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特許5820731基板処理装置および固体原料補充方法
発明の名称 基板処理装置および固体原料補充方法
出願人 株式会社日立国際電気 （識別番号 1122）
特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社キッツエスシーティー （識別番号 501417929）
特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5820731
公報発行日 2015年11月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5820731
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