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特許5824521真空アーク炉における電極ギャップの閉ループ制御のための方法および装置
発明の名称 真空アーク炉における電極ギャップの閉ループ制御のための方法および装置
出願人 エーエルデー・バキューム・テクノロジーズ・ゲーエムベーハー （識別番号 509060198）
特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5824521
公報発行日 2015年11月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5824521
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