特許第5850847号(P5850847)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5850847誘電体バリア放電によって基板の表面を被覆するための装置、無機基板上に膜を蒸着するための方法及び誘電体バリア放電によって基板の表面を被覆するための装置の使用
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  • 特許5850847-誘電体バリア放電によって基板の表面を被覆するための装置、無機基板上に膜を蒸着するための方法及び誘電体バリア放電によって基板の表面を被覆するための装置の使用 図000002
  • 特許5850847-誘電体バリア放電によって基板の表面を被覆するための装置、無機基板上に膜を蒸着するための方法及び誘電体バリア放電によって基板の表面を被覆するための装置の使用 図000003
  • 特許5850847-誘電体バリア放電によって基板の表面を被覆するための装置、無機基板上に膜を蒸着するための方法及び誘電体バリア放電によって基板の表面を被覆するための装置の使用 図000004
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