特許5833211成膜方法

発明の名称　成膜方法

出願人　株式会社日本製鋼所　（識別番号 4215）

　　　　特許公開件数ランキング 196 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 254 位（15件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5833211

公報発行日　2015年12月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5833211

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