特許 5847318 光無線通信器を有する駆動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5847318

(24)【登録日】2015年12月4日

(45)【発行日】2016年1月20日

(54)【発明の名称】光無線通信器を有する駆動装置

(51)【国際特許分類】

   H04B 10/114 20130101AFI20151224BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20151224BHJP

【ＦＩ】

   H04B9/00 114

   H05K13/04 A

【請求項の数】7

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-537948(P2014-537948)

(86)(22)【出願日】2012年9月27日

(86)【国際出願番号】JP2012074871

(87)【国際公開番号】WO2014049773

(87)【国際公開日】20140403

【審査請求日】2014年11月27日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】富士機械製造株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】特許業務法人快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】神藤 高広

(72)【発明者】

【氏名】廣田 重元

(72)【発明者】

【氏名】長坂 伸夫

(72)【発明者】

【氏名】今寺 泰章

【審査官】 高野 洋

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１０−２６９０４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２７４７８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００８／０１３０５３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１０／０５３０３１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００８−１９３７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−９２４９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−４８４３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平６−１６４１９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−８４３０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０４Ｂ １０／００−１０／９０

Ｈ０５Ｋ １３／０４

Ｈ０２Ｋ ４１／０３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１軸駆動装置と第２軸駆動装置を有する駆動装置であって、
前記第１軸駆動装置は、
第１固定部と、
第２固定部と、
前記第１固定部と前記第２固定部の間を第１軸に沿って直動可能に構成されている第１スライダを有する可動部と、
前記第１固定部と前記第２固定部の間を前記第１軸に沿って伸びており、前記可動部の前記第１スライダの鉛直上方を伸びており、前記可動部に駆動力を与える駆動軸と、
前記第１固定部に設けられている第１光無線通信器と、
前記第２固定部に設けられている第２光無線通信器と、
前記可動部に設けられており、前記駆動軸の鉛直上方に配置されており、前記第１光無線通信器と通信可能に構成されている第３光無線通信器と、
前記可動部に設けられており、前記駆動軸の鉛直上方に配置されており、前記第２光無線通信器と通信可能に構成されている第４光無線通信器と、を備えており、
前記第２軸駆動装置は、
前記可動部の前記第１スライダに設けられており、前記第１軸とは異なる第２軸に沿って移動可能に構成されている第２スライダと、を備える、
駆動装置。

【請求項2】

前記第１光無線通信器と前記第３光無線通信器の間の第１通信経路と前記第２光無線通信器と前記第４光無線通信器の間の第２通信経路のいずれか一方を選択する選択装置をさらに備える請求項１に記載の駆動装置。

【請求項3】

前記選択装置は、前記可動部の位置に応じて前記第１通信経路と前記第２通信経路のいずれか一方を選択する請求項２に記載の駆動装置。

【請求項4】

前記選択装置は、前記第１通信経路と前記第２通信経路の受信光強度を比較し、受信光強度が強い方の通信経路を選択する請求項２に記載の駆動装置。

【請求項5】

前記駆動軸は、長手方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に配置された磁石を有しており、
前記可動部は、前記駆動軸の周囲を巻回するコイルを有する請求項１〜４のいずれか一項に記載の駆動装置。

【請求項6】

第１軸駆動装置と第２軸駆動装置を有する駆動装置であって、
前記第１軸駆動装置は、
第１固定部と、
第２固定部と、
前記第１固定部と前記第２固定部の間を第１軸に沿って直動可能に構成されている第１スライダを有する可動部と、
前記第１固定部と前記第２固定部の間を前記第１軸に沿って伸びており、前記可動部の前記第１スライダの鉛直上方を伸びており、前記可動部に駆動力を与える駆動軸と、
前記第１固定部に設けられている第１光無線通信器と、
前記可動部に設けられており、前記駆動軸の鉛直上方に配置されており、前記第１光無線通信器と通信可能に構成されている第３光無線通信器と、を備えており、
前記第２軸駆動装置は、
前記可動部の前記第１スライダに設けられており、前記第１軸とは異なる第２軸に沿って移動可能に構成されている第２スライダと、を備える、
駆動装置。

【請求項7】

請求項１〜６のいずれか一項に記載の駆動装置を備える基板作業機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書で開示される技術は、光無線通信器を有する駆動装置に関する。本明細書で開示される技術は特に、基板作業機に設けられている駆動装置に関する。ここでいう基板作業機は、基板に対して所定の作業を行うものであり、例えば、回路基板にクリームはんだを印刷するはんだ印刷機、回路基板に電子部品を実装する実装機（表面実装機又はチップマウンタともいう）、電子部品が実装された回路基板を検査する基板検査機などが含まれる。

【背景技術】

【0002】

基板作業機には、単軸又は複数軸で可動部を駆動する駆動装置が設けられている。例えば、基板作業機の一例である実装機は、吸着ノズル及びマークカメラなどの機能装置が搭載された可動部をＸ−Ｙ平面で駆動する駆動装置を備えている。可動部に設けられた機能装置への信号及び／又は機能装置からの信号を伝送するために、光無線通信器を利用する技術が知られており、特開平４−３０９９７４号公報及び特開平１０−２６１９９６号公報にその技術が開示されている。

【0003】

駆動装置に設けられる光無線通信器は、光信号の光軸が可動部の駆動方向に対して平行となるように配置されている。これにより、可動部が光無線通信器の光信号の光軸に沿って移動するので、安定した通信を行うことができる。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

例えば、可動部が移動を開始するとき、又は、可動部が移動を停止するとき、衝撃によって可動部が傾くことがある。このような傾きが生じると、可動部に設けられている光無線通信器も傾き、光信号の光軸も傾くこととなる。光信号の通信距離が長くなると、このような傾きの影響が大きくなり、通信品質が低下する。本明細書では、光無線通信器を有する駆動装置において、このような不具合を抑える技術を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本明細書で開示される駆動装置の一実施形態は、第１固定部、第２固定部、第１固定部と第２固定部の間を直動可能に構成されている可動部、第１固定部に設けられている第１光無線通信器、第２固定部に設けられている第２光無線通信器、可動部に設けられているとともに第１光無線通信器と通信可能に構成されている第３光無線通信器、及び可動部に設けられているとともに第２光無線通信器と通信可能に構成されている第４光無線通信器を備えている。

【0006】

本明細書で開示される駆動装置では、可動部と固定部の間に少なくとも２つの通信経路が提供されている。このような実施形態では、一方の通信経路のみの場合に比して、固定部と可動部の間の通信距離を短くすることができる。このため、可動部が傾いたときの通信品質の低下を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】実装機の外観斜視図を示す。

【図2】Ｙ軸駆動装置の一例の外観斜視図を模式的に示す。

【図3】リニア駆動軸の構成を示す。

【図4】実装機の構成の一部を示す。

【図5】可動部の位置に応じて通信経路を選択する選択装置の選択プログラムのフローを示す。

【図6】受信光強度に応じて通信経路を選択する選択装置の選択プログラムのフローを示す。

【図7】Ｙ軸駆動装置の他の一例の外観斜視図を模式的に示す。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本明細書で開示される技術の特徴を整理する。なお、以下に記す事項は、各々単独で技術的な有用性を有している。

【0009】

本明細書で開示される駆動装置の一実施形態は、第１固定部、第２固定部、第１固定部と第２固定部の間を直動可能に構成されている可動部、第１固定部に設けられている第１光無線通信器、第２固定部に設けられている第２光無線通信器、可動部に設けられているとともに第１光無線通信器と通信可能に構成されている第３光無線通信器、及び可動部に設けられているとともに第２光無線通信器と通信可能に構成されている第４光無線通信器を備えている。可動部を駆動する機構は特に限定されるものではない。可動部を駆動する駆動機構には、一例では、リニアモーター又はボールねじを用いた駆動機構が含まれる。第１光無線通信器と第３光無線通信器は、一方向に通信を行ってもよく、双方向に通信を行ってもよい。同様に、第２光無線通信器と第４光無線通信器も、一方向に通信を行ってもよく、双方向に通信を行ってもよい。

【0010】

本明細書で開示される駆動装置では、第１光無線通信器と第３光無線通信器の間の第１通信経路と第２光無線通信器と第４光無線通信器の間の第２通信経路のいずれか一方を選択する選択装置をさらに備えていてもよい。選択装置が第１通信経路と第２通信経路のいずれか一方を選択する要件は、特に限定されるものではない。

【0011】

選択装置は、可動部の位置に応じて、第１通信経路と第２通信経路のいずれか一方を選択してもよい。ここで、可動部の位置とは、第１固定部と第２固定部の間における位置である。可動部の位置には、第１固定部からの距離、第２固定部からの距離、又は第１固定部と第２固定部の間に設定された原点からの正負の距離が含まれる。また、第３光無線通信器と第４光無線通信器が可動部に固定されていることから、第１光無線通信器と第３光無線通信器の間の第１通信経路の距離と第２光無線通信器と第４光無線通信器の間の第２通信経路の距離は、可動部の位置と技術的に同義とすることができる。光信号の通信品質は、可動部の位置、すなわち、通信経路の距離に大きく依存する。このため、可動部の位置に応じて第１通信経路と第２通信経路のいずれか一方を選択することで、通信品質を良好に維持することができる。なお、選択装置による第１通信経路と第２通信経路の選択は、第１通信経路の距離と第２通信経路の距離の大小関係のみで決まるとは限らない。他の要件を考慮してもよい。

【0012】

また、選択装置は、第１通信経路と第２通信経路の受信光強度を比較し、受信光強度が高い方の通信経路を選択してもよい。このように、受信光強度を比較することで、通信品質の良好な方を選択することができるので、通信品質を良好に維持することができる。

【0013】

本明細書で開示される駆動装置は、第１固定部と第２固定部の間を伸びており、可動部に駆動力を与える駆動軸をさらに備えていてもよい。この場合、第３光無線通信器は、駆動軸の鉛直上方に配置されていてもよい。第４光無線通信器は、駆動軸の鉛直上方に配置されていてもよい。ここで、光無線通信器が駆動軸の鉛直上方に配置されているとは、鉛直方向に沿って観測したときに、光無線通信器の少なくとも一部が駆動軸とオーバーラップすることをいう。より具体的には、鉛直方向に沿って観測したときに、第１光無線通信器と第３光無線通信器の間の光信号の光軸が駆動軸とオーバーラップするのが望ましい。同様に、鉛直方向に沿って観測したときに、第２光無線通信器と第４光無線通信器の間の光信号の光軸が駆動軸とオーバーラップするのが望ましい。第３光無線通信器及び第４光無線通信器が駆動軸の鉛直上方に配置されていると、可動部が衝撃によって傾いたとしても、光信号の光軸の傾きを抑えることができる。

【0014】

本明細書で開示される駆動装置では、駆動軸が、長手方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に配置された磁石を有していてもよい。この場合、可動部は、駆動軸の周囲を巻回するコイルを有していてもよい。この実施形態の駆動装置は、可動部の駆動にリニアモーターを用いた駆動機構を利用している。

【0015】

本明細書で開示される駆動装置は、第１固定部と第２固定部の間を伸びており、可動部をガイドする直動ガイドをさらに備えていてもよい。この場合、第３光無線通信器は、直動ガイドの鉛直上方に配置されていてもよい。第４光無線通信器は、直動ガイドの鉛直上方に配置されていてもよい。ここで、光無線通信器が直動ガイドの鉛直上方に配置されているとは、鉛直方向に沿って観測したときに、光無線通信器の少なくとも一部が直動ガイドとオーバーラップすることをいう。より具体的には、鉛直方向に沿って観測したときに、第１光無線通信器と第３光無線通信器の間の光信号の光軸が直動ガイドとオーバーラップするのが望ましい。同様に、鉛直方向に沿って観測したときに、第２光無線通信器と第４光無線通信器の間の光信号の光軸が直動ガイドとオーバーラップするのが望ましい。第３光無線通信器及び第４光無線通信器が直動ガイドの鉛直上方に配置されていると、可動部が衝撃によって傾いたとしても、光信号の光軸の傾きを抑えることができる。

【0016】

本明細書で開示される駆動装置の他の一実施形態は、第１固定部、第２固定部、第１固定部と第２固定部の間を直動可能に構成されている可動部、第１固定部と第２固定部の間を伸びているとともに可動部に駆動力を与える駆動軸、第１固定部に設けられている第１光無線通信器、可動部に設けられているとともに第１光無線通信器と通信可能に構成されている第３光無線通信器を備えている。第３光無線通信器は、駆動軸の鉛直上方に配置されている。可動部が衝撃によって傾いたとしても、光信号の光軸の傾きを抑えることができる。

【0017】

本明細書で開示される駆動装置のさらに他の一実施形態は、第１固定部、第２固定部、第１固定部と第２固定部の間を直動可能に構成されている可動部、第１固定部と第２固定部の間を伸びているとともに可動部をガイドする直動ガイド、第１固定部に設けられている第１光無線通信器、可動部に設けられているとともに第１光無線通信器と通信可能に構成されている第３光無線通信器を備えている。第３光無線通信器は、直動ガイドの鉛直上方に配置されている。可動部が衝撃によって傾いたとしても、光信号の光軸の傾きを抑えることができる。

【実施例】

【0018】

以下、図面を参照して、回路基板上に集積回路を形成する際に用いられる実装機を説明する。回路基板上の集積回路は、はんだ印刷機、実装機、及びリフロー炉を順に搬送されて形成される。はんだ印刷機は、回路基板上の電子部品の搭載位置にクリームはんだを印刷する。実装機は、クリームはんだが印刷された回路基板上の搭載位置に電子部品を搭載する。リフロー炉は、回路基板に熱処理を施すことで電子部品を回路基板上にハンダ付けする。

【0019】

図１に示されるように、実装機１は、テーブル３上に隣接して配置されている複数のモジュール２を備えている。モジュール２の各々は、共通した構成となっており、筐体として機能するフレーム４内に複数の装置を備えている。図１は、２つのモジュール２が隣接している例を示しており、２つのモジュール２のうちの１つのモジュール２の外装板を透かした状態で示している。モジュール２は、部品供給装置１０、パーツカメラを有するパーツ撮像装置２０、ノズルストッカ３０、基板搬送装置４０、部品移載装置５０、搭載ヘッド６０、及びマークカメラを有するマーク撮像装置７０を備える。また、モジュール２の各々は、外装板の表面に入出力装置６を備えている。この入出力装置６は、オペレータ入力を受け付け可能であるとともに、モジュール２のステータス情報及びオペレータへの各種指示信号を表示可能に構成されている。

【0020】

図１に示されるように、部品供給装置１０は、回路基板５に搭載する複数種類の電子部品を部品吸着位置に供給する装置であり、複数のカセット式のフィーダ１１が並設して構成されている。フィーダ１１のフィーダ本体１２は、フレーム４に着脱可能に構成されている。フィーダ１１は、電子部品がテーピングされているキャリアテープが巻回されたテープリール１３を有している。テープリール１３からキャリアテープが所定ピッチずつ送り出され、電子部品が部品吸着位置に順次供給される。

【0021】

図１に示されるように、パーツ撮像装置２０は、フレーム４に固定されており、部品供給装置１０と基板搬送装置４０の間に配置されている。パーツ撮像装置２０は、ＣＣＤカメラで構成されるパーツカメラを有する。電子部品は、フィーダ１１の部品吸着位置で吸着された後、基板搬送装置４０に位置決めされている回路基板５に搭載される前に、パーツ撮像装置２０の上方で停止され、パーツカメラで撮像される。実装機１は、パーツ撮像装置２０で撮像した電子部品の画像データを利用して、電子部品の識別及び電子部品の吸着姿勢を認識する。電子部品の吸着姿勢は、電子部品の画像データを画像処理し、吸着ノズルの中心軸からの電子部品の位置ずれ及び吸着ノズルの中心軸回りの電子部品の角度ずれを検出することによって認識される。電子部品の吸着姿勢は、電子部品が回路基板５に搭載される前に吸着ノズルが自転することによって補正される。

【0022】

図１に示されるように、ノズルストッカ３０は、パーツ撮像装置２０の近傍に設けられており、複数の吸着ノズルが収容される複数のノズル収容穴を備えている。例えば、ノズルストッカ３０には、使用中の吸着ノズルと同種の良品吸着ノズルが収容されており、使用中の吸着ノズルが不良となったときに、ノズルストッカ３０に収容されている良品吸着ノズルを不良吸着ノズルと交換される。あるいは、ノズルストッカ３０には、複数種類の吸着ノズルが収容されており、回路基板５に搭載される電子部品の種類に応じて所定の吸着ノズルが選択される。

【0023】

図１に示されるように、基板搬送装置４０は、フレーム４に固定されており、回路基板５を搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って搬送するとともに、所定の作業位置で回路基板５を位置決めする。基板搬送装置４０は、第１搬送装置４１と第２搬送装置４２を２列並設したダブルコンベアタイプである。

【0024】

図１に示されるように、部品移載装置５０は、フレーム４に固定されており、ＸＹロボットタイプである。部品移載装置５０は、Ｙ軸駆動装置５０Ｙ及びＸ軸駆動装置５０Ｘを備えている。Ｙ軸駆動装置５０Ｙは、Ｙ軸スライダ５３をＹ軸方向に移動可能に構成されている。Ｘ軸駆動装置５０Ｘは、Ｙ軸スライダ５３に設けられたＸ軸スライダをＸ軸方向に移動可能に構成されている。Ｘ軸スライダには、搭載ヘッド６０及びマーク撮像装置７０が固定されている。搭載ヘッド６０は、電子部品を吸着するための吸着ノズルを有する。マーク撮像装置７０は、ＣＣＤカメラで構成されるマークカメラを有する。マークカメラは、部品供給装置１０、ノズルストッカ３０、基板搬送装置４０、及び回路基板５の所定位置に印された基準マークを撮像し、これら構成要素の位置確認を行うために用いられる。搭載ヘッド６０及びマーク撮像装置７０は、Ｙ軸駆動装置５０Ｙ及びＸ軸駆動装置５０Ｘを利用して、部品供給装置１０、パーツ撮像装置２０、ノズルストッカ３０、及び基板搬送装置４０の上方をＸ−Ｙ平面で移動可能である。

【0025】

図２を参照し、Ｙ軸駆動装置５０Ｙの概略を説明する。Ｙ軸駆動装置５０Ｙは、第１固定部５１、第２固定部５２、及び第１固定部５１と第２固定部５２の間を伸びているリニア駆動軸５４及び一対の直動ガイドレール５６ａ，５６ｂを有する。第１固定部５１と第２固定部５２は、フレーム４に固定されており、Ｙ軸方向に離れて配置されている。リニア駆動軸５４は、一端が第１固定部５１の第１リニア軸固定部５１ａに固定されており、他端が第２固定部５２の第２リニア軸固定部５２ａに固定されている。一対の直動ガイドレール５６ａ，５６ｂの各々は、一端が第１固定部５１の第１ガイド固定部５１ｂ，５１ｃに固定されており、他端が第２固定部５２の第２ガイド固定部５２ｂ，５２ｃに固定されている。一対の直動ガイドレール５６ａ，５６ｂは、リニア駆動軸５４を間に置いてＸ軸方向に離れて配置されている。リニア駆動軸５４と一対の直動ガイドレール５６ａ，５６ｂは、Ｘ−Ｙ平面内に配置されている。

【0026】

Ｙ軸駆動装置５０Ｙはさらに、Ｙ軸方向に沿って移動可能に構成されている可動部５５を有している。可動部５５は、Ｙ軸スライダ５３（図１参照）と４つのローラ部５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄと可動子５７を有している。４つのローラ部５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄと可動子５７は、Ｙ軸スライダ５３に固定されている。ローラ部５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄは、直動ガイドレール５６ａ，５６ｂにベアリングを介して当接しており、Ｙ軸方向に摺動可能に構成されている。また、ローラ部５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄは、直動ガイドレール５６ａ，５６ｂに対してＸ軸方向及びＺ軸方向への動きが規制されている。このように、４つのローラ部５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄで支持されるＹ軸スライダ５３及び可動子５７も、Ｘ軸方向及びＺ軸方向への動きが規制されるとともに、Ｙ軸方向に摺動可能となっている。

【0027】

図３に示されるように、リニア駆動軸５４は、円筒型であり、磁束を透過可能な非磁性材料（例えばステンレス鋼）のパイプにより形成されている。リニア駆動軸５４の内部には、Ｎ極とＳ極が交互に配置されるように、複数の永久磁石５４ａが設けられている。可動子５７には貫通孔が形成されており、リニア駆動軸５４がその貫通孔を貫通している。可動子５７は、貫通孔の周囲を巻回するコイル５７ａを有している。可動子５７は、コイル５７ａに電流を流すことでコイル５７ａに発生するローレンツ力を推進力として利用し、Ｙ軸方向に沿って移動する。ここで、可動子５７とは、固定子（この例ではリニア駆動軸５４）から駆動力が与えられる部分として定義される。本実施形態のように、リニア駆動軸５４を囲繞する構成の可動子５７では、可動子５７の長手方向の幅がリニア駆動軸５４を囲繞している範囲として定義される。

【0028】

図２に示されるように、Ｙ軸駆動装置５０Ｙはさらに、４つの光無線通信器８１，８２，８３，８４を備えている。これらの光無線通信器８１，８２，８３，８４はいずれも、光信号を送信するためのレーザ素子と光信号を受信するための光電変換素子を有しており、光信号の送受信が可能に構成されている。第１光無線通信器８１は、第１固定部５１の第１リニア軸固定部５１ａに固定されており、レーザ素子の光出射面及び光電変換素子の光入射面が第３光無線通信器８３に向くように配置されている。第２光無線通信器８２は、第２固定部５２の第２リニア軸固定部５２ａに固定されており、レーザ素子の光出射面及び光電変換素子の光入射面が第４光無線通信器８３に向くように配置されている。第３光無線通信器８３は、可動子５７のＹ軸方向の一端に固定されており、レーザ素子の光出射面及び光電変換素子の光入射面が第１光無線通信器８１に向くように配置されている。第４光無線通信器８４は、可動子５７のＹ軸方向の他端に固定されており、レーザ素子の光出射面及び光電変換素子の光入射面が第２光無線通信器８２に向くように配置されている。第１光無線通信器８１と第３光無線通信器８３は、光信号を送受信可能に構成されており、第１通信経路を提供する。第２光無線通信器８２と第４光無線通信器８４は、光信号を送受信可能に構成されており、第２通信経路を提供する。

【0029】

図４に示されるように、実装機１に組み込まれる制御装置１００は、リニアモーターを用いたＹ軸スライダ５３の駆動機構を制御する。さらに、制御装置１００は、選択装置１１０及び複数の光無線通信器８１，８２，８３，８４で構成される光無線通信システム８０を介して、各種の機能装置（Ｘ軸スライダの駆動機構、搭載ヘッド６０の吸着ノズル、及びマーク撮像装置７０のマークカメラなど）を制御する。選択装置１１０は、第１光無線通信器８１と第３光無線通信器８３の間の第１通信経路と第２光無線通信器８２と第４光無線通信器８４の間の第２通信経路のいずれか一方を選択し、制御装置１００と各機能装置の間の通信を行う。光無線システム８０を介して送受信される光信号は、Ｘ軸スライダを駆動する駆動信号、搭載ヘッド６０の吸着ノズル及びマーク撮像装置７０のマークカメラの制御信号、及びマーク撮像装置７０で撮像された撮像対象の画像データを伝送する。

【0030】

図５に、可動部５５の位置に応じて第１通信経路と第２通信経路のいずれか一方を選択する選択装置１１０の選択プログラムのフローを示す。可動部５５の位置は、可動部５５に設けられた位置センサーから取得される。この位置センサーは、可動部５５を駆動するときに用いられるエンコーダを利用することができる。

【0031】

ステップＳ１では、可動部５５に設けられた位置センサーから可動部５５の位置情報を取得する。この位置情報は、第１固定部５１（図２参照）側に設定された原点からの距離である。ステップＳ２では、可動部５５の位置が閾値Ｋと比較される。ここで、閾値Ｋは、第１固定部５１と第２固定部５２の間の中間点に対応した距離値である。このため、可動部５５の位置が閾値Ｋ以下であれば、第１通信経路の距離が第２通信経路の距離以下である。この場合、ステップＳ３に進み、第１通信経路が選択され、第１通信経路で通信される光信号が有効とされる。可動部５５の位置が閾値Ｋよりも大きいと、第１通信経路の距離が第２通信経路の距離よりも長い。この場合、ステップＳ４に進み、第２通信経路が選択され、第２通信経路で通信される光信号が有効とされる。このように、Ｙ軸駆動装置５０Ｙでは、相対的に距離が短い方の通信経路が選択され、その通信経路で通信される光信号が有効とされる。

【0032】

光信号の通信品質は、通信経路の距離に大きく依存しており、通信経路の距離が長くなるほど低下する。本実施形態のＹ軸駆動装置５０Ｙでは、２つの通信経路を利用して固定部５１，５２と可動部５５の間で通信を行うことによって、通信経路の距離を短くすることができ、通信品質の低下を抑えることができる。

【0033】

図６に、光信号の受信光強度に応じて第１通信経路と第２通信経路のいずれか一方を選択する選択プログラムのフローを示す。

【0034】

ステップＳ１１では、第１通信経路で伝送される光信号の受信光強度及び第２通信経路で伝送される光信号の受信光強度が取得される。具体的には、第１通信経路で伝送される光信号の受信光強度は、第１光無線通信器８１に設けられた光電変換素子で変換された電気信号の電流値又は電圧値で代替される。第２通信経路で伝送される光信号の受信光強度は、第２光無線通信器８２に設けられた光電変換素子で変換された電気信号の電流値又は電圧値で代替される。

【0035】

ステップＳ１２では、第１通信経路の受信光強度と第２通信経路の受信光強度が比較される。第１通信経路の受信光強度が第２通信経路の受信光強度以上であれば、ステップＳ１３に進み、第１通信経路が選択され、第１通信経路で通信される光信号が有効とされる。第１通信経路の受信光強度が第２通信経路の受信光強度よりも弱ければ、ステップＳ１４に進み、第２通信経路が選択され、第２通信経路で通信される光信号が有効とされる。このように、Ｙ軸駆動装置５０Ｙでは、相対的に受信光強度が強い方の通信経路が選択され、その通信経路で通信される光信号が有効とされる。このように、本実施形態のＹ軸駆動装置５０Ｙでは、２つの通信経路のうちの受信光強度が強い方の通信経路を利用して通信を行うので、通信品質の低下を抑えることができる。

【0036】

また、図２に示されるように、Ｙ軸駆動装置５０Ｙでは、第３光無線通信器８３及び第４光無線通信器８４が、リニア駆動軸５４の鉛直上方に配置されている。具体的には、鉛直方向に沿って観測したときに、第１光無線通信器８１と第３光無線通信器８３の間の光信号の光軸がリニア駆動軸５４とオーバーラップしている。さらに、鉛直方向に沿って観測したときに、第２光無線通信器８２と第４光無線通信器８４の間の光信号の光軸がリニア駆動軸５４とオーバーラップしている。このような位置関係に配置されていると、可動部５５が衝撃によって駆動軸方向に対して傾いたとしても、光信号の光軸の傾きを抑えることができる。Ｙ軸駆動装置５０Ｙは、この点においても通信品質の低下を抑えることができる。

【0037】

なお、図７に示されるように、第３光無線通信器８３及び第４光無線通信器８４がローラ部５８ａ，５８ｂに固定され、直動ガイドレール５６ａの鉛直上方に配置されてもよい。この場合、第１光無線通信器８１は、第３光無線通信器８３と第１通信経路を形成するために、第１固定部５１の第１ガイド固定部５１ｂに固定されている。第４光無線通信器８４は、第２光無線通信器８２と第２通信経路を形成するために、第２固定部５２の第２ガイド固定部５２ｂに固定されている。この例でも、第３光無線通信器８３及び第４光無線通信器８４が直動ガイドレール５６ａの鉛直上方に配置されているので、可動部５５が衝撃によって駆動軸方向に対して傾いたとしても、光信号の光軸の傾きを抑えることができる。この例のＹ軸駆動装置５０Ｙも、通信品質の低下を抑えることができる。

【0038】

以上、本技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、請求の範囲を限定するものではない。請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

【符号の説明】

【0039】

５０Ｙ：Ｙ軸駆動装置
５１：固定部
５１ａ：第１リニア軸固定部
５１ｂ，５１ｃ：第１ガイド固定部
５２：第２固定部
５２ａ：第２リニア軸固定部
５２ｂ，５２ｃ：第２ガイド固定部
５３：Ｙ軸スライダ
５４：リニア駆動軸
５５：可動部
５６ａ，５６ｂ：直動ガイドレール
５７：可動子
５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄ：ローラ部
８１：第１光無線通信器
８２：第２光無線通信器
８３：第３光無線通信器
８４：第４光無線通信器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】