発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献１に開示された従来の多オゾン処理装置へのオゾン供給するオゾンガス供給システムは以上のように構成されており、窒素や水分を含んだ原料酸素ガスを供給し、１つのオゾン発生器７１からオゾンガスを出力し、出力する配管系統を分配配管させる構成にしている。このため、出力するオゾンガスには、窒素酸化副生物質や硝酸クラスタやＯＨラジカル物質が含まれた活性ガスを供給されることになり、出力配管材質と窒素酸化副生物質や硝酸クラスタやＯＨラジカル物質との化学分解や酸化反応で、異常加熱や腐食に伴う金属コンタミネーションが多く含まれるオゾンガスを供給することになるという問題点があった。 この発明はのような課題を解決するためになされたものであり、原料ガスに窒素ガスを添加させない高純度酸素ガスのみで、高純度で、かつ高濃度のオゾンガスを生成できる窒素添加レス・オゾン発生器を搭載し、オゾン発生器自身を低温に冷やし、オゾン発生器自身を断熱材で覆ってオゾン発生器の放電部分を効率良く冷やせるよう構成にすることにより、該窒素添加レス・オゾン発生器から出力されるオゾンガスをより多く出力することが可能な窒素添加レス・オゾン発生ユニットを得ることを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

この発明に係る窒素添加レス・オゾン発生ユニットにおける窒素添加レス・オゾン発生器は、１５℃以下の低温冷却媒体の供給及び排出口である冷却媒体入出口が形成されており結露発生が懸念される所定の構成面を覆って断熱材からなる断熱層を形成しているため、断熱層によって大気温度の影響を受けることなくオゾン発生器自身を低温に冷却することにより、所定の構成面における結露発生を確実に防止することができる。その結果、窒素添加レス・オゾン発生器の収納部の外部に存在するオゾン電源、制御手段に結露した水分が浸入することによる不具合を確実に回避することができオゾン発生器、オゾン電源、制御手段を一体構成にできる。 加えて、上述した断熱層によって大気温度の影響を低減化して収納部内の温度を比較的低温に保つことにより、光触媒層による光触媒効果を向上させ、その結果、オゾン発生効率及びオゾン分解効果を高め、品質の高いオゾンをより多く発生させることができる効果を奏する。 この発明の目的、特徴、局面、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。