平滑性を満足させるためには、Ａｌ含有金属層の表面が、一定度合の平滑面である必要がある。具体的には、金属箔を圧延方向と直交する板幅方向が観察面となるように板厚方向に沿って平面切断した切断面に表れる、Ａｌ含有金属層の表面の切断線を輪郭曲線とし、輪郭曲線を近似する直線を輪郭平均直線とするとき、この輪郭平均直線からの距離が１０μｍ超となる上記輪郭曲線の極大点が存在しない必要がある。

【0029】

ここで、上記極大点とは、上記輪郭曲線のＡｌ含有金属層の表面側に凸である極点である。なお、輪郭曲線の極小点（上記輪郭曲線のＡｌ含有金属層の表面上で凹状の極点）は、基材用金属箔の上に積層される太陽電池層や有機ＥＬ層に物理的な損傷を与えることはないので、存在していても問題ではない。

【0030】

また、上記輪郭曲線は、上記切断面の金属組織写真から、画像処理によりその軌跡を求めても良いし、人手によりその軌跡を求めても良い。画像処理により輪郭曲線を求めた場合、同様に、画像処理により位相補償型フィルタを適用して、輪郭平均直線を求めれば良い。人手により輪郭曲線を求めた場合、各極点の座標から最小二乗法により輪郭平均直線を求めることができる。

【0031】

Ａｌ含有金属層表面に１０μｍ超であるような突起状欠陥が存在すると、基材用金属箔の上に積層される太陽電池層や有機ＥＬ層に物理的な損傷を与える可能性がある。例えば、太陽電池では、基材上の太陽電池層が上記の損傷を受けると、その領域の光電変換効率が低下する恐れがある。

【0032】

また、充分な光電変換効率を得るためには、輪郭平均直線からの距離が５μｍ超である極大点が存在しないことが好ましい。さらに好ましくは１μｍ超である極大点が存在しないことである。

【0033】

上記Ａｌ含有金属層表面は、光沢度が銀鏡比７５％以上であることが好ましい。例えば、太陽電池では、入射時に光電変換に寄与せず、基材である金属箔まで到達する太陽光が存在する。この透過光が、金属箔によって反射されることで、再度、光電変換に供用される。光沢度が銀鏡比７５％以上であると、高効率で透過光が再度、光電変換に供用されるので好ましい。より好ましくは、光沢度が銀鏡比８０％以上である。

【0034】

上記した金属箔の表面平滑性及び光沢度は、上記第２圧延処理時に鏡面状態の圧延ロールを用いること、又は、第２圧延処理後の金属箔にスキンパス圧延を施すことで達成される。本発明の実施形態に係る製造方法については、詳しく後述する。

【0035】

上記Ａｌ含有金属層の表面に、さらに、厚さ０．０１〜０．０８μｍのＡｌＮ層又は厚さ０．０１〜５０μｍのＡｌ_２Ｏ_３層を有することが好ましい。鋼層から太陽電池層や有機ＥＬ層等にＦｅ原子が拡散すると、これらの層の機能を損なう恐れがある。例えば、鋼層から太陽電池のＣＩＧＳ層やＣＩＳ層等にＦｅ原子が拡散すると、バンドギャップを狭めることで、太陽電池の変換効率が低下するという不具合が生じる。上記ＡｌＮ層又は上記Ａｌ_２Ｏ_３層は、バリア膜として作用することで、鋼層を構成するＦｅ原子が拡散して、ＣＩＧＳ層やＣＩＳ層等にまで到達することを防ぐことができる。但し、これらの層の厚さが０．０１μｍ未満では、上述の効果が得られない。厚さ０．０８μｍ超のＡｌＮ層や厚さ５０μｍ超のＡｌ_２Ｏ_３層を生成することは、生産コストが上昇するので、好ましくない。Ａｌ_２Ｏ_３層の膜厚が厚すぎるとアルミニウムから陽極酸化膜が剥離するため、５０μｍ以下が適当である。より好ましくは、１５μｍ以下である。アルミニウムの熱伸縮抑制および絶縁性の観点から、０．０８μｍ以下であることが最も好ましい。また、ＡｌＮ層又はＡｌ_２Ｏ_３層は自然に形成される層では上述の拡散防止効果は得られないので、意図的に緻密に形成させる必要がある。

【0036】

上記ＡｌＮ層及びＡｌ_２Ｏ_３層の代わりに、上記Ａｌ含有金属層の表面に、厚さ０．１〜８μｍのＣｒ層、又は、厚さ０．１〜８μｍのＮｉ層を有してもよい。Ｃｒ層又はＮｉ層を有することで、ＡｌＮ層及びＡｌ_２Ｏ_３層と同様の効果を得ることができる。Ｃｒ層又はＮｉ層の厚さが０．１μｍ未満では、上述の効果が得られない。厚さが８μｍ超では、生産コストが上昇する。

【0037】

上記ＡｌＮ層及びＡｌ_２Ｏ_３層の代わりに、上記Ａｌ含有金属層の表面に、厚さ０．００１〜８μｍの三次元網目構造状に発達したシロキサン結合を主骨格とした無機骨格を有し、この骨格の架橋酸素の少なくとも１個が有機基および／または水素原子で置換されたゾルゲル層を有してもよい。ゾルゲル層を有することで、ＡｌＮ層及びＡｌ_２Ｏ_３層と同様の効果を得ることができる。より好ましくは、０．１μｍ以上の厚さとすると上述の効果がより増すので良い。ゾルゲル層の厚さが０．００１μｍ未満では、上述の効果が得られない。厚さが８μｍ超では、生産コストが上昇する。

【0038】

上記ＡｌＮ層及びＡｌ_２Ｏ_３層の代わりに、上記Ａｌ含有金属層の表面に、厚さ０．１〜８μｍのポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミドから選ばれるプラスティックフィルムなどから構成されるラミネート層を有してもよい。また、ラミネート層の代わりにポリイミドから成る耐熱樹脂も使用できる。ラミネート層又は耐熱樹脂を有することで、ＡｌＮ層及びＡｌ_２Ｏ_３層と同様の効果を得ることができる。ラミネート層の厚さが０．１μｍ未満では、上述の効果が得られない。厚さが８μｍ超では、生産コストが上昇する。

【0039】

上記の構造とすることで、例えばＣＩＧＳの太陽電池セルが直列に接続されたモジュール回路において、５００Ｖ以上の耐電圧が確保でき、絶縁破壊を回避できる。また、絶縁破壊に至らずとも、漏れ電流が存在すると太陽電池モジュールの光電変換効率低下の要因となるが、上記の構造とすることでそのような漏れを防止できる。

【0040】

上述の各層の厚さ及び組成を測定する方法は、スパッタ法により金属箔の表面から膜厚方向に掘り下げながら分析する手法や、金属箔の膜厚方向の切断面にて線分析又は点分析を行う手法が有効である。前者手法では、測定深さが大きくなると測定時間が掛かり過ぎるが、後者手法では、断面全体での濃度分布の測定や再現性の確認等を行うのが比較的容易である。線分析又は点分析で、分析の精度を向上させたい場合には、線分析にて分析間隔を狭くして分析したり、点分析にて分析領域を拡大して分析したりすることも有効である。各層の同定は、標準試料（即ち濃度１００％）の値をあらかじめ測定しておき、上記組成分析でその濃度が５０％以上となる領域を判別することで行う。これらの分析に用いる分析装置として、ＥＰＭＡ（電子線マイクロ分析、Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｍｉｃｒｏ Ａｎａｌｙｓｉｓ）、ＥＤＸ（エネルギー分散型Ｘ線分析、Ｅｎｅｒｇｙ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ−Ｒａｙ Ａｎａｌｙｓｉｓ）、ＡＥＳ（オージェ電子分光法、Ａｕｇｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡、Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）等が利用できる。なお、各層厚さが上述した数値限定を満たすかどうかの判定は、各層の平均厚さによって評価される。局所的に各層厚さが数値限定を満たさない場合があったとしても、上記判定に考慮しない。

【0041】

金属箔を上述した技術構成とすることで、基材用金属箔として要求される耐食性、表面平滑性、及び、弾塑性変形性を同時に満足することが可能となり、太陽電池や有機ＥＬの基材用として使用することが可能となる。

【0042】

基材上に形成する光電変換層としては、ＣＩＧＳ、ＣＩＳ、ＣｄＴｅ等の化合物系太陽電池、アモルファスＳｉ等の薄膜系太陽電池、それらを複数層積層させたハイブリッド型太陽電池が使用でき、または、基材上には有機ＥＬ照明回路を形成することができる。特に、上記のＣＩＧＳ、ＣＩＳの主成分は特に制限されず、少なくとも１種のカルコパイライト構造の化合物半導体であることが好ましく、また、光電変換層の主成分は、Ｉｂ族元素とＩＩＩｂ族元素とＶＩｂ族元素とを含む少なくとも１種の化合物半導体であることが好ましい。さらに、光吸収率が高く、高い光電変換効率が得られることから、上記光電変換層の主成分は、Ｃｕ及びＡｇ等より選択された少なくとも１種のＩｂ族元素と、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎ等より選択された少なくとも１種のＩＩＩｂ族元素と、Ｓ、Ｓｅ、及びＴｅ等から選択された少なくとも１種のＶＩｂ族元素とを含む少なくとも１種の化合物半導体であることが好ましい。具体的には、上記化合物半導体としては、ＣｕＡｌＳ_２、ＣｕＧａＳ_２、ＣｕＩｎＳ_２、ＣｕＡｌＳｅ_２、ＣｕＧａＳｅ_２、ＣｕＩｎＳｅ_２（ＣＩＳ）、ＡｇＡｌＳ_２、ＡｇＧａＳ_２、ＡｇＩｎＳ_２、ＡｇＡｌＳｅ_２、ＡｇＧａＳｅ_２、ＡｇＩｎＳｅ_２、ＡｇＡｌＴｅ_２、ＡｇＧａＴｅ_２、ＡｇＩｎＴｅ_２、Ｃｕ（Ｉｎ_１−ｘＧａ_ｘ）Ｓｅ_２（ＣＩＧＳ）、Ｃｕ（Ｉｎ_１−ｘＡｌ_ｘ）Ｓｅ_２、Ｃｕ（Ｉｎ_１−ｘＧａ_ｘ）（Ｓ，Ｓｅ）_２、Ａｇ（Ｉｎ_１−ｘＧａ_ｘ）Ｓｅ_２及びＡｇ（Ｉｎ_１−ｘＧａ_ｘ）（Ｓ，Ｓｅ）_２等が使用できる。

【0043】

次に、本発明の実施形態に係る基材用金属箔の製造方法について詳細に説明する。

【0044】

任意成分の普通鋼（炭素鋼）板を、第１圧延処理として、２００〜５００μｍの厚さになるまで圧延を行う。この圧延方法は、熱間及び冷間のどちらであっても良い。鋼鈑の厚さが２００μｍ未満では、薄すぎて後工程時のハンドリングが困難である。また、鋼鈑の厚さが５００μｍ超では、厚すぎて後工程に負荷がかかりすぎる。

【0045】

後工程での生産性を考慮すると、第１圧延処理として、２５０〜３５０μｍの厚さになるまで圧延を行うことが好ましい。

【0046】

上記第１圧延処理後の鋼鈑に対して、Ｃｕ又はＮｉプレめっきを施すプレめっき処理、Ａｌ含有めっきを施すめっき処理、及び、第２圧延処理を行う。これらの処理の順番は、（１）プレめっき処理、めっき処理、そして、第２圧延処理、（２）プレめっき処理、第２圧延処理、そして、めっき処理、（３）第２圧延処理、プレめっき処理、そして、めっき処理、の何れでも良い。

【0047】

上記プレめっき処理として、Ｃｕ又はＮｉのめっき浴を用いて、電解めっき法や無電解めっき法を行う。Ｃｕプレめっき膜、及び、Ｎｉプレめっき膜共に、プレめっき膜の初期厚さを０．０５〜４μｍとすると、Ａｌ含有めっきの際に鋼層とＡｌ含有金属層との間に形成される合金層の厚さが０．１〜８μｍとなる。例えば、Ａｌ含有めっきの際に形成される合金層の厚さを上記した最適な３〜５μｍに制御したい場合には、プレめっき膜の初期厚さを１．５〜２．５μｍに制御すればよい。

【0048】

また、鋼層と合金層との間に、Ｃｕ又はＮｉプレめっき膜を残存させて、Ｃｕ層又はＮｉ層を配するためには、プレめっき膜の初期厚さを、４μｍを基準として、残存させたい厚さの分だけ厚めに成膜しておけばよい。４μｍ以下の厚さのＣｕ又はＮｉプレめっき膜は、Ａｌ含有めっきの際に形成される合金層に拡散して消失する。４μｍを超えて成膜されたプレめっき膜は、その膜厚から４μｍを引いた厚さだけ残存して、Ｃｕ層又はＮｉ層となる。例えば、鋼層と合金層との間に、厚さ５μｍのＣｕ層又はＮｉ層を存在させるには、プレめっき膜の初期厚さを４＋５＝９μｍの厚さとしておけばよい。

【0049】

プレめっき処理を行わずに、上記合金層を形成させたい場合には、適宜、鋼層及びＡｌ含有金属層の成分組成を調整すればよい。

【0050】

上記めっき処理として、６０〜１００質量％のＡｌ、０〜１５質量％のＳｉ、及び、０〜４０質量％のＣｕを含有させためっき浴を用いてめっきする。このめっき方法として、電解めっき法及び無電解めっき法を用いることができる。０〜１５質量％のＳｉ、及び、０〜４０質量％のＣｕを含有させることで、めっき浴の融点を低減させることができる。よって、上記組成のめっき浴とする。

【0051】

さらに、めっき浴の融点を低下させて、めっき工程を簡便とするためには、６８．２質量％Ａｌ−４．７質量％Ｓｉ−２７．１質量％Ｃｕ、又は、６８質量％Ａｌ−３２質量％Ｃｕという組成から各成分について±５質量％以内の範囲の組成であるＡｌ含有めっき浴を用いることが好ましい。

【0052】

上記第２圧延処理として、１０〜２５０μｍの厚さになるように、圧延を行う。この圧延条件は、通常の圧延条件でよい。金属箔の厚さが１０μｍ未満では、基材用金属箔として薄すぎて、強度が不足する。また、金属箔の厚さが２５０μｍ超では、基材用金属箔として厚すぎて、重たすぎる。

【0053】

加えて、金属箔のＡｌ含有金属層表面の突起状欠陥、及び、Ａｌ含有金属層表面の光沢度を制御するためには、この第２圧延処理で、上記圧延機に表面粗さがＲａ２００μｍ以下の鏡面状態である圧延ロールを用いることが好ましい。上記圧延ロールの表面粗さをＲａ２００μｍ以下とする理由は、Ａｌ含有金属層表面を好適に制御するためである。

【0054】

さらに、Ａｌ含有金属層表面の突起状欠陥、及び、Ａｌ含有金属層表面の光沢度を制御するために、必要に応じて、上記第２圧延処理後の金属箔を、スキンパス圧延処理として、ブライト仕上げ圧延を行うことが好ましい。このスキンパス圧延処理では、表面粗さがＲａ１μｍ以下の鏡面状態である圧延ロールを用いることが好ましい。上記圧延ロールの表面粗さをＲａ１μｍ以下とする理由は、Ａｌ含有金属層表面を好適に制御するためである。

【0055】

第２圧延処理又はスキンパス圧延処理後の上記金属箔のＡｌ含有金属層の厚さは、０．１〜３０μｍであることが好ましい。０．１μｍ未満では、充分な耐食効果は得られず、３０μｍ超では、Ａｌを大量にめっきする必要があり、生産コストが高くなるためである。好ましくは、上記Ａｌ含有金属層の厚さが、１〜３０μｍである。より好ましくは、上記Ａｌ含有金属層の厚さが、３〜３０μｍである。最も好ましくは、上記Ａｌ含有金属層の厚さが、８〜３０μｍである。

【0056】

また必要に応じて、第２圧延処理又はスキンパス圧延処理後の上記金属箔のＡｌ含有金属層表面に、ＡｌＮ層を緻密な状態で形成させるため、加熱処理を行うことが好ましい。これは、上記金属箔を、アンモニア又はヒドラジンを１０体積％±２体積％含有する不活性ガス（アルゴン、窒素、窒素＋水素等）中に配置して、５００〜６００℃の温度範囲で、１〜１０時間の加熱を行う処理である。

【0057】

同様に、第２圧延処理又はスキンパス圧延処理後の上記金属箔のＡｌ含有金属層表面に、Ａｌ_２Ｏ_３層を緻密な状態で形成させるため、陽極酸化処理として、陽極酸化法によりＡｌ含有金属層表面を酸化させることが好ましい。処理条件は、従来から知られている硫酸アルマイト、しゅう酸アルマイト、又は、クロム酸アルマイト等が利用できるが、中でも硫酸アルマイトがもっとも経済的で工業的に適している。但し、上記金属箔が薄く、陽極酸化処理中に上記金属箔が変形する危険性があるため、陽極酸化処理が終了後、すみやかに水冷するのが上記金属箔の平たん度を維持する上で重要である。

【0058】

また、Ａｌ含有金属層の表面に、Ｃｒ層又はＮｉ層を形成させるためには、スパッタ法や、蒸着法で比較的簡便に成膜することができる。しかし、緻密で均質なＣｒ層又はＮｉ層を形成させるには、電解めっき法を用いることが好ましい。よって、第２圧延処理又はスキンパス圧延処理後の上記金属箔のＡｌ含有金属層表面に、Ｃｒ層又はＮｉ層を緻密な状態で形成させるため、電解めっき処理として、めっきを施すことが好ましい。

【0059】

同様に、第２圧延処理又はスキンパス圧延処理後の上記金属箔のＡｌ含有金属層表面に、ゾルゲル層を形成させるため、ゾルゲル層の成膜処理を行うことが好ましい。まず、最終的な焼き付け工程で得られる被膜中の水素濃度［Ｈ］（ｍｏｌ／ｌ）とシリコン濃度［Ｓｉ］（ｍｏｌ／ｌ）との比が、０．１≦［Ｈ］／［Ｓｉ］≦１０となるようなゾルを調製する。次いで、調製したゾルを上記金属箔のＡｌ含有金属層表面に塗布し、乾燥する。最後に乾燥した後に焼付けを行うことによって、無機有機ハイブリッド膜被覆を備える金属箔を製造することができる。

【0060】

同様に、第２圧延処理又はスキンパス圧延処理後の上記金属箔のＡｌ含有金属層表面に、ラミネート層を形成させるため、ラミネート層の成膜処理を行うことが好ましい。ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミドから選ばれるプラスティックフィルムなどから構成されるラミネートを用いてナイロン系接着剤で上記金属箔のＡｌ含有金属層表面と接するようにした後に加熱し、１ＭＰａ程度の圧力で熱圧着する熱ラミネート法で成膜することができる。

【実施例】

【0061】

実施例により本発明の一態様の効果を更に具体的に説明するが、実施例での条件は、本発明の実施可能性及び効果を確認するために採用した一条件例であり、本発明は、この一条件例に限定されない。本発明は、本発明の要旨を逸脱せず、本発明の目的を達成する限り、種々の条件を採用し得る。

【0062】

[実験例１]
実験例１では、第一圧延処理として、極低炭素鋼を熱間及び冷間で圧延し、板厚３００μｍの圧延鋼鈑とした。プレめっき処理として、この圧延鋼鈑上に、電解めっき法により、純Ｃｕ又は純Ｎｉプレめっき膜を形成した。電解Ｎｉめっきのめっき浴としてはワット浴を、電解Ｃｕめっきのめっき浴としては硫酸銅浴を用いた。めっき処理として、プレめっき処理後の圧延鋼鈑を、Ａｌ含有金属中に２０秒間浸漬することで溶融Ａｌめっきした。第２圧延処理として、めっき処理後の圧延鋼鈑を、各パスあたり１０〜２０％の圧下率で圧延することで金属箔を製造した。一部の金属箔は必要に応じて、第二圧延処理後にスキンパス圧延処理を実施した。上記のプレめっき膜及びＡｌ含有金属層の厚みは、箔化後の各層が表１に記載の厚みになる様、あらかじめ計算して決定した。

【0063】

上記製造した金属箔の、表面状態や、各構成層の状態を、金属箔の圧延方向と直交する板幅方向が観察面となるように板厚方向に沿って平面切断した切断面の金属組織を観察することで確認した。金属組織観察は、観察視野が板幅方向で２０μｍ以内となる倍率で行い、板幅方向の合計視野が３００μｍ以上となるように、少なくとも１５視野以上を観察した。輪郭曲線及び輪郭平均直線は、画像解析により求めた。各構成層は、上記切断面をエネルギー分散型Ｘ線分析（ＥＤＸ）することで同定した。合金層の硬度は、上記切断面をビッカース硬度計により測定した。これらの結果を表１に示す。表中、下線で示す数値は、本発明の範囲外であることを示す。切断面観察の際、ボイドと呼ばれる空隙が見られれば、表１にボイド「有」と示した。

【0064】

また、上記製造した金属箔を用いて、耐食試験、１８０度密着曲げ試験、及び、光沢度測定試験を行った。同様に、これらの結果を表１に示す。表中、下線で示す数値は、本発明の範囲外であることを示す。

【0065】

耐食試験は、塩水噴霧試験（ＳＳＴ）によって評価した。３５℃に保持された５％ＮａＣｌ水を噴霧し、４００時間以上目視で腐食を確認できない場合をＶＧ（Ｖｅｒｙ Ｇｏｏｄ）、３００時間以上をＧ（Ｇｏｏｄ）、１００時間以上をＮＧ（Ｎｏｔ Ｇｏｏｄ）、１００時間未満をＢ（Ｂａｄ）とした。そして、ＮＧとＢとを、不合格とした。

【0066】

更に過酷な耐食性試験として、１５０ｍｍ×７０ｍｍに切り出した金属箔に、５０℃に保持された１０％ＮａＣｌ水を噴霧した。６００時間経過しても金属箔表面が腐食していなければもっとも耐食性が良好であるとしてＥＧ（Ｅｘｔｒｅｍｅｌｙ Ｇｏｏｄ）とした。５００時間経過しても金属箔表面が腐食していなければＧＧ（Ｇｒｅａｔｌｙ Ｇｏｏｄ）とした。４００時間経過しても金属箔表面が腐食していなければＶＧ（Ｖｅｒｙ Ｇｏｏｄ）とした。３００時間経過しても金属箔表面が腐食していなければＧ（Ｇｏｏｄ）とした。１００時間経過しても金属箔表面が腐食していなければＮＧ（Ｎｏｔ Ｇｏｏｄ）とした。１００時間未満で金属箔表面が腐食すればＢ（Ｂａｄ）とした。そして、ＮＧとＢとを、不合格とした。

【0067】

１８０度密着曲げ試験は、金属箔に、内側半径が零で、曲げ角度が１８０°となる１８０度密着曲げ加工を繰り返して実施し、皮膜の剥離または亀裂が生じる加工回数を調査することで実施した。皮膜の剥離または亀裂の観察は、１８０度密着曲げ加工の１サイクル毎に、金属箔の曲げ外周部を光学顕微鏡で観察することで行った。皮膜の剥離または亀裂が、光学顕微鏡で観察された時点の加工回数を皮膜破壊回数とした。皮膜破壊回数は、３回以上で、弾塑性変形性が良好であると判断した。

【0068】

光沢度測定試験は、光沢度計を用いて、金属箔に、入射角６０°で光を入射させ、銀鏡面の反射率に対する比率を測定することで実施した。光沢度は、７５％未満を（ＮｏｔＧｏｏｄ）、７５％以上８０％未満をＧ（Ｇｏｏｄ）、８０以上９０％未満をＶＧ（Ｖｅｒｙ Ｇｏｏｄ）、９０％以上をＧＧ（Ｇｒｅａｔｌｙ Ｇｏｏｄ）として評価した。そして、ＮＧを不合格とした。

【0069】

【表1】

【0070】

表１に示すように、実施例１〜３１は、鋼層、Ｃｕ層又はＮｉ層、合金層、及び、Ａｌ含有金属層の状態が、いずれも目標を達成しており、その結果、優れた耐食性、弾塑性変形性、表面平滑性、光沢度を示している。

【0071】

これに対し、比較例１〜４は、鋼層、Ｃｕ層又はＮｉ層、合金層、及び、Ａｌ含有金属層の状態のいずれかが目標を達成しておらず、その結果、耐食性、弾塑性変形性、表面平滑性、光沢度のいずれかが不十分となっている。

【0072】

比較例１は、合金層を有さないため、耐食性、１８０度密着曲げ性が不十分となった例である。
比較例２は、合金層の厚さが８μｍ超であるため、切断面にボイドが観察され、１８０度密着曲げ性が不十分となった例である。
比較例３は、合金層が従来の硬くて脆い合金層であるため、合金層のビッカース硬度が９００Ｈｖとなり、１８０度密着曲げ性が不十分となった例である。
比較例４は、輪郭平均直線からの距離が０．５μｍ超となる極大点が存在した例である。光沢度も不十分となった。

【0073】

[実験例２]
実験例２では、実験例１と同様に作製した金属箔に、ＡｌＮ層、Ａｌ_２Ｏ_３層、Ｃｒ層、Ｎｉ層、ゾルゲル層、及び、ラミネート層を形成させ、その膜厚を変化させることでＣＩＧＳ光電変換効率を調べた。ＣＩＧＳ光電変換効率は、８％未満をＮＧ（ＮｏｔＧｏｏｄ）、８％以上１０％未満をＧ（Ｇｏｏｄ）、１０以上１２％未満をＶＧ（Ｖｅｒｙ Ｇｏｏｄ）、１２％以上をＧＧ（Ｇｒｅａｔｌｙ Ｇｏｏｄ）として評価した。そして、ＮＧを不合格とした。

【0074】

ＡｌＮ層は、アンモニア含有する不活性ガスを用いた加熱処理により作製した。Ａｌ_２Ｏ_３層は硫酸アルマイト処理により作製した。Ｃｒ層およびＮｉ層はスパッタ法により作製した。
ゾルゲル層の形成では、ゾル調製の出発原料として１０モルのメチルトリエトキシシランと１０モルのテトラエトキシシランの混合物を用い、この混合物に２０モルのエタノールを加えて良く撹拌した。その後、撹拌しながら、２モルの酢酸と１００モルの水を混合した酢酸水溶液を滴下し加水分解を行った。この様にして得たゾルに１００モルのエタノールを加えて最終的なゾルを得た。ディップコーティング法によってめっき普通鋼箔の両面にこのゾルを塗布した後、空気中で１００℃、１分間の乾燥を行った。その後、窒素雰囲気中で昇温速度１０℃／分として室温から４００℃まで昇温し、４００℃で３０分間焼き付けてゾルゲル層を得た。
ラミネート層の形成では、ナイロン系接着剤をクレゾールとキシレンの質量比７０：３０の混合溶剤に１５質量％の濃度で溶解し、その溶解物を樹脂に塗布した後、その樹脂を３００℃に加熱されためっき普通鋼箔に１ＭＰａの圧力で熱圧着することで熱ラミネートした。表２にその結果を示す。

【0075】

【表2】

【0076】

表２に示すように、実施例３２〜６３は、いずれも優れた光電変換効率を示している。特に、ＡｌＮ層、Ａｌ_２Ｏ_３層、Ｃｒ層、Ｎｉ層、ゾルゲル層、及び、ラミネート層の厚さが最適に制御されている実施例は、さらに優れた光電変換効率を示している。

【0077】

実施例３３〜３５及び実施例５３〜５５は、ＡｌＮ層の厚さが最適に制御されているため、さらに優れた光電変換効率を示す。
実施例３７〜３９は、Ｃｒ層の厚さが最適に制御されているため、さらに優れた光電変換効率を示す。
実施例４１〜４３は、Ｎｉ層の厚さが最適に制御されているため、さらに優れた光電変換効率を示す。
実施例４５〜４７及び実施例４９〜５１は、Ａｌ_２Ｏ_３層の厚さが最適に制御されているため、さらに優れた光電変換効率を示す。
実施例５７〜５９は、ゾルゲル層の厚さが最適に制御されているため、さらに優れた光電変換効率を示す。
実施例６１〜６３は、ラミネート層の厚さが最適に制御されているため、さらに優れた光電変換効率を示す。

【産業上の利用可能性】

【0078】

本発明の上記態様によれば、ガラス基材と比較して、割れにくく、そして、薄膜化に適しており、加えて、基材用金属箔として要求される耐食性、表面平滑性、及び、弾塑性変形性を同時に満足する安価な基材用金属箔の提供が可能となる。