特許5835929半導体製造用薬液のマイクロバブル低減用ろ過システムとそのろ過方法

発明の名称　半導体製造用薬液のマイクロバブル低減用ろ過システムとそのろ過方法

出願人　株式会社キッツマイクロフィルター　（識別番号 504253669）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5835929

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5835929

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