特許5836629IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

撮影レンズの焦点状態を検出可能な撮像素子とそれを具備した撮像装置及びカメラシステムに関するものである。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところで、CMOS型撮像素子の光電変換部上の一部領域にはポリシリコン等で構成される転送電極が形成されている。ここで、特許文献3では、光電変換部上に開口を有する遮光部を設け、該遮光部と光電変換部との間に転送電極を設ける構成を開示している。しかしながら、特許文献3のように撮像素子の光軸方向において遮光部と転送電極とが重なるように形成した場合は、マイクロレンズから光電変換部までの距離が長くなるため、撮像素子の受光効率が低いという問題がある。 このような問題に対し、CMOS型撮像素子の受光効率を上げるために、マイクロレンズから光電変換部までの距離を短くするためには、タングステン等で形成される遮光部は、光軸方向において転送電極と重ならないように形成されるのが望ましい。 そこで、本発明者は、遮光部と転送電極を光電変換部上において光軸直交方向に並んで形成する構成を考案した。この場合、遮光部と転送電極を光軸方向において重ならないように配置することができ、マイクロレンズから光電変換部までの距離を短くすることができるため、CMOS型撮像素子の受光効率を上げることができる。しかしながら、この場合、遮光部の材質であるタングステン等の部材の複素屈折率は高く反射率が約14%程度となることから、タングステン表面で反射した光が隣接画素に侵入し画質の劣化を起こしてしまうという問題があった。また、転送電極であるポリシリコンにも、マイクロレンズを通る光があたるため、ポリシリコン(あるいはシリコン)表面からの反射も同様に画質の劣化を起こしてしまうという問題があった。 そこで、本発明の目的は、撮像素子の受光効率を確保しつつ高精度な位相差方式の焦点検出を可能とするとともに、遮光部材からの反射を低減して画質の劣化を防止することが可能な撮像素子を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するために、本発明の一側面としての撮像素子は、撮影レンズからの光を光電変換して被写体の像を生成する撮影用画素と、前記撮影レンズの射出瞳の一部の領域を通る光を受光する焦点検出用画素と、を有する撮像素子であって、前記焦点検出用画素は、光電変換部と、前記光電変換部の少なくとも一部の領域を覆うように前記光電変換部の端部に設けられる転送電極と、前記撮像素子の全面に形成され、前記光電変換部・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、撮像素子の受光効率を確保しつつ高精度な位相差方式の焦点検出を可能とするとともに、遮光部材からの反射を低減して画質の劣化を防止することが可能な撮像素子を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の光学装置(カメラシステム)の構成図である。

【図2】本発明の撮像素子の一部平面図である。(実施例1)

【図3】本発明の撮像素子の一部断面図である。(実施例1)

【図4】本発明の撮像素子の製造プロセス説明図である。(実施例1)

【図5】本発明の撮像素子に配設される焦点検出用画素の受光分布説明図である。(実施例1)

【図6】図5の受光分布の射影説明図である。(実施例1)

【図7】本発明の光学装置の電気回路ブロック図である。

【図8】本発明の光学装置の撮影動作のフローチャートである。

【図9】本発明の撮像素子の一部平面図である。(実施例1の変形例)

【図10】本発明の撮像素子の一部平面図である。(実施例2)

【図11】本発明の撮像素子の焦点検出画素の平面図である。(実施例2)

【図12】本発明の撮像素子の製造プロセス説明図である。(実施例2)

【図13】本発明の撮像素子に配設される焦点検出用画素の受光分布説明図である。(実施例2)

【図14】図13の受光分布の射影説明図である。(実施例2)

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

100 カメラ   101 跳ね上げミラー   102 ピント板   103 ペンタダハプリズム   104 接眼レンズ   105 サブミラー   106 焦点検出装置   107 フォーカルプレーンシャッター   108 撮像素子   109 液晶表示素子   200 撮影レンズ

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