【図1】本発明の第１力覚センサの概略構成を示す説明図であり、（ａ）は力覚センサの斜視図、（ｂ）は（ａ）とは異なる方向から見た力覚センサの斜視図である。

【図2】本発明の第１力覚センサの変位検出部を説明するための図であり、（ａ）は、力覚センサの正面図、（ｂ）は、力覚センサの断面図である。

【図3】Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の並進方向に作用部材に力が印加された場合のセンサ本体の変形状態を示す図である。（ａ）はＸ軸方向に作用部材に力Ｆｘが印加された場合、（ｂ）はＹ軸方向に作用部材に力Ｆｙが印加された場合、（ｃ）はＺ軸方向に作用部材に力Ｆｚが印加された場合を示すセンサ本体の断面図である。

【図4】Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸まわりの回転方向に作用部材にモーメントが印加された場合のセンサ本体の変形状態を示す図である。（ａ）はＸ軸まわりに作用部材にモーメントＭｘが印加された場合、（ｂ）はＹ軸まわりに作用部材にモーメントＭｙが印加された場合を示すセンサ本体の断面図である。（ｃ）はＺ軸まわりに作用部材にモーメントＭｚが印加された場合を示すセンサ本体の斜視図である。

【図5】本発明の第２力覚センサの概略構成を示す斜視図である。

【図6】Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の並進方向に作用基体に力が印加された場合のセンサ本体の変形状態を示す図である。（ａ）はＸ軸方向に作用基体に力Ｆｘが印加された場合、（ｂ）はＹ軸方向に作用基体に力Ｆｙが印加された場合、（ｃ）はＺ軸方向に作用基体に力Ｆｚが印加された場合を示すセンサ本体の断面図である。

【図7】Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸まわりの回転方向に作用基体にモーメントが印加された場合のセンサ本体の変形状態を示す図である。（ａ）はＸ軸まわりに作用基体にモーメントＭｘが印加された場合、（ｂ）はＹ軸まわりに作用基体にモーメントＭｙが印加された場合を示すセンサ本体の断面図である。（ｃ）はＺ軸まわりに作用基体にモーメントＭｚが印加された場合を示すセンサ本体の斜視図である。