特許5855580フッ素を含まない縮合環複素芳香族光酸発生剤、およびそれを含むレジスト組成物

発明の名称　フッ素を含まない縮合環複素芳香族光酸発生剤、およびそれを含むレジスト組成物

出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション　（識別番号 390009531）

　　　　特許公開件数ランキング 96 位（295件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 26 位（694件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5855580

公報発行日　2016年2月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5855580

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