特許5850829プラズマビーム発生方法並びにプラズマ源

発明の名称　プラズマビーム発生方法並びにプラズマ源

出願人　ライボルト　オプティクス　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング　（識別番号 502239900）

　　　　特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5850829

公報発行日　2016年2月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5850829

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