【実施例】
【0087】
以下、本発明を実施例及び比較例により更に具体的に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。
【0088】
以下の例で用いた特性の測定方法を以下に示す。
【0089】
<固形分濃度>
試料溶液(その質量をw1とする)を、熱風乾燥機中120℃で10分間、250℃で10分間、次いで350℃で30分間加熱処理して、加熱処理後の質量(その質量をw2とする)を測定する。固形分濃度[質量%]は、次式によって算出した。
【0090】
固形分濃度[質量%]=(w2/w1)×100
【0091】
<対数粘度>
試料溶液を、固形分濃度に基づいて濃度が0.5g/dl(溶媒は水)になるように希釈した。この希釈液を、30℃にて、キャノンフェンスケNo.100を用いて流下時間(T
1)を測定した。対数粘度は、ブランクの水の流下時間(T
0)を用いて、次式から算出した。
【0092】
対数粘度={ln(T
1/T
0)}/0.5
【0093】
<溶液粘度(回転粘度)>
トキメック社製E型粘度計を用いて30℃で測定した。
【0094】
<ポリイミドフレキシブルデバイス用基板の状態観察>
発泡または割れなどの不具合が全くないものを○、発泡または割れなどの不具合がある領域が全体の30%以下のものを△、発泡または割れなどの不具合がある領域が全体の30%を越えているものを×とした。
【0095】
<光透過率測定>
光透過率測定装置(大塚電子社製MCPD−300)を用いて、ポリイミドフレキシブルデバイス用基板の膜厚を10μmに換算した、全光線透過率および400nmにおける光透過率を測定した。
【0096】
以下の例で使用した化合物の略号について説明する。
s−BPDA:3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ODPA:4,4’−オキシジフタル酸二無水物
6FDA:4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物
t−DCDA:trans−ジシクロヘキシル−3,3’,4,4’ −テトラカルボン酸二無水物
c−DCDA:cis−ジシクロヘキシル−3,3’,4,4’ −テトラカルボン酸二無水物
ODA:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(25℃における水に対する溶解度:0.19g/L)
PPD:p−フェニレンジアミン(25℃における水に対する溶解度:120g/L)
t−CHDA:trans−1,4−ジアミノシクロへキサン(25℃における水に対する溶解度:1000g/L、分子量:114)
HMD:1,6−ヘキサメチレンジアミン(25℃における水に対する溶解度:1000g/L、分子量:116)
DAB:1,4−ジアミノブタン(25℃における水に対する溶解度:1000g/L、分子量:88)
DAP:1,3−プロパンジアミン(25℃における水に対する溶解度:1000g/L、分子量:74)
D2000:ジェファーミンD2000(三井化学社製、重量平均分子量2041のジアミン化合物)
1074:PRIAMINE1074(クローダジャパン社製、重量平均分子量548のジアミン化合物)
1,2−DMZ:1,2−ジメチルイミダゾール(25℃における水に対する溶解度:239g/L)
【0097】
〔実施例1〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにt−CHDAの20.97g(0.184モル)と、1,2−DMZの44.14g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの54.03g(0.184モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.8質量%、溶液粘度1.2Pa・s、対数粘度0.72のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0098】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0099】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−1に示した。
【0100】
〔実施例2〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにHMDの21.24g(0.183モル)と、1,2−DMZの43.92g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの53.76g(0.183モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.4質量%、溶液粘度0.7Pa・s、対数粘度0.63のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0101】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0102】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−1に示した。
【0103】
〔実施例3〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにDABの17.29g(0.196モル)と、1,2−DMZの47.15g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの57.71g(0.196モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.2質量%、溶液粘度0.3Pa・s、対数粘度0.45のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0104】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0105】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−1に示した。
【0106】
〔実施例4〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにt−CHDAの20.55g(0.180モル)と、1,2−DMZの43.24g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの15.88g(0.054モル)及びc−DCDAの38.57g(0.126モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.2質量%、溶液粘度0.1Pa・s、対数粘度0.27のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0107】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0108】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−1に示した。
【0109】
〔実施例5〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにt−CHDAの20.18g(0.177モル)と、1,2−DMZの42.48g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にODPAの54.82g(0.177モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.5質量%、溶液粘度0.1Pa・s、対数粘度0.43のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0110】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0111】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−1に示した。
【0112】
〔実施例6〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにODAの23.31g(0.116モル)と、1,2−DMZの27.97g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液に6FDAの51.69g(0.116モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度13.0質量%、溶液粘度2.5Pa・s、対数粘度0.13のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0113】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0114】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−1に示した。
【0115】
〔実施例7〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにPPDの14.69g(0.136モル)と、1,2−DMZの32.64g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液に6FDAの60.31g(0.136モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度13.4質量%、溶液粘度4.5Pa・s、対数粘度0.62のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0116】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0117】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−1に示した。
【0118】
〔実施例8〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにt−CHDAの15.34g(0.134モル)と、1,2−DMZの32.28g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液に6FDAの59.66g(0.134モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.2質量%、溶液粘度0.1Pa・s、対数粘度0.40のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0119】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0120】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−1に示した。
【0121】
〔実施例9〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにt−CHDAの20.37g(0.178モル)と、1,2−DMZの42.87g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にt−DCDAの54.63g(0.178モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.4質量%、溶液粘度0.5Pa・s、対数粘度0.20のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0122】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0123】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−2に示した。
【0124】
〔実施例10〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにHMDの20.63g(0.178モル)と、1,2−DMZの42.67g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にt−DCDAの54.37g(0.178モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.2質量%、溶液粘度0.6Pa・s、対数粘度0.25のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0125】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0126】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−2に示した。
【0127】
〔実施例11〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにDABの16.76g(0.190モル)と、1,2−DMZの45.70g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にt−DCDAの58.24g(0.190モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.3質量%、溶液粘度0.4Pa・s、対数粘度0.25のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0128】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0129】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−2に示した。
【0130】
〔実施例12〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにDAPの14.61g(0.197モル)と、1,2−DMZの47.39g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にt−DCDAの60.39g(0.197モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.0質量%、溶液粘度0.3Pa・s、対数粘度0.27のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0131】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0132】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−2に示した。
【0133】
〔実施例13〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにt−CHDAの20.37g(0.178モル)と、1,2−DMZの42.87g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にc−DCDAの54.63g(0.178モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.2質量%、溶液粘度0.4Pa・s、対数粘度0.18のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0134】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0135】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−2に示した。
【0136】
〔実施例14〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにHMDの20.63g(0.178モル)と、1,2−DMZの42.67g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にc−DCDAの54.37g(0.178モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.2質量%、溶液粘度0.5Pa・s、対数粘度0.18のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0137】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0138】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−2に示した。
【0139】
〔実施例15〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにDABの16.76g(0.190モル)と、1,2−DMZの45.70g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にc−DCDAの58.24g(0.190モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.3質量%、溶液粘度0.2Pa・s、対数粘度0.19のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0140】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0141】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−2に示した。
【0142】
〔実施例16〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにDAPの14.61g(0.197モル)と、1,2−DMZの47.39g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にc−DCDAの60.39g(0.197モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.0質量%、溶液粘度0.1Pa・s、対数粘度0.17のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0143】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0144】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−2に示した。
【0145】
〔実施例17〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにODAの8.64g(0.043モル)及びHMDの15.05g(0.129モル)と、1,2−DMZの41.49g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの38.09g(0.129モル)及びt−DCDAの13.22g(0.043モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度12.1質量%、溶液粘度1.2Pa・s、対数粘度0.49のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0146】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0147】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−3に示した。
【0148】
〔実施例18〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の425gを加え、これにODAの19.24g(0.096モル)及びt−CHDAの3.66g(0.032モル)と、1,2−DMZの30.79g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの9.42g(0.032モル)及び6FDAの42.68g(0.096モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度13.4質量%、溶液粘度4.5.Pa・s、対数粘度0.22のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0149】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0150】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−3に示した。
【0151】
〔実施例19〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにODAの9.37g(0.047モル)及びHMDの21.76g(0.187モル)と、1,2−DMZの56.26g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの68.87g(0.234モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度16.0質量%、溶液粘度0.7Pa・s、対数粘度0.72のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0152】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0153】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−3に示した。
【0154】
〔実施例20〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにPPDの5.29g(0.049モル)及びHMDの22.74g(0.196モル)と、1,2−DMZの58.80g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの71.97g(0.245モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度15.7質量%、溶液粘度1.4Pa・s、対数粘度0.86のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0155】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0156】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表1−3に示した。
【0157】
〔参考例1〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の450gを加え、これにODAの20.25g(0.101モル)と、1,2−DMZの24.31g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの29.75g(0.101モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度8.7質量%、溶液粘度32.0Pa・s、対数粘度0.42のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0158】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0159】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
【0160】
〔参考例2〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の450gを加え、これにPPDの13.44g(0.124モル)と、1,2−DMZの29.87g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの36.56g(0.124モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度9.1質量%、溶液粘度63.0Pa・s、対数粘度1.86のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0161】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0162】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
【0163】
〔参考例3〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の450gを加え、これにODAの11.16g(0.056モル)及びPPDの6.03g(0.056モル)と、1,2−DMZの26.80g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの32.81g(0.112モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度8.7質量%、溶液粘度52.2Pa・s、対数粘度0.54のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0164】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0165】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
【0166】
〔参考例4〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにPPDの16.03g(0.148モル)及びt−CHDAの11.29g(0.099モル)と、1,2−DMZの59.38g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの72.68g(0.247モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度16.7質量%、溶液粘度27.2Pa・s、対数粘度1.04のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0167】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0168】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
【0169】
〔参考例5〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにPPDの18.70g(0.173モル)及びHMDの8.61g(0.074モル)と、1,2−DMZの59.38g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの72.68g(0.247モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度16.1質量%、溶液粘度30.2Pa・s、対数粘度0.82のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0170】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0171】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
【0172】
〔参考例6〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにPPDの26.64g(0.246モル)と、1,2−DMZの59.20g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの50.73g(0.172モル)及びt−DCDAの22.63g(0.074モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度16.2質量%、溶液粘度107.5Pa・s、対数粘度0.87のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0173】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0174】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
【0175】
〔参考例7〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにPPDの28.36g(0.262モル)と、1,2−DMZの63.03g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの54.00g(0.184モル)及びH−PMDAの17.63g(0.079モル)を加え、70℃で6時間撹拌して、固形分濃度16.5質量%、溶液粘度8.7Pa・s、対数粘度0.60のポリイミド前駆体水溶液を得た。
【0176】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物を、基材のガラス板上にバーコーターによって塗布し、その塗膜を、減圧下25℃で30分間、脱泡及び予備乾燥した後で、常圧下、熱風乾燥器に入れて、80℃で30分間、120℃で30分間、200℃で10分間、次いで250℃で10分間加熱処理して、厚さが10μmのポリイミドフレキシブルデバイス用基板を形成した。
【0177】
得られたポリイミド前駆体水溶液組成物及びポリイミドフレキシブルデバイス用基板について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
【0178】
〔比較例1〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにHMDの17.35g(0.149モル)及びジェファーミンD2000の33.85g(0.017モル)と、1,2−DMZの39.87g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの48.80g(0.166モル)を加え、70℃で6時間撹拌したが、均一に溶解することがなく、ポリイミド前駆体水溶液組成物を得ることができなかった。
【0179】
結果を表3に示した。
【0180】
〔比較例2〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにHMDの23.06g(0.198モル)及びPRIAMINE1074の12.07g(0.022モル)と、1,2−DMZの53.00g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの64.87g(0.220モル)を加え、70℃で6時間撹拌したが、均一に溶解することがなく、ポリイミド前駆体水溶液組成物を得ることができなかった。
【0181】
結果を表3に示した。
【0182】
〔比較例3〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにODAの21.75g(0.109モル)及びジェファーミンD2000の24.63g(0.012モル)と、1,2−DMZの29.01g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液に6FDAの53.61g(0.121モル)を加え、70℃で6時間撹拌したが、均一に溶解することがなく、ポリイミド前駆体水溶液組成物を得ることができなかった。
【0183】
結果を表3に示した。
【0184】
〔比較例4〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにODAの33.30g(0.166モル)及びPRIAMINE1074の10.11g(0.018モル)と、1,2−DMZの44.41g(カルボキシル基に対して1.25倍当量)とを加え25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にc−DCDAの56.59g(0.184モル)を加え、70℃で6時間撹拌したが、均一に溶解することがなく、ポリイミド前駆体水溶液組成物を得ることができなかった。
【0185】
結果を表3に示した。
【0186】
【表1-1】
【0187】
【表1-2】
【0188】
【表1-3】
【0189】
【表2】
【0190】
【表3】