特許第5829389号(P5829389)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ カール ツァイス レーザー オプティクス ゲーエムベーハーの特許一覧

<>
  • 特許5829389-EUVシステムに用いる反射光学素子 図000002
  • 特許5829389-EUVシステムに用いる反射光学素子 図000003
< >