特許5861278薄膜キャパシタの製造方法及び該方法により得られた薄膜キャパシタ

発明の名称　薄膜キャパシタの製造方法及び該方法により得られた薄膜キャパシタ

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 232 位（137件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 218 位（135件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5861278

公報発行日　2016年2月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5861278

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5861278「薄膜キャパシタの製造方法及び該方法により得られた薄膜キャパシタ」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録