特許5825905荷電粒子ビームシステム

発明の名称　荷電粒子ビームシステム

出願人　カール　ツァイス　マイクロスコーピー　ゲーエムベーハー　（識別番号 512158505）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9069 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5825905

公報発行日　2015年12月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5825905

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5825905「荷電粒子ビームシステム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録