特許5823903製膜装置

発明の名称　製膜装置

出願人　東レエンジニアリング株式会社　（識別番号 219314）

　　　　特許公開件数ランキング 309 位（104件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 662 位（36件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5823903

公報発行日　2015年11月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5823903

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