発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

透過型電子顕微鏡に関して、観察試料を透過した電子ビームを蛍光板上に投影することにより観察を行う。通常、この蛍光板上に結像された像は真空外から直視するか、またはルーペを通して観察を行う。この際電子顕微鏡の構造上、観察者は斜め上方より蛍光板を見なければならない。 従来は蛍光板を観察方向と正対するように傾けることにより、観察を行っていたが、この方法では像が傾斜方向に伸びでしまう現象が起きる。これを回避するためには蛍光板直上から観察を行う必要があるが、光軸を遮ってしまうことと、光軸付近が真空であるという問題がある。 また、電子光学系の光軸調整には広い領域の像観察が必要であり、この作業の際には蛍光板像を用いている。この時、蛍光板付近を直視しながら、離れた場所にある電子レンズのメカ軸調整を行うことは作業時間がかかることに加え、作業自体の危険性も大きいという問題がある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によって、透過型電子顕微鏡に関して、蛍光板上にて歪みが最小の像観察が可能となる。