特許5827554電力用半導体デバイス検査用プローブ集合体とそれを用いる検査装置

発明の名称　電力用半導体デバイス検査用プローブ集合体とそれを用いる検査装置

出願人　株式会社日本マイクロニクス　（識別番号 153018）

　　　　特許公開件数ランキング 458 位（11件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 8204 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5827554

公報発行日　2015年12月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5827554

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