特許5826011カーボンナノチューブ生成装置及び化学蒸着（ＣＶＤ）プロセス炉

発明の名称　カーボンナノチューブ生成装置及び化学蒸着（ＣＶＤ）プロセス炉

出願人　ザ・ボーイング・カンパニー　（識別番号 500520743）

　　　　特許公開件数ランキング 213 位（47件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 131 位（64件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5826011

公報発行日　2015年12月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5826011

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