特許5836700基板用作業装置

発明の名称　基板用作業装置

出願人　富士機械製造株式会社　（識別番号 237271）

　　　　特許公開件数ランキング 257 位（124件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 102 位（252件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5836700

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5836700

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