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特許5816624光変調用浮動ロッカーＭＥＭＳデバイスの製造方法
発明の名称 光変調用浮動ロッカーＭＥＭＳデバイスの製造方法
出願人 キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド （識別番号 511112445）
特許公開件数ランキング 30662 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24916 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5816624
公報発行日 2015年11月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5816624
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