特許5833636ナノインプリント・リソグラフィのテンプレート製作方法およびそのシステム

発明の名称　ナノインプリント・リソグラフィのテンプレート製作方法およびそのシステム

出願人　モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド　（識別番号 503193362）

　　　　特許公開件数ランキング 31533 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25576 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5833636

公報発行日　2015年12月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5833636

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