特許 5841387 めっき装置及びめっき方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5841387

(24)【登録日】2015年11月20日

(45)【発行日】2016年1月13日

(54)【発明の名称】めっき装置及びめっき方法

(51)【国際特許分類】

   C25D 21/10 20060101AFI20151217BHJP

   H05K 3/18 20060101ALI20151217BHJP

   C25D 7/00 20060101ALI20151217BHJP

【ＦＩ】

   C25D21/10 301

   H05K3/18 N

   C25D7/00 J

【請求項の数】8

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2011-213419(P2011-213419)

(22)【出願日】2011年9月28日

(65)【公開番号】特開2013-72125(P2013-72125A)

(43)【公開日】2013年4月22日

【審査請求日】2014年6月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】304024898

【氏名又は名称】京セラサーキットソリューションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100080816

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 朝道

(72)【発明者】

【氏名】表寺 宏

(72)【発明者】

【氏名】金山 正昭

【審査官】 祢屋 健太郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−２４４６９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２７７７８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−２７７７８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１５２４１５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２５Ｄ ２１／００−２１／２２

Ｃ２５Ｄ ７／００

Ｈ０５Ｋ ３／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

めっき槽内に配置されるとともに、めっき液が強制的に供給されるパイプから成る容器と、
前記容器内に供給されためっき液を、前記めっき槽内に配置された被めっき材に向けて噴流する複数のノズルと、
を備え、
前記容器には、前記パイプの両端に設けられた供給口からめっき液が強制的に供給されることを特徴とするめっき装置。

【請求項2】

前記容器は、内部空間を複数の液室に仕切る１又は複数の仕切部を備え、
前記液室は、それぞれ、対応する前記供給口を有するとともに、対応する１又は複数の前記ノズルに通じていることを特徴とする請求項１記載のめっき装置。

【請求項3】

前記仕切部は、前記容器内の途中に固定された仕切板、又は、前記容器に形成された絞り部であることを特徴とする請求項２記載のめっき装置

【請求項4】

前記容器は、直列に配置された複数のパイプ片と、前記パイプ片間に配されるとともに、前記パイプ片間を仕切り、かつ、両パイプ片を連結する連結部材と、を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のめっき装置。

【請求項5】

前記めっき槽内のめっき液を各前記供給口に向けて圧送するポンプと、
前記ポンプから各前記供給口に通ずる流路上に設けられるとともに、対応する前記供給口へのめっき液の流量を調整する複数のバルブと、
前記ポンプから各前記供給口に通ずる流路上に設けられるとともに、対応する前記バルブで調整されためっき液の流量を検出する複数の流量センサと、
前記流量センサで検出されためっき液の流量を監視することにより、対応する前記バルブを制御して、各前記供給口に供給されるめっき液の流量を均一化する電子制御装置と、
を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載のめっき装置。

【請求項6】

めっき槽内に配置された被めっき材に対して、パイプから成る容器に設けられた複数のノズルから噴流されためっき液を当てて、前記被めっき材の表面にめっきを施すに際し、
前記パイプの両端に設けられた供給口からめっき液を強制的に供給することを特徴とするめっき方法。

【請求項7】

前記容器は、内部空間を複数の液室に仕切る１又は複数の仕切部を備え、
前記液室は、それぞれ、対応する前記供給口を有するとともに、対応する１又は複数の前記ノズルに通じ、
各前記液室に対応する前記供給口からめっき液を強制的に供給することを特徴とする請求項６記載のめっき方法。

【請求項8】

各前記供給口に供給されるめっき液の流量を均一化して各前記供給口からめっき液を強制的に供給することを特徴とする請求項６又は７記載のめっき方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被めっき材にめっきを施すめっき装置及びめっき方法に関し、特に、噴流しためっき液を被めっき材に作用させてめっきを施す噴流式めっき装置及びめっき方法に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント配線板の製造においては、基板（被めっき材）に配線、ビア、スルーホール等を形成する工程において、一般的に、基板に銅などの金属をめっきするめっき装置が用いられる。プリント配線板の製造だけでなく、金属基材（被めっき材）の表面にめっきする場合にもめっき装置が用いられる。従来のめっき装置においては、めっき時間の短縮、めっき厚の均一化、小径孔部へのめっき充填性向上等の目的で、噴流式めっき装置が使われている。

【0003】

例えば、特許文献１では、タンク内のめっき液を、ポンプで陽極を備えためっき液噴射装置に供給し、めっき液噴射装置の複数のノズルから噴流させて、陰極である金属基材（被めっき材）の表面に当て、めっき液を介して電気的に接続されたノズルと金属基材との間に電流を流すことにより金属基材の表面にめっき層を形成する噴流式めっき装置が開示されている（特許文献１の図１参照）。この噴流式めっき装置では、金属基材の被めっき面を大気中に鉛直方向にまたは鉛直方向より傾斜させて設置し、複数のノズルを被めっき面に対して等しい距離を保持するように配列して被めっき面と複数のノズルとを相互に平行に２次元揺動させてめっきを施している。

【0004】

また、特許文献２では、電解槽内に対向して配置した給電ブスバーにそれぞれ、不溶性電極からなる陽極とプリント基板用被めっき材の陰極を掛止し、銅イオン、塩基性炭酸銅および有機性添加剤を含有する電解液中にて電解処理を行うことによって、陰極であるプリント基板用被めっき材の表面およびスルーホール内に銅めっきを施すめっき装置において、陽極である不溶性電極板に多数の貫通孔を設けると共に、該不溶性電極板の背面側において、該貫通孔に対応する位置に噴射ノズルを配置しためっき液の噴流用受槽箱を設置し、この噴流用受槽箱内にパイプを介して電解槽中のめっき液を強制的に循環供給することにより、不溶性電極板から被めっき材であるプリント基板に向かう均一なめっき液の噴流を形成させる噴流式めっき装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１０−２１６００６号公報

【特許文献2】特開２００２−２２６９９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

以下の分析は、本願発明者により与えられる。

【0007】

被めっき材の全面に渡って均一なめっき膜を形成するためには、各ノズルから被めっき材に噴出されるめっき液の量（流速）が一定であることが重要である。しかしながら、従来の噴流式めっき装置は、１つの容器（受槽箱）においてめっき液の供給用の孔（パイプ）が１つしかなく、容器（受槽箱）内のめっき液の流れが一方向であったり分岐しているため、めっき液の入り口近傍に設けたノズルと、入り口から遠方に設けたノズルとでは、めっき液の流通経路の差が大きく、被めっき材に供給されるめっき液の量（流速）に差が生じるため、めっき厚のバラツキが大きくなったり、小径孔部内のめっきの充填性等のバラツキが大きくなるおそれがあった。

【0008】

本発明の主な課題は、各ノズルから被めっき材に噴出されるめっき液の流量のバラツキを小さく抑えることができる噴流式めっき装置及びめっき方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の第１の視点においては、めっき装置において、めっき槽内に配置されるとともに、めっき液が強制的に供給される容器と、前記容器内に供給されためっき液を、前記めっき槽内に配置された被めっき材に向けて噴流する複数のノズルと、を備え、前記容器には、互いに離れた複数の供給口からめっき液が強制的に供給されることを特徴とする。また、本発明の第１の視点の変形例においては、めっき装置において、めっき槽内に配置されるとともに、めっき液が強制的に供給されるパイプから成る容器と、前記容器内に供給されためっき液を、前記めっき槽内に配置された被めっき材に向けて噴流する複数のノズルと、を備え、前記容器には、前記パイプの両端に設けられた供給口からめっき液が強制的に供給されることを特徴とする。

【0010】

本発明の第２の視点においては、めっき方法において、めっき槽内に配置された被めっき材に対して、容器に設けられた複数のノズルから噴流されためっき液を当てて、前記被めっき材の表面にめっきを施すに際し、前記容器に設けられ互いに離れた複数の供給口からめっき液を強制的に供給することを特徴とする。また、本発明の第２の視点の変形例においては、めっき方法において、めっき槽内に配置された被めっき材に対して、パイプから成る容器に設けられた複数のノズルから噴流されためっき液を当てて、前記被めっき材の表面にめっきを施すに際し、前記パイプの両端に設けられた供給口からめっき液を強制的に供給することを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、パイプに設けられた複数の供給口からめっき液を強制的に供給することによりノズル間での流量差が抑えられ、供給口付近に設けたノズルと、供給口から離れた場所に設けたノズルとから噴流されるめっき液の流量を一定にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施例１に係るめっき装置の構成を示した模式図である。

【図2】本発明の実施例１に係るめっき装置におけるめっき槽内の構成を模式的に示した斜視図である。

【図3】本発明の実施例１に係るめっき装置におけるパイプ組立体の構成を模式的に示した斜視図である。

【図4】本発明の実施例１に係るめっき装置におけるパイプ内の仕切部の構成を模式的に示した部分断面図である。

【図5】実施例１及び比較例に係るめっき装置におけるパイプの構成を模式的に示した比較図である。

【図6】実施例１及び比較例に係るめっき装置の流量試験結果を示した表である。

【図7】本発明の実施例２に係るめっき装置の構成を示した模式図である。

【図8】本発明の実施例３に係るめっき装置の構成を示した模式図である。

【図9】本発明の実施例４に係るめっき装置におけるパイプ内の仕切部の構成を模式的に示した部分断面図である。

【図10】本発明の実施例５に係るめっき装置におけるパイプ内の仕切部の構成を模式的に示した部分断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の実施形態１に係るめっき装置では、めっき槽（図１の１０）内のめっき液（図１の３）中に配置されるとともに、めっき液が強制的に供給される容器（図１の１１ａ、１１ｂ）と、前記容器内に供給されためっき液を、前記めっき槽内のめっき液中に配置された被めっき材（図１の２）に向けて噴流する複数のノズル（図１のＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂ）と、を備え、前記容器には、互いに離れた複数の供給口（図１では容器１１ａ、１１ｂの両端、図７では容器１１ａ、１１ｂの両端、及び１つの中間部、図８では容器１１ａ、１１ｂの両端、及び４つの中間部）からめっき液が強制的に供給される。

【0014】

本発明の前記めっき装置において、前記容器は、パイプであり、前記供給口は、前記パイプの両端に設けられていることが好ましい。

【0015】

本発明の前記めっき装置において、前記容器は、内部空間を複数の液室に仕切る１又は複数の仕切部を備え、前記液室は、それぞれ、対応する前記供給口を有するとともに、対応する１又は複数の前記ノズルに通じていることが好ましい。

【0016】

本発明の前記めっき装置において、前記仕切部は、前記容器内の途中に固定された仕切板、又は、前記容器に形成された絞り部であることが好ましい。

【0017】

本発明の前記めっき装置において、前記容器は、直列に配置された複数のパイプ片と、前記パイプ片間に配されるとともに、前記パイプ片間を仕切り、かつ、両パイプ片を連結する連結部材と、を備えることが好ましい。

【0018】

本発明の前記めっき装置において、前記めっき槽内のめっき液を各前記供給口に向けて圧送するポンプと、前記ポンプから各前記供給口に通ずる流路上に設けられるとともに、対応する前記供給口へのめっき液の流量を調整する複数のバルブと、前記ポンプから各前記供給口に通ずる流路上に設けられるとともに、対応する前記バルブで調整されためっき液の流量を検出する複数の流量センサと、前記流量センサで検出されためっき液の流量を監視することにより、対応する前記バルブを制御して、各前記供給口に供給されるめっき液の流量を均一化する電子制御装置と、を備えることが好ましい。

【0019】

本発明の実施形態２に係るめっき方法では、めっき槽（図１の１０）内のめっき液（図１の３）中に配置された被めっき材（図１の２）に対して、容器（図１の１１ａ、１１ｂ）に設けられた複数のノズル（図１のＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂ）から噴流されためっき液を当てて、前記被めっき材の表面にめっきを施すに際し、前記容器における互いに離れた複数の供給口（図１では容器１１ａ、１１ｂの両端、図７では容器１１ａ、１１ｂの両端、及び１つの中間部、図８では容器１１ａ、１１ｂの両端、及び４つの中間部）からめっき液を強制的に供給する。

【0020】

本発明の前記めっき方法において、前記容器は、パイプであり、前記パイプの両端に設けられた前記供給口からめっき液を強制的に供給することが好ましい。

【0021】

本発明の前記めっき方法において、前記容器は、内部空間を複数の液室に仕切る１又は複数の仕切部を備え、前記液室は、それぞれ、対応する前記供給口を有するとともに、対応する１又は複数の前記ノズルに通じ、各前記液室に対応する前記供給口からめっき液を強制的に供給することが好ましい。

【0022】

本発明の前記めっき方法において、各前記供給口に供給されるめっき液の流量を均一化して各前記供給口からめっき液を強制的に供給することが好ましい。

【0023】

なお、本出願において図面参照符号を付している場合は、それらは、専ら理解を助けるためのものであり、図示の態様に限定することを意図するものではない。

【実施例1】

【0024】

本発明の実施例１に係るめっき装置について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施例１に係るめっき装置の構成を示した模式図である。図２は、本発明の実施例１に係るめっき装置におけるめっき槽内の構成を模式的に示した斜視図である。図３は、本発明の実施例１に係るめっき装置におけるパイプ組立体の構成を模式的に示した斜視図である。図４は、本発明の実施例１に係るめっき装置におけるパイプ内の仕切部の構成を模式的に示した部分断面図である。なお、図２においては、図１のアノード材料２１、アノードバッグ２２、アノードマスク板２３、カソードマスク板３３、及び、めっき材搬送ガイドワイヤ３４を省略している。

【0025】

図１を参照すると、めっき装置１は、被めっき材２に金属（例えば、銅など）をめっきする装置である。めっき装置１は、めっき槽内のめっき液３中に配置された被めっき材２に向けてめっき液を噴流させて、被めっき材２に対してめっきを施す噴流式である。めっき装置１は、被めっき材２の仕様（例えば、サイズ、めっき厚、スルーホールやビアのアスペクト比）や、めっき液３の種類によって、被めっき材２に噴流されるめっき液３の流量を制御可能な構成となっている。

【0026】

めっき装置１は、主な構成部として、めっき槽１０と、パイプ１１ａ、１１ｂと、仕切板１２ａ、１２ｂと、ノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂと、上辺パイプ１３ａ、１３ｂと、供給口１４ａ、１４ｂと、下辺パイプ１５ａ、１５ｂと、供給口１６ａ、１６ｂと、アノードケース２０と、アノード材料２１と、アノードバッグ２２と、アノードマスク板２３と、カソードクランプ３０と、カソード吊り金具３１と、カソードレール３２と、カソードマスク板３３と、めっき材搬送ガイドワイヤ３４と、ポンプ４０と、流路４１ａ、４１ｂと、バルブ４２と、流量センサ４３と、流路４４と、電子制御装置４５と、を有する。

【0027】

ここで、被めっき材２は、めっきが形成される基材である（図１、図２参照）。被めっき材２は、カソードクランプ３０に挟まれて保持（把持）されており、カソードクランプ３０及びカソード吊り金具３１を介してカソードレール３２に吊り下げられている。被めっき材２は、カソードクランプ３０、カソード吊り金具３１、及びカソードレール３２を介してカソード（陰極）に電気的に接続されている。被めっき材２には、例えば、金属基材、プリント配線基板（配線、ビア、スルーホール等を形成する準備ができたもの）を用いることができる。被めっき材２は、プリント配線基板の場合、最初に配線、ビア、スルーホール等を形成する領域の絶縁材料の表面をパラジウム含有浴で活性処理し、その後、無電解銅めっきにより銅の薄膜を析出させて導電性を付与した状態のものが用いられる。この状態のプリント配線基板の銅の薄膜をカソードに電気的に接続して電解処理を行うと、プリント配線基板の銅の薄膜上に銅めっきが形成（析出）される。

【0028】

また、めっき液３は、アノード材料２１に含まれる金属原子が酸化された金属イオン（陽イオン）を含む電解液である（図１参照）。めっき液３は、例えば、アノード材料２１が銅の場合、硫酸銅などの一種類以上の金属塩が溶解した水溶液を用いることができる。めっき液３に含まれる金属イオンは、アノード材料２１から供給され、カソードとなる被めっき材２の表面で還元されてめっきされる。めっき液３には、細部濡れ性、硬さ、光沢性等の要求を満足させるために添加剤を含有させてもよい。

【0029】

めっき液３は、めっき槽１０内から流路４４を通じてポンプ４０に引き込まれ、ポンプ４０によって流路４１ａ、４１ｂ、及び、パイプ（１１ａ、１１ｂ、１３ａ、１３ｂ、１５ａ、１５ｂ）を通じてノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂに圧送され、ノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂからめっき槽１０内のめっき液３中に配置された被めっき材２に向けて噴流される。

【0030】

めっき槽１０は、めっき液３を溜め込んだ容器である（図１、図２参照）。めっき槽１０内には、被めっき材２が配される位置の両側（図１の左右両側）に、被めっき材２の搬送をガイドする複数本のめっき材搬送ガイドワイヤ３４が配置されており、めっき材搬送ガイドワイヤ３４が配される位置の外側にパイプ１１ａ、１３ａ、１５ａよりなるパイプ組立体、及び、パイプ１１ｂ、１３ｂ、１５ｂよりなるパイプ組立体が設置されており、パイプ組立体が配される位置の外側に、アノードケース２０及びアノード材料２１が入ったアノードバッグ２２が配置されている。また、めっき槽１０内には、カソードとなる被めっき材２の下側端部の近傍をアノード材料２１に対してマスクするカソードマスク板３３が配置されており、アノード材料２１の下側端部の近傍をカソードとなる被めっき材２に対してマスクするアノードマスク板２３が配置されている。

【0031】

パイプ１１ａは、上辺パイプ１３ａ及び下辺パイプ１５ａからのめっき液３を一時的に溜めてノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａに送るための管状の容器である（図１〜図４参照）。パイプ１１ａは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。パイプ１１ａは、上下方向に延在するように配されている。パイプ１１ａは、上辺パイプ１３ａと下辺パイプ１５ａとの間にて複数本配されており、上辺パイプ１３ａ及び下辺パイプ１５ａが延在する方向にて等間隔に配されている。パイプ１１ａの側壁面には、パイプ１１ａ内のめっき液３を被めっき材２に向けて噴流するように複数のノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａが等間隔で取り付けられている。パイプ１１ａ内には、上側の液室Ｒ１ａと下側の液室Ｒ２ａとに仕切る仕切板１２ａが固定されている。仕切板１２ａは、パイプ１１ａ内のノズルＮ３ａとノズルＮ４ａとの間の部位に配されている。パイプ１１ａの上端部は、液室Ｒ１ａに係るめっき液３の供給口となっており、上辺パイプ１３ａと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの下端部は、液室Ｒ２ａに係るめっき液３の供給口となっており、下辺パイプ１５ａと流通可能に接続されている。液室Ｒ１ａに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ２ａに係るめっき液３の供給口とは、互いに離間している。ノズルＮ１ａ〜Ｎ３ａは、液室Ｒ１ａに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。ノズルＮ４ａ〜Ｎ６ａは、液室Ｒ２ａに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。

【0032】

パイプ１１ｂは、上辺パイプ１３ｂ及び下辺パイプ１５ｂからのめっき液３を一時的に溜めてノズルＮ１ｂ〜Ｎ６ｂに送るための管状の容器である（図１、図２参照）。パイプ１１ｂは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。パイプ１１ｂは、上下方向に延在するように配されている。パイプ１１ｂは、上辺パイプ１３ｂと下辺パイプ１５ｂとの間にて複数本配されており、上辺パイプ１３ｂ及び下辺パイプ１５ｂが延在する方向にて等間隔に配されている。パイプ１１ｂの側壁面には、パイプ１１ｂ内のめっき液３を被めっき材２に向けて噴流するように複数のノズルＮ１ｂ〜Ｎ６ｂが等間隔で取り付けられている。パイプ１１ｂ内には、上側の液室Ｒ１ｂと下側の液室Ｒ２ｂとに仕切る仕切板１２ｂが固定されている。仕切板１２ｂは、パイプ１１ｂ内のノズルＮ３ｂとノズルＮ４ｂとの間の部位に配されている。パイプ１１ｂの上端部は、液室Ｒ１ｂに係るめっき液３の供給口となっており、上辺パイプ１３ｂと流通可能に接続されている。パイプ１１ｂの下端部は、液室Ｒ２ｂに係るめっき液３の供給口となっており、下辺パイプ１５ｂと流通可能に接続されている。液室Ｒ１ｂに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ２ｂに係るめっき液３の供給口とは、互いに離間している。ノズルＮ１ｂ〜Ｎ３ｂは、液室Ｒ１ｂに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。ノズルＮ４ｂ〜Ｎ６ｂは、液室Ｒ２ｂに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。

【0033】

上辺パイプ１３ａは、各パイプ１１ａの上端部を結ぶ上辺に配置された管状の部材である（図１〜図３参照）。上辺パイプ１３ａは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。上辺パイプ１３ａは、流路４１ａからのめっき液３が供給される供給口１４ａを有する。上辺パイプ１３ａは、各パイプ１１ａの上端部と流通可能に接続されており、供給口１４ａからのめっき液３を各パイプ１１ａの液室Ｒ１ａに分配する。供給口１４ａは、各パイプ１１ａの液室Ｒ１ａの共通の供給口となる。

【0034】

上辺パイプ１３ｂは、各パイプ１１ｂの上端部を結ぶ上辺に配置された管状の部材である（図１、図２参照）。上辺パイプ１３ｂは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。上辺パイプ１３ｂは、流路４１ａからのめっき液３が供給される供給口１４ｂを有する。上辺パイプ１３ｂは、各パイプ１１ｂの上端部と流通可能に接続されており、供給口１４ｂからのめっき液３を各パイプ１１ｂの液室Ｒ１ｂに分配する。供給口１４ｂは、各パイプ１１ｂの液室Ｒ１ｂの共通の供給口となる。

【0035】

下辺パイプ１５ａは、各パイプ１１ａの下端部を結ぶ下辺に配置された管状の部材である（図１〜図３参照）。下辺パイプ１５ａは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。下辺パイプ１５ａは、流路４１ｂからのめっき液３が供給される供給口１６ａを有する。下辺パイプ１５ａは、各パイプ１１ａの下端部と流通可能に接続されており、供給口１６ａからのめっき液３を各パイプ１１ａの液室Ｒ２ａに分配する。供給口１６ａは、各パイプ１１ａの液室Ｒ２ａの共通の供給口となる。

【0036】

下辺パイプ１５ｂは、各パイプ１１ｂの下端部を結ぶ下辺に配置された管状の部材である（図１、図２参照）。下辺パイプ１５ｂは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。下辺パイプ１５ｂは、流路４１ｂからのめっき液３が供給される供給口１６ｂを有する。下辺パイプ１５ｂは、各パイプ１１ｂの下端部と流通可能に接続されており、供給口１６ｂからのめっき液３を各パイプ１１ｂの液室Ｒ２ｂに分配する。供給口１６ｂは、各パイプ１１ｂの液室Ｒ２ｂの共通の供給口となる。

【0037】

アノードケース２０は、アノード材料２１をめっき液３に吊るした状態にするための導電材料よりなる網状のケースである（図１、図２参照）。アノードケース２０は、アノード（陽極）に電気的に接続されており、アノード材料２１と接触している。アノードケース２０は、パイプ組立体（パイプ１１ａ、１１ｂ、１３ａ、１３ｂ、１５ａ、１５ｂ）の外側に配置されている。アノードケース２０は、めっき液３に対して、アノード材料２１に用いられる材料よりも不溶性の材料が用いられ、例えば、チタン製のバスケット（バッグ）を用いることができる。

【0038】

アノード材料２１は、めっきのもととなる金属を含む材料である（図１参照）。アノード材料２１は、表面積を多くするためボール状に形成されている。アノード材料２１には、銅めっきを施す場合、銅、銅合金、純銅等が用いられ、例えば、チタン基材を銅の酸化膜などで焼成した不溶性カソードや、可溶性の含リン銅ボールを用いることができる。アノード材料２１は、アノードケース２０内に多数入っており、アノードケース２０と接触し、アノードケース２０を介してアノード（陽極）と電気的に接続されている。アノード材料２１は、電解処理により減少したときに、定期的にアノードケース２０に補給される。

【0039】

アノードバッグ２２は、電解処理する際にアノード材料２１から副生されるスラッジを外部に出さないようにするための袋状の布である（図１参照）。アノードバッグ２２には、アノード材料２１を収容したアノードケース２０が入っている。アノードバッグ２２は、スラッジを溜められるように、アノードケース２０よりも下側に長く形成されている。

【0040】

アノードマスク板２３は、電解処理したときに電解集中しやすいアノード（アノード材料２１）の先端部（図１では下側端部）を、カソード（被めっき材２）に対して隠すように配置された板状の部材である（図１参照）。アノードマスク板２３は、パイプ１１ａ、１１ｂとアノードケース２０との間においてアノードケース２０の下側端部の近傍に配置されている。

【0041】

カソードクランプ３０は、被めっき材２を保持（把持）してカソード（陰極）に電気的に接続するための導電性の部材である（図１、図２参照）。カソードクランプ３０は、カソード吊り金具３１の下側端部に固定されている。カソードクランプ３０は、被めっき材２を着脱可能に保持（把持）する。カソードクランプ３０は、被めっき材２（プリント配線基板の場合は銅の薄膜）と接続している。カソードクランプ３０は、カソード吊り金具３１及びカソードレール３２を介してカソード（陰極）に電気的に接続される。

【0042】

カソード吊り金具３１は、カソードクランプ３０に保持（把持）された被めっき材２をカソードレール３２に吊り下げるための導電性の金具である（図１、図２参照）。カソード吊り金具３１は、下側端部にカソードクランプ３０が固定されており、上側部分でカソードレール３２の延在方向に沿ってスライド可能にカソードレール３２に引っ掛かっている。カソード吊り金具３１は、カソードレール３２とカソードクランプ３０とを電気的に接続する。

【0043】

カソードレール３２は、カソード（陰極）に電気的に接続された棒状で導電性の部材である（図１、図２参照）。カソードレール３２は、被めっき材２の上方で水平に配置されており、上辺パイプ１３ａ、１３ｂ及び下辺パイプ１５ａ、１５ｂと平行に配置されている。カソードレール３２は、カソード吊り金具３１がカソードレール３２の延在方向に沿ってスライド可能に引っ掛けられており、カソード吊り金具３１を介してカソードクランプ３０に保持（把持）された被めっき材２が吊り下げられる。

【0044】

カソードマスク板３３は、電解処理したときに電解集中しやすいカソード（被めっき材２）の先端部（図１では下側端部）を、アノード（アノード材料２１）に対して隠すように配置された板状の部材である（図１参照）。カソードマスク板３３は、パイプ１１ａ、１１ｂと被めっき材２との間において被めっき材２の下側端部の近傍に配置されている。カソードマスク板３３は、被めっき材２のサイズに応じて上下方向に移動可能である。

【0045】

めっき材搬送ガイドワイヤ３４は、カソードレール３２の延在方向に沿って被めっき材２を搬送する際に被めっき材２がノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂからの噴流による振れを抑えるようにガイドするワイヤである（図１参照）。めっき材搬送ガイドワイヤ３４は、被めっき材２の両側に複数本配されている。

【0046】

ポンプ４０は、めっき槽１０内のめっき液３を供給口１４ａ、１４ｂ、１６ａ、１６ｂに向けて圧送する装置である（図１参照）。ポンプ４０は、めっき槽１０内のめっき液３を流路４４を通じて引き込み、引き込んだめっき液３を流路４１ａ、４１ｂを通じて供給口１４ａ、１４ｂ、１６ａ、１６ｂに向けて圧送する。

【0047】

流路４１ａは、ポンプ４０から圧送されためっき液３を上辺パイプ１３ａ、１３ｂの供給口１４ａ、１４ｂに供給するための流路である（図１参照）。流路４１ａには、流量調整するバルブ４２が設けられており、調整された流量を検出する流量センサ４３が設けられている。

【0048】

流路４１ｂは、ポンプ４０から圧送されためっき液３を下辺パイプ１５ａ、１５ｂの供給口１６ａ、１６ｂに供給するための流路である（図１参照）。流路４１ｂには、流量調整するバルブ４２が設けられており、調整された流量を検出する流量センサ４３が設けられている。

【0049】

バルブ４２は、流路４１ａ、４１ｂのめっき液３の流量を調整可能なコントロールバルブである（図１参照）。バルブ４２は、電子制御装置４５と電気的に接続されており、流路４１ａ、４１ｂのめっき液３の流量を一定に保つように、電子制御装置４５によって制御可能なものである。バルブ４２は、流路４１ａ、４１ｂのそれぞれに設けられている。

【0050】

流量センサ４３は、バルブ４２で流量調整された流路４１ａ、４１ｂのめっき液３の流量を検出するセンサである（図１参照）。流量センサ４３は、電子制御装置４５と電気的に接続されている。流量センサ４３は、流路４１ａ、４１ｂのそれぞれに設けられている。

【0051】

流路４４は、めっき槽１０内のめっき液３をポンプ４０に引き込むための流路である（図１参照）。

【0052】

電子制御装置４５は、流路４１ａ、４１ｂのめっき液３の流量を均一化するように制御するコンピュータである（図１参照）。電子制御装置４５は、各バルブ４２及び各流量センサ４３と電気的に接続されている。電子制御装置４５は、所定のプログラマに基づいて制御処理を実行する。電子制御装置４５は、流量センサ４３で検出されためっき液３の流量を監視することにより、対応する流路４１ａ、４１ｂのバルブ４２を制御する。電子制御装置４５は、流量センサ４３で検出された流量値が閾値（設定値）よりも大きければ、対応する流路４１ａ、４１ｂのバルブ４２でめっき液３の流量を下げて閾値に近づくように制御し、流量値が閾値（設定値）以下であれば、対応する流路４１ａ、４１ｂのバルブ４２でめっき液３の流量を上げて閾値に近づくように制御する。

【0053】

（流量試験）
次に、実施例１及び比較例に係るめっき装置の流量試験について図面を用いて説明する。図５は、実施例１及び比較例に係るめっき装置におけるパイプの構成を模式的に示した比較図である。図６は、実施例１及び比較例に係るめっき装置の流量試験結果を示した表である。

【0054】

図５を参照すると、比較例（従来例）では、パイプ１１の一端からめっき液を供給してノズルＮ１〜Ｎ６から噴流する構成とする。実施例１では、パイプ１１内のノズルＮ３とノズルＮ４との間の部位に仕切板１２を設け、パイプ１１の両端からめっき液を供給して、液室Ｒ１に供給されためっき液をノズルＮ１〜Ｎ３から噴流し、液室Ｒ２に供給されためっき液をノズルＮ４〜Ｎ６から噴流する構成とする。なお、流量試験では、図３の上辺パイプ１３ａと下辺パイプ１５ａとの間に配されたパイプ１１ａのように、パイプ１１を１６本有する片側パイプ組立体を用いて試験を行った。また、流量試験では、片側パイプ組立体に供給される流量合計を１００Ｌ／分と２００Ｌ／分に変化させたときの各ノズルＮ１〜Ｎ６から吐出されるめっき液の流量を測定した。

【0055】

流量合計が２００Ｌ／分の場合、実施例１のノズルＮ１〜Ｎ６から吐出されるめっき液の流量は２．０５〜２．１０Ｌ／分であり、比較例のノズルＮ１〜Ｎ６から吐出されるめっき液の流量は１．９２〜２．３４Ｌ／分であった（図６参照）。比較例では、ノズルの最大流量と最小流量の差は０．４２となった。一方、実施例１では、ノズルの最大流量と最小流量の差は０．０７であった。このことから、実施例１によれば、比較例よりもノズルＮ１〜Ｎ６から吐出されるめっき液の流量のバラツキを小さくすることができるといえる

【0056】

流量合計が１００Ｌ／分の場合、実施例１のノズルＮ１〜Ｎ６から吐出されるめっき液の流量は０．９９〜１．１８Ｌ／分であり、比較例のノズルＮ１〜Ｎ６から吐出されるめっき液の流量は０７２〜１．３６Ｌ／分であった（図６参照）。流量合計が１００Ｌ／分と少なくなった場合、比較例ではめっき液の供給口に近いノズルほど流量が大きくかつ供給口から遠いノズルほど小さくなり、ノズルの最大流量と最小流量の差は０．６４となった。一方、実施例１では、ノズルの最大流量と最小流量の差は０．１９であった。このことから、実施例１によれば、比較例よりもノズルＮ１〜Ｎ６から吐出されるめっき液の流量のバラツキを小さくできる点は、流量合計が２００Ｌ／分の場合と同様である。特に、パイプ１１に供給される流量が小さくなるにしたがい、実施例１及び比較例のどちらもノズルから吐出される流量のバラツキは大きくなるものの、実施例１によれば、比較例よりもノズルから吐出される流量のバラツキが大きくなるのを抑えることができる。

【0057】

実施例１によれば、パイプ１１ａ、１１ｂに設けられた複数の供給口からめっき液を強制的に供給することによりノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂ間での流量のバラツキが小さく抑えられ、被めっき材２の全面に渡って均一なめっきを形成することができるようになる。また、複数の供給口からパイプ１１ａ、１１ｂにめっき液を強制的に供給するとともに、パイプ１１ａ、１１ｂの途中に仕切板１２ａ、１２ｂを設けることにより、供給口からノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂまでの距離が短くなり、各ノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂから吐出される流量のバラツキをさらに小さく抑えることができる。

【実施例2】

【0058】

本発明の実施例２に係るめっき装置について図面を用いて説明する。図７は、本発明の実施例２に係るめっき装置の構成を示した模式図である。

【0059】

実施例２は、実施例１の変形例であり、１本のパイプ（１１ａ、１１ｂ）内の途中に２つの仕切部（１２ａ、１２ｂ）を設け、１本のパイプ（１１ａ、１１ｂ）につき供給口を３つ設け、１つ供給口からの供給されるめっき液３を２つのノズル（Ｎ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂ）から吐出するようにしたものである。

【0060】

パイプ１１ａは、流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃからのめっき液３を一時的に溜めてノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａに送るための管状の容器である。パイプ１１ａは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。パイプ１１ａは、上下方向に延在するように配されている。パイプ１１ａは、等間隔に複数本配されている。パイプ１１ａの側壁面には、パイプ１１ａ内のめっき液３を被めっき材２に向けて噴流するように複数のノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａが等間隔で取り付けられている。パイプ１１ａ内には、上側の液室Ｒ１ａと中間の液室Ｒ２ａとの間、及び、中間の液室Ｒ２ａと下側の液室Ｒ３ａの間のそれぞれに仕切板１２ａが固定されている。仕切板１２ａは、パイプ１１ａ内のノズルＮ２ａとノズルＮ３ａとの間、及び、ノズルＮ４ａとノズルＮ５ａとの間の部位に配されている。パイプ１１ａの上端部は、液室Ｒ１ａに係るめっき液３の供給口となっており、流路４１ａと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの中間部には、液室Ｒ２ａに係るめっき液３の供給口が設けられており、流路４１ｂと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの下端部は、液室Ｒ３ａに係るめっき液３の供給口となっており、流路４１ｃと流通可能に接続されている。液室Ｒ１ａに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ２ａに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ３ａに係るめっき液３の供給口とは、互いに離間している。ノズルＮ１ａ、Ｎ２ａは、液室Ｒ１ａに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。ノズルＮ３ａ、Ｎ４ａは、液室Ｒ２ａに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。ノズルＮ５ａ、Ｎ６ａは、液室Ｒ３ａに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。

【0061】

パイプ１１ｂは、流路５１ａ、５１ｂ、５１ｃからのめっき液３を一時的に溜めてノズルＮ１ｂ〜Ｎ６ｂに送るための管状の容器である。パイプ１１ｂは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。パイプ１１ｂは、上下方向に延在するように配されている。パイプ１１ｂは、等間隔に複数本配されている。パイプ１１ｂの側壁面には、パイプ１１ｂ内のめっき液３を被めっき材２に向けて噴流するように複数のノズルＮ１ｂ〜Ｎ６ｂが等間隔で取り付けられている。パイプ１１ｂ内には、上側の液室Ｒ１ｂと中間の液室Ｒ２ｂとの間、及び、中間の液室Ｒ２ｂと下側の液室Ｒ３ｂの間のそれぞれに仕切板１２ｂが固定されている。パイプ１１ｂの上端部は、液室Ｒ１ｂに係るめっき液３の供給口となっており、流路５１ａと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの中間部には、液室Ｒ２ｂに係るめっき液３の供給口が設けられており、流路５１ｂと流通可能に接続されている。パイプ１１ｂの下端部は、液室Ｒ３ｂに係るめっき液３の供給口となっており、流路５１ｃと流通可能に接続されている。液室Ｒ１ｂに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ２ｂに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ３ｂに係るめっき液３の供給口とは、互いに離間している。ノズルＮ１ｂ、Ｎ２ｂは、液室Ｒ１ｂに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。ノズルＮ３ｂ、Ｎ４ｂは、液室Ｒ２ｂに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。ノズルＮ５ｂ、Ｎ６ｂは、液室Ｒ３ｂに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。

【0062】

流路４１ａ〜４１ｃは、ポンプ４０から圧送されためっき液３をパイプ１１ａ内の対応する液室Ｒ１ａ〜Ｒ３ａに供給するための流路である。流路４１ａ〜４１ｃには、それぞれ、流量調整するバルブ４２が設けられており、調整された流量を検出する流量センサ４３が設けられている。

【0063】

バルブ４２は、流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃのめっき液３の流量を調整可能なコントロールバルブである。バルブ４２は、電子制御装置４５と電気的に接続されており、流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃのめっき液３の流量を一定に保つように、電子制御装置（図１の４５に相当）によって制御可能なものである。バルブ４２は、流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃのそれぞれに設けられている。

【0064】

流量センサ４３は、バルブ４２で流量調整された流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃのめっき液３の流量を検出するセンサである。流量センサ４３は、電子制御装置（図１の４５に相当）と電気的に接続されている。流量センサ４３は、流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃのそれぞれに設けられている。

【0065】

ポンプ５０は、めっき槽１０内のめっき液３を液室Ｒ１ａ、Ｒ２ｂ、Ｒ３ｂに向けて圧送する装置である。ポンプ５０は、めっき槽１０内のめっき液３を流路５４を通じて引き込み、引き込んだめっき液３を流路５１ａ、５１ｂ、５１ｃを通じて液室Ｒ１ａ、Ｒ２ｂ、Ｒ３ｂに向けて圧送する。

【0066】

流路５１ａ〜５１ｃは、ポンプ５０から圧送されためっき液３を対応する液室Ｒ１ｂ〜Ｒ３ｂに供給するための流路である。流路５１ａ〜５１ｃには、それぞれ、流量調整するバルブ５２が設けられており、調整された流量を検出する流量センサ５３が設けられている。

【0067】

流路５１ｂは、ポンプ５０から圧送されためっき液３を液室Ｒ２ｂに供給するための流路である。流路５１ｂには、流量調整するバルブ５２が設けられており、調整された流量を検出する流量センサ５３が設けられている。

【0068】

流路５１ｃは、ポンプ５０から圧送されためっき液３を液室Ｒ３ｂに供給するための流路である。流路５１ｃには、流量調整するバルブ５２が設けられており、調整された流量を検出する流量センサ５３が設けられている。

【0069】

バルブ５２は、流路５１ａ、５１ｂ、５１ｃのめっき液３の流量を調整可能なコントロールバルブである。バルブ５２は、電子制御装置（図１の４５に相当）と電気的に接続されており、流路５１ａ、５１ｂ、５１ｃのめっき液３の流量を一定に保つように、電子制御装置（図１の４５に相当）によって制御可能なものである。バルブ５２は、流路５１ａ、５１ｂ、５１ｃのそれぞれに設けられている。

【0070】

流量センサ５３は、バルブ５２で流量調整された流路５１ａ、５１ｂ、５１ｃのめっき液３の流量を検出するセンサである。流量センサ５３は、電子制御装置（図１の４５に相当）と電気的に接続されている。流量センサ５３は、流路５１ａ、５１ｂ、５１ｃのそれぞれに設けられている。

【0071】

流路５４は、めっき槽１０内のめっき液３をポンプ５０に引き込むための流路である。

【0072】

なお、図７では、電子制御装置（図１の４５に相当）を省略しているが、電子制御装置は、流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、５１ａ、５１ｂ、５１ｃのめっき液３の流量を均一化するように制御する。電子制御装置は、各バルブ４２、５２及び各流量センサ４３、５３と電気的に接続されている。電子制御装置は、所定のプログラマに基づいて制御処理を実行する。電子制御装置は、流量センサ４３、５３で検出されためっき液３の流量を監視することにより、対応する流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、５１ａ、５１ｂ、５１ｃのバルブ４２、５２を制御する。電子制御装置は、流量センサ４３、５３で検出された流量値が閾値（設定値）よりも大きければ、対応する流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、５１ａ、５１ｂ、５１ｃのバルブ４２、５２でめっき液３の流量を下げて閾値に近づくように制御し、流量値が閾値（設定値）以下であれば、対応する流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、５１ａ、５１ｂ、５１ｃのバルブ４２、５２でめっき液３の流量を上げて閾値に近づくように制御する。

【0073】

その他の構成は、実施例１と同様である。

【0074】

実施例２によれば、実施例１と同様な効果を奏するとともに、実施例１のパイプ（図１の１１ａ、１１ｂ）よりも供給口数が多いので、実施例１よりも各ノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂから吐出される流量のバラツキをさらに小さく抑えることができる。

【実施例3】

【0075】

本発明の実施例３に係るめっき装置について図面を用いて説明する。図８は、本発明の実施例３に係るめっき装置の構成を示した模式図である。

【0076】

実施例３は、実施例２の変形例であり、パイプ（１１ａ、１１ｂ）内のノズル（Ｎ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂ）間の全ての部位に仕切部（１２ａ、１２ｂ）を設け、各ノズル（Ｎ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂ）に対応する各液室（Ｒ１ａ〜Ｒ６ａ、Ｒ１ｂ〜Ｒ６ｂ）に供給口を設け、１つ供給口からの供給されるめっき液３を１つのノズル（Ｎ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂ）から吐出するようにしたものである。

【0077】

パイプ１１ａは、流路４１ａ〜４１ｆからのめっき液３を一時的に溜めてノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａに送るための管状の容器である。パイプ１１ａは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。パイプ１１ａは、上下方向に延在するように配されている。パイプ１１ａは、等間隔に複数本配されている。パイプ１１ａの側壁面には、パイプ１１ａ内のめっき液３を被めっき材２に向けて噴流するように複数のノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａが等間隔で取り付けられている。パイプ１１ａ内には、ノズル間の部位のそれぞれに仕切板１２ａが固定されている。パイプ１１ａの上端部は、液室Ｒ１ａに係るめっき液３の供給口となっており、流路４１ａと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの液室Ｒ２ａには、めっき液３の供給口が設けられており、流路４１ｂと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの液室Ｒ３ａには、めっき液３の供給口が設けられており、流路４１ｃと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの液室Ｒ４ａには、めっき液３の供給口が設けられており、流路４１ｄと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの液室Ｒ５ａには、めっき液３の供給口が設けられており、流路４１ｅと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの下端部は、液室Ｒ６ａに係るめっき液３の供給口となっており、流路４１ｆと流通可能に接続されている。液室Ｒ１ａに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ２ａに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ３ａに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ４ａに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ５ａに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ６ａに係るめっき液３の供給口とは、互いに離間している。ノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａは、対応する液室Ｒ１ａ〜Ｒ６ａに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。

【0078】

パイプ１１ｂは、流路５１ａ〜５１ｆからのめっき液３を一時的に溜めてノズルＮ１ｂ〜Ｎ６ｂに送るための管状の容器である。パイプ１１ｂは、めっき槽１０内のめっき液２中に配置されている。パイプ１１ｂは、上下方向に延在するように配されている。パイプ１１ｂは、等間隔に複数本配されている。パイプ１１ｂの側壁面には、パイプ１１ｂ内のめっき液３を被めっき材２に向けて噴流するように複数のノズルＮ１ｂ〜Ｎ６ｂが等間隔で取り付けられている。パイプ１１ｂ内には、ノズル間の部位のそれぞれに仕切板１２ｂが固定されている。パイプ１１ｂの上端部は、液室Ｒ１ｂに係るめっき液３の供給口となっており、流路５１ａと流通可能に接続されている。パイプ１１ｂの液室Ｒ２ｂには、めっき液３の供給口が設けられており、流路５１ｂと流通可能に接続されている。パイプ１１ｂの液室Ｒ３ｂには、めっき液３の供給口が設けられており、流路５１ｃと流通可能に接続されている。パイプ１１ｂの液室Ｒ４ｂには、めっき液３の供給口が設けられており、流路５１ｄと流通可能に接続されている。パイプ１１ｂの液室Ｒ５ｂには、めっき液３の供給口が設けられており、流路５１ｅと流通可能に接続されている。パイプ１１ａの下端部は、液室Ｒ６ｂに係るめっき液３の供給口となっており、流路５１ｆと流通可能に接続されている。液室Ｒ１ｂに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ２ｂに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ３ｂに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ４ｂに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ５ｂに係るめっき液３の供給口と、液室Ｒ６ｂに係るめっき液３の供給口とは、互いに離間している。ノズルＮ１ｂ〜Ｎ６ｂは、対応する液室Ｒ１ｂ〜Ｒ６ｂに供給されためっき液３を被めっき材２に向けて噴流する。

【0079】

流路４１ａ〜４１ｆは、ポンプ４０から圧送されためっき液３をパイプ１１ａ内の対応する液室Ｒ１ａ〜Ｒ６ａに供給するための流路である。流路４１ａ〜４１ｆには、それぞれ、流量調整するバルブ４２が設けられており、調整された流量を検出する流量センサ４３が設けられている。

【0080】

バルブ４２は、流路４１ａ〜４１ｆのめっき液３の流量を調整可能なコントロールバルブである。バルブ４２は、電子制御装置４５と電気的に接続されており、流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃのめっき液３の流量を一定に保つように、電子制御装置（図１の４５に相当）によって制御可能なものである。バルブ４２は、流路４１ａ、４１ｂ、４１ｃのそれぞれに設けられている。

【0081】

流量センサ４３は、バルブ４２で流量調整された流路４１ａ〜４１ｆのめっき液３の流量を検出するセンサである。流量センサ４３は、電子制御装置（図１の４５に相当）と電気的に接続されている。流量センサ４３は、流路４１ａ〜４１ｆのそれぞれに設けられている。

【0082】

流路５１ａ〜５１ｆは、ポンプ５０から圧送されためっき液３を対応する液室Ｒ１ｂ〜Ｒ６ｂに供給するための流路である。流路５１ａ〜５１ｆには、それぞれ、流量調整するバルブ５２が設けられており、調整された流量を検出する流量センサ５３が設けられている。

【0083】

バルブ５２は、流路５１ａ〜５１ｆのめっき液３の流量を調整可能なコントロールバルブである。バルブ５２は、電子制御装置（図１の４５に相当）と電気的に接続されており、流路５１ａ〜５１ｆのめっき液３の流量を一定に保つように、電子制御装置（図１の４５に相当）によって制御可能なものである。バルブ５２は、流路５１ａ〜５１ｆのそれぞれに設けられている。

【0084】

流量センサ５３は、バルブ５２で流量調整された流路５１ａ〜５１ｆのめっき液３の流量を検出するセンサである。流量センサ５３は、電子制御装置（図１の４５に相当）と電気的に接続されている。流量センサ５３は、流路５１ａ〜５１ｆのそれぞれに設けられている。

【0085】

なお、図８では、電子制御装置（図１の４５に相当）を省略しているが、電子制御装置は、流路４１ａ〜４１ｆ、５１ａ〜５１ｆのめっき液３の流量を均一化するように制御する。電子制御装置は、各バルブ４２、５２及び各流量センサ４３、５３と電気的に接続されている。電子制御装置は、所定のプログラマに基づいて制御処理を実行する。電子制御装置は、流量センサ４３、５３で検出されためっき液３の流量を監視することにより、対応する流路４１ａ〜４１ｆ、５１ａ〜５１ｆのバルブ４２、５２を制御する。電子制御装置は、流量センサ４３、５３で検出された流量値が閾値（設定値）よりも大きければ、対応する流路４１ａ〜４１ｆ、５１ａ〜５１ｆのバルブ４２、５２でめっき液３の流量を下げて閾値に近づくように制御し、流量値が閾値（設定値）以下であれば、対応する流路４１ａ〜４１ｆ、５１ａ〜５１ｆのバルブ４２、５２でめっき液３の流量を上げて閾値に近づくように制御する。

【0086】

その他の構成は、実施例２と同様である。

【0087】

実施例３によれば、実施例２と同様な効果を奏するとともに、ノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂごとに対応する供給口を設けているので、各ノズルＮ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂから吐出される流量をバラツキをさらに小さく抑え一定にすることができる。

【実施例4】

【0088】

本発明の実施例４に係るめっき装置について図面を用いて説明する。図９は、本発明の実施例４に係るめっき装置におけるパイプ内の仕切部の構成を模式的に示した部分断面図である。

【0089】

実施例４は、実施例１の変形例であり、容器として、パイプ（図１の１１ａ、１１ｂ）内に仕切板（図１の１２ａ、１２ｂ）を固定した容器とする代わりに、複数のパイプ片６０、６１を直列に配置し、パイプ片６０、６１間を連結部材６２で連結（接着、溶接、螺合でも可）し、パイプ片６０内の液室Ｒ１ａとパイプ片６１内の液室Ｒ２ａとを連結部材６２で仕切った容器を用いたものである。その他の構成は、実施例１と同様である。なお、実施例４のような構成の容器は、実施例２、３に適用してもよい。

【0090】

実施例４によれば、実施例１と同様な効果を奏する。

【実施例5】

【0091】

本発明の実施例５に係るめっき装置について図面を用いて説明する。図１０は、本発明の実施例５に係るめっき装置におけるパイプ内の仕切部の構成を模式的に示した部分断面図である。

【0092】

実施例５は、実施例１の変形例であり、容器として、パイプ（図１の１１ａ、１１ｂ）内に仕切板（図１の１２ａ、１２ｂ）を固定した容器とする代わりに、１本のパイプ６４に絞り部６４ａを形成してパイプ６４の内部空間を液室Ｒ１ａと液室Ｒ２ａとに仕切った容器としたものである。絞り部６４ａでは、液室Ｒ１ａと液室Ｒ２ａとを完全に分離するように密着していてもよいが、隙間があいていてもよい。絞り部６４ａに隙間がある場合、オリフィスとして機能する。その他の構成は、実施例１と同様である。なお、実施例５のような構成の容器は、実施例２、３に適用してもよい。

【0093】

実施例５によれば、実施例１と同様な効果を奏するとともに、装置を低コストに抑えて製作することができる。

【0094】

なお、本発明の全開示（請求の範囲及び図面を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲及び図面を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。

【符号の説明】

【0095】

１ めっき装置
２ 被めっき材
３ めっき液
１０ めっき槽
１１、１１ａ、１１ｂ パイプ（容器）
１２、１２ａ、１２ｂ 仕切板（仕切部）
１３ａ、１３ｂ 上辺パイプ
１４ａ、１４ｂ 供給口
１５ａ、１５ｂ 下辺パイプ
１６ａ、１６ｂ 供給口
２０ アノードケース
２１ アノード材料
２２ アノードバッグ
２３ アノードマスク板
３０ カソードクランプ
３１ カソード吊り金具
３２ カソードレール
３３ カソードマスク板
３４ めっき材搬送ガイドワイヤ
４０ ポンプ
４１ａ〜４１ｆ 流路
４２ バルブ
４３ 流量センサ
４４ 流路
４５ 電子制御装置
５０ ポンプ
５１ａ〜５１ｆ 流路
５２ バルブ
５３ 流量センサ
５４ 流路
６０、６１ パイプ片（容器）
６２ 連結部材（容器、仕切部）
６４ パイプ（容器）
６４ａ 絞り部（仕切部）
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ１ａ〜Ｒ６ａ、Ｒ１ｂ〜Ｒ６ｂ 液室
Ｎ１〜Ｎ６、Ｎ１ａ〜Ｎ６ａ、Ｎ１ｂ〜Ｎ６ｂ ノズル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】