特許5859169油拡散ポンプ及び真空成膜装置

発明の名称　油拡散ポンプ及び真空成膜装置

出願人　株式会社シンクロン　（識別番号 390007216）

　　　　特許公開件数ランキング 4822 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5859169

公報発行日　2016年2月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5859169

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