特許5847184浸漬低インダクタンスＲＦコイル及びマルチカスプ磁気配列を用いた誘導結合型プラズマフラッドガン

発明の名称　浸漬低インダクタンスＲＦコイル及びマルチカスプ磁気配列を用いた誘導結合型プラズマフラッドガン

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5847184

公報発行日　2016年1月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5847184

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