特許 5865470 電子部品搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】5865470

(24)【登録日】2016年1月8日

(45)【発行日】2016年2月17日

(54)【発明の名称】電子部品搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/86 20060101AFI20160204BHJP

   G01R 31/26 20140101ALI20160204BHJP

【ＦＩ】

   B65G47/86 B

   G01R31/26 Z

【請求項の数】8

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2014-241439(P2014-241439)

(22)【出願日】2014年11月28日

【審査請求日】2015年5月19日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】591048070

【氏名又は名称】上野精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(72)【発明者】

【氏名】的場 隆行

【審査官】 中島 慎一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−１７３００３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１３９１５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／０８７４８４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 実開昭６４−０４８６８３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 国際公開第２０１３／０８４２９６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４７／８０ ， ４７／８４ − ４７／８６，

４７／９０ − ４７／９６

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｇ０１Ｒ ３１／００ ； ３１／２４ − ３１／２５

Ｈ０５Ｋ ３／３０ ； １３／００ − １３／０８

Ｈ０１Ｌ ２１／６４ − ２１／６６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
全周に亘って同一半径を有する円形状を有し、円周方向に所定回転角ずつ間欠的に回転するターレットテーブルと、
前記ターレットテーブルの外縁に前記回転角の２倍角のピッチで設けられ、放射状にテーブル外側に向かって水平に延び、電子部品を保持するチャックと、
前記ターレットテーブルと中心を同一とする円周上に、前記ターレットテーブルの前記回転角で分割した各点に設定され、前記チャックが停止する各停止位置と、
前記チャックの各停止位置の少なくとも一箇所に配置され、前記チャックにより電子部品が載置されるステージと、
前記ステージに載置された電子部品の下面電極と接触する下側通電接触子と、
前記ステージの上方に前記チャックが入り込む余地を空けて対向配置され、前記ステージに載置される電子部品の上面電極と接触する上側通電接触子と、
前記上側通電接触子及び下側通電接触子を有し、前記上側通電接触子を降下させ前記ステージに載置された電子部品に電気特性を測定する電気特性測定ユニットと、
前記チャックの停止位置のうち、前記ステージ及び前記上側通電接触子の隣に設定され、前記ステージで電子部品の電気特性が測定される間、前記チャックが前記ステージと前記上側通電接触子から退避する退避位置と、
を備えること、
を特徴とする電子部品搬送装置。

【請求項2】

電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
円周方向に所定回転角ずつ間欠的に回転するターレットテーブルと、
前記ターレットテーブルの外縁に前記回転角の２倍角のピッチで設けられ、放射状にテーブル外側に向かって水平に延び、電子部品を保持するチャックと、
前記ターレットテーブルと中心を同一とする円周上に、前記ターレットテーブルの前記回転角で分割した各点に設定され、前記チャックが停止する各停止位置と、
前記チャックの各停止位置の少なくとも一箇所に配置され、前記チャックにより電子部品が載置されるステージと、
前記ステージに載置された電子部品の下面電極と接触する下側通電接触子と、
前記ターレットテーブルの最外径部が通る軌跡の上方に固定設置され、前記チャックを前記ステージに向けて降下させる進退駆動部と、
前記ステージの上方に前記チャックが入り込む余地を空けて対向配置され、前記ステージに載置される電子部品の上面電極と接触する上側通電接触子と、
前記上側通電接触子及び下側通電接触子を有し、前記上側通電接触子を降下させ前記ステージに載置された電子部品の電気特性を測定する電気特性測定ユニットと、
前記チャックの停止位置のうち、前記ステージ及び前記上側通電接触子の隣に設定され、前記ステージで電子部品の電気特性が測定される間、前記チャックが前記ステージと前記上側通電接触子から退避する退避位置と、
を備えること、
を特徴とする電子部品搬送装置。

【請求項3】

前記退避位置から数えて一つ置きの前記停止位置の少なくとも一箇所に配置され、前記ステージでの電気特性が測定とは異なる処理の処理ユニットを更に備えること、
を特徴とする請求項１又は２記載の電子部品搬送装置。

【請求項4】

前記各停止位置は、
前記ステージ及び前記上側通電接触子の設置位置から数えて一つ置きの少なくとも一箇所であり、
前記チャックが電子部品をピックアップ又は離脱させるのみの前記異なる処理を行わない第１種の停止位置と、
前記退避位置から数えて一つ置きの少なくとも一箇所であり、前記第１種の停止位置でのピックアップ又は離脱に要する時間以上、前記ステージでの処理時間未満の前記異なる処理が行われる第２種の停止位置と、
を含むこと、
を特徴とする請求項３記載の電子部品搬送装置。

【請求項5】

前記ステージと前記上側通電接触子の組を複数備え、
各組は、一の組から数えて一つ置きの前記停止位置の何れかに設置され、
前記退避位置は、前記各組の各隣に有すること、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の電子部品搬送装置。

【請求項6】

前記上側通電接触子は、
前記ステージの電子部品に向けて下降するとともに、下降からの復帰位置では、前記チャックが入り込む余地を空けて静止すること、
を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の電子部品搬送装置。

【請求項7】

前記異なる処理の処理ユニットは、
電子部品の外観を検査する外観検査ユニット、電子部品の姿勢を補正する検査支援ユニット、又は電子部品を収容するとともに収容の適正を判定する収容ユニットであること、
を特徴とする請求項３又は４記載の電子部品搬送装置。

【請求項8】

前記チャックは、前記ターレットテーブルから下方に延びて途中で水平方向に屈曲するＬ字形状を有し、
前記屈曲位置は、前記上側通電接触子と前記ステージとの間の高さに設けられること、
を特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の電子部品搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品を搬送する電子部品搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

電子部品は、製造過程で各種検査項目を受検し、良品がスクリーニングされて出荷のために複数纏めて梱包される。検査項目は、代表的には電気特性の測定である。電気特性は、電子部品の電圧、電流、抵抗、周波数、又はロジック信号に対する応答である。電気特性の測定では、電子部品の電極にコンタクトと呼ばれる通電接触子を当て、電流注入、電圧印加、又はロジック信号の入力を行う。そして、出力を解析して良品判定する。

【0003】

表裏両面に外部接続用の電極を備えた電子部品がある。例えば、高電圧又は大電流をスイッチングするパワー半導体素子として用いられる絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ、ＳｉＣバイポーラトランジスタ等である。両面電極を有する電子部品に対する電気特性測定ユニットは、間隔を隔ててステージ兼下側コンタクトと上側コンタクトを対向配置し、上側コンタクトを下降可能としている。ステージ兼下側コンタクトは、電子部品を載置し、また下面電極に電気的に接触する（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

また、電子部品は、各種検査項目を受検するために、トレイやウェハから取り出されて搬送されるが、この搬送の用途として代表的には回転搬送方式の電子部品搬送装置がある。中でも、ターレットテーブルの外周に吸着チャック等を円周等配位置で配置し、ターレットテーブルの間欠的な回転によって電子部品を整列搬送するチャック外周設置型回転搬送方式の電子部品搬送装置がある（例えば、特許文献２参照。）。このチャック外周設置型回転搬送方式は、回転搬送方式による高速搬送を達成しつつ、チャックによって自力で搬送経路への電子部品の受け入れ及び排出が可能となる利点がある。

【0005】

この電子部品搬送装置は、ターレットテーブルが構成する搬送経路に沿って各検査項目のユニットを配置することで、電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら各検査項目を受検させる。各ユニットは、ターレットテーブルの間欠回転によるチャックの停止位置直下に配置され、チャックは、降下により各ユニットに電子部品を載置し、電子部品に検査項目を受検させる。すなわち、各停止位置の直上、換言するとユニットのステージ直上には、チャックを押し下げる進退駆動部が不動設置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１０−２７６６２１号公報

【特許文献2】特開２０１０−１３５３９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

チャック外周設置型回転搬送方式の電子部品搬送装置は、高速搬送と搬送経路への自力供給及び排出により、電子部品の生産効率の飛躍的な向上をもたらした。しかし、従来、この電子部品搬送装置が形成する搬送経路には、両面電極の電子部品の電気特性を測定する電気特性測定ユニットを組み入れることはできなかった。

【0008】

すなわち、ターレットテーブルは、円盤形状を有し、外縁にチャックを備える。チャックの停止位置の直下に電気特性測定ユニットのステージを配置しようとすると、上側コンタクトとステージ兼下側コンタクトの間にターレットテーブルの外縁が常在する。そのため、上側コンタクトはステージ兼下側コンタクトに載置された電子部品に向けて降下することができないからである。

【0009】

また、チャックの停止位置には、ターレットテーブルの外縁のほか、進退駆動部が不動に設置されている。チャック下端から進退駆動部の上端までの高さは、上側コンタクトとステージ兼下側コンタクトとの間の空間の高さを超える。そのため、上側コンタクトとステージ兼下側コンタクトを対向配置する電気特性測定ユニットを搬送経路に配置することが物理的に不可能である。たとえ上側コンタクトとステージ兼下側コンタクトとの間を拡げても、進退駆動部とターレットテーブルとが常在すれば、上側コンタクトを降下させることができない。

【0010】

チャック外周設置型回転搬送方式の電子部品搬送装置が構成する搬送経路から一時的に電子部品をアンロードして、当該搬送経路と電気特性測定ユニットとの間をシャトル等で電子部品を往復させることが考え得る。しかしながら、シャトルの往復をターレットテーブルの高速な搬送速度に合わせることは困難であり、この方式を採用すると、シャトルの搬送速度に電子部品搬送装置の動き全てが律速されてしまう。すなわち、チャック外周設置型回転搬送方式の電子部品搬送装置が持つ高速搬送という利点が失われてしまう。

【0011】

本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、チャック外周設置型回転搬送方式の電子部品搬送装置において高速搬送の利点を失うことなく、両面電極の電子部品の電気特性を測定可能とすることを目的とする。

【0012】

また、電気特性測定ユニットのほかにも、ステージと構造物とを搬送経路を挟んで対向配置させなくてはならない場合には、同様にチャック外周設置型回転搬送方式の電子部品搬送装置に組み入れることが困難であろう。そこで、本発明は、更に、チャック外周設置型回転搬送方式の電子部品搬送装置において高速搬送の利点を失うことなく、ステージと構造物とを搬送経路を挟んで対向配置させることのできる電子部品搬送装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明に係る電子部品搬送装置の第１の態様は、電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、全周に亘って同一半径を有する円形状を有し、円周方向に所定回転角ずつ間欠的に回転するターレットテーブルと、前記ターレットテーブルの外縁に前記回転角の２倍角のピッチで設けられ、放射状にテーブル外側に向かって水平に延び、電子部品を保持するチャックと、前記ターレットテーブルと中心を同一とする円周上に、前記ターレットテーブルの前記回転角で分割した各点に設定され、前記チャックが停止する各停止位置と、前記チャックの各停止位置の少なくとも一箇所に配置され、前記チャックにより電子部品が載置されるステージと、前記ステージに載置された電子部品の下面電極と接触する下側通電接触子と、前記ステージの上方に前記チャックが入り込む余地を空けて対向配置され、前記ステージに載置される電子部品の上面電極と接触する上側通電接触子と、前記上側通電接触子及び下側通電接触子を有し、前記上側通電接触子を降下させ前記ステージに載置された電子部品に電気特性を測定する電気特性測定ユニットと、前記チャックの停止位置のうち、前記ステージ及び前記上側通電接触子の隣に設定され、前記ステージで電子部品の電気特性が測定される間、前記チャックが前記ステージと前記上側通電接触子から退避する退避位置と、を備えること、を特徴とする

【0014】

また、本発明に係る電子部品搬送装置の第２の態様は、電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、円周方向に所定回転角ずつ間欠的に回転するターレットテーブルと、前記ターレットテーブルの外縁に前記回転角の２倍角のピッチで設けられ、放射状にテーブル外側に向かって水平に延び、電子部品を保持するチャックと、前記ターレットテーブルと中心を同一とする円周上に、前記ターレットテーブルの前記回転角で分割した各点に設定され、前記チャックが停止する各停止位置と、前記チャックの各停止位置の少なくとも一箇所に配置され、前記チャックにより電子部品が載置されるステージと、前記ステージに載置された電子部品の下面電極と接触する下側通電接触子と、前記ターレットテーブルの最外径部が通る軌跡の上方に固定設置され、前記チャックを前記ステージに向けて降下させる進退駆動部と、前記ステージの上方に前記チャックが入り込む余地を空けて対向配置され、前記ステージに載置される電子部品の上面電極と接触する上側通電接触子と、前記上側通電接触子及び下側通電接触子を有し、前記上側通電接触子を降下させ前記ステージに載置された電子部品の電気特性を測定する電気特性測定ユニットと、前記チャックの停止位置のうち、前記ステージ及び前記上側通電接触子の隣に設定され、前記ステージで電子部品の電気特性が測定される間、前記チャックが前記ステージと前記上側通電接触子から退避する退避位置と、を備えること、を特徴とする。

【0015】

前記退避位置から数えて一つ置きの前記停止位置の少なくとも一箇所に配置され、前記ステージでの電気特性が測定とは異なる処理の処理ユニットを更に備えるようにしても良い。

【0016】

前記各停止位置は、前記ステージ及び前記上側通電接触子の設置位置から数えて一つ置きの少なくとも一箇所であり、前記チャックが電子部品をピックアップ又は離脱させるのみの前記異なる処理を行わない第１種の停止位置と、前記退避位置から数えて一つ置きの少なくとも一箇所であり、前記第１種の停止位置でのピックアップ又は離脱に要する時間以上、前記ステージでの処理時間未満の前記異なる処理が行われる第２種の停止位置と、を含むようにしても良い。

【0017】

前記ステージと前記上側通電接触子の組を複数備え、各組は、一の組から数えて一つ置きの前記停止位置の何れかに設置され、前記退避位置は、前記各組の各隣に有するようにしても良い。

【0019】

前記上側通電接触子は、前記ステージの電子部品に向けて下降するとともに、下降からの復帰位置では、前記チャックが入り込む余地を空けて静止するようにしても良い。

【0020】

前記異なる処理の処理ユニットは、電子部品の外観を検査する外観検査ユニット、電子部品の姿勢を補正する検査支援ユニット、又は電子部品を収容するとともに収容の適正を判定する収容ユニットであるようにしてもよい。

【0021】

前記チャックは、前記ターレットテーブルから下方に延びて途中で水平方向に屈曲するＬ字形状を有し、前記屈曲位置は、前記上側通電接触子と前記ステージとの間の高さに設けられるようにしても良い。

【発明の効果】

【0022】

本発明によれば、ステージと構造物とを電子部品の搬送経路を挟んで対向配置することができるため、電子部品の高速搬送性を失うことなく、該ステージと構造物とによる電子部品への処理が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本実施形態に係る電気特性測定ユニットの側面図である。

【図2】本実施形態に係る電子部品搬送装置の全体構成を示す図である。

【図3】本実施形態に係る電子部品搬送装置を側面から見た部分拡大図である。

【図4】本実施形態に係る電子部品の電気特性の測定のルーチン前半を示す遷移図である。

【図5】本実施形態に係る電子部品の電気特性の測定のルーチン後半を示す遷移図である。

【図6】本実施形態に係る他のチャックの状態と各停止時間を示し、（ａ）は第１の状態を示す状態図であり、（ｂ）は第１の状態の停止時間を示すタイムチャートである。

【図7】本実施形態に係る他のチャックの状態と各停止時間を示し、（ａ）は第２の状態を示す状態図であり、（ｂ）は第２の状態の停止時間を示すタイムチャートである。

【図8】本実施形態に係る他のチャックの状態と各停止時間を示し、（ａ）は第３の状態を示す状態図であり、（ｂ）は第３の状態の停止時間を示すタイムチャートである。

【図9】本実施形態に係る他のチャックの状態と各停止時間を示し、（ａ）は第４の状態を示す状態図であり、（ｂ）は第４の状態の停止時間を示すタイムチャートである。

【図10】本実施形態に係る他のチャックの状態と各停止時間を示し、（ａ）は第５の状態を示す状態図であり、（ｂ）は第５の状態の停止時間を示すタイムチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0024】

(電気特性測定ユニット)
はじめに、本実施形態に係る電子部品搬送装置が備える電気特性測定ユニットについて図１を参照しつつ詳細に説明する。図１に示すように、電気特性測定ユニット４１は、電子部品Ｗの電気特性を測定する。この電気特性測定ユニット４１は、電子部品Ｗの電極に電気的に接触し、電子部品Ｗに電圧印加又は電流注入を行い、電気特性を検査する。電気特性は、電子部品Ｗへの電流注入又は電圧印加に対する電子部品Ｗの電圧、電流、抵抗、又は周波数、ロジック信号に対する出力信号等である。

【0025】

電子部品Ｗは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子等がパッケージングされてなる。半導体素子としては、トランジスタやダイオードやコンデンサや抵抗等のディスクリート半導体や集積回路等が挙げられる。この電子部品Ｗは、表裏両面に外部接続用の電極を備えた両面電極パッケージを有する。

【0026】

両面電極を有する電子部品Ｗに対する電気特性測定ユニット４１は、ステージ兼下側コンタクト４１２と上側コンタクト４１１を備えている。ステージ兼下側コンタクト４１２は、電子部品Ｗが載置され、また通電接触子として電子部品Ｗの底面電極に電気的に接触する。ステージ兼下側コンタクト４１２は、電子部品Ｗを載置するステージと下面電極に接触する下側コンタクトを分離して有し、ステージの裏から下側コンタクトが挿入される場合もある。

【0027】

上側コンタクト４１１は、電子部品Ｗの上面電極に接触する通電接触子である。上側コンタクト４１１は、ステージ兼下側コンタクト４１２よりも背の高い上側ベース４１３に支持されている。上側コンタクト４１１は、上側ベース４１３から電子部品Ｗの搬送経路２（図２参照）側へ張り出して支持され、ステージ兼下側コンタクト４１２の直上まで延出する。

【0028】

この上側コンタクト４１１は、昇降可能となっている。上側コンタクト４１１は、昇降によりステージ兼下側コンタクト４１２に対して接近及び離反する。すなわち、電気特性測定ユニット４１は、上側コンタクト４１１を昇降させる昇降駆動部４１４を備える。昇降駆動部４１４は、回転運動を上側コンタクト４１１の直線運動に変換する駆動源及び伝動機構のモジュールである。

【0029】

この昇降駆動部４１４は、引っ張りバネ４１５、モータ４１６、及びカム４１７とカムフォロア４１８からなる。引っ張りバネ４１５は、上側コンタクト４１１がステージ兼下側コンタクト４１２へ向かうように、上側ベース４１３を付勢する。モータ４１６は水平に延びる回転軸を有する。水平は、上側コンタクト４１１とステージ兼下側コンタクト４１２の並びと直交する方向である。カム４１７は、モータ４１６の回転軸に軸支され、扁平形状を有し、周面にカム面を構成している。カムフォロア４１８は、上側ベース４１３の底面に固定され、上側からカム４１７に当接し、カム面を従動する。

【0030】

カムフォロア４１８がカム４１７の短径箇所に向けて従動すると、引っ張りバネ４１５の下方への付勢力が効いて、上側コンタクト４１１はステージ兼下側コンタクト４１２へ向けて下降する。カムフォロア４１８がカム４１７の長径箇所に向けて従動すると、上側コンタクト４１１は、引っ張りバネ４１５に抗して上方に持ち上げられ、ステージ兼下側コンタクト４１２から一定距離を保つように離れる。

【0031】

この電気特性測定ユニット４１は、ステージ兼下側コンタクト４１２に電子部品Ｗが載置されると、上側コンタクト４１１を下降させる。そして、ステージ兼下側コンタクト４１２を下面電極に接触させ、上側コンタクト４１１を上面電極に接触させ、電流注入、電圧印加、又はロジック信号の入力を行い、出力信号を解析する。

【0032】

（電子部品搬送装置の構成）
図２は、この電気特性測定ユニットを備える電子部品搬送装置の全体構成図である。図３は、電子部品搬送装置を側面から見た部分拡大図である。図２及び３に示す電子部品搬送装置１は、電気特性の測定を含む各種検査項目の測定のために電子部品Ｗを搬送する。この電子部品搬送装置１は、電子部品Ｗの搬送経路２を構成し、搬送経路２に沿って、各種のユニットを配置している。各種のユニットは、供給ユニット３、電気特性測定ユニット４１を含む各種の検査ユニット、検査支援ユニット５、排出容器６及び収容ユニット７である。本実施形態では、検査ユニットとして、更に外観検査ユニット４２を備える。

【0033】

搬送経路２は、ターレットテーブル２１とチャック２２で構成される。ターレットテーブル２１は、水平方向に拡がり、全周に亘って同一半径を有する円形状の円盤である。ターレットテーブル２１の駆動源は、ダイレクトドライブモータ２３である。ダイレクトドライブモータ２３は、ターレットテーブル２１の底面に接続され、ターレットテーブル２１を支持するとともに、ターレットテーブル２１を円周方向に所定角度ずつ間欠的に回転させる。

【0034】

チャック２２は、ターレットテーブル２１の外縁に取り付けられる。そのため、チャック２２は、ターレットテーブル２１の間欠回転によって各停止位置２４に順次停止する。換言すると、停止位置２４は、ターレットテーブル２１と中心を同一とする円周上に、ターレットテーブル２１の１ピッチの回転角で分割した各点に設けられる。このチャック２２は、ターレットテーブル２１の外縁から水平に延出する。このチャック２２は、ターレットテーブル２１から離れた先端で電子部品Ｗを保持する。すなわち、搬送経路２は、チャック２２の先端が通る軌跡であり、ターレットテーブル２１の一回り外側に形成される。チャック２２の種類は特に限定はないが、チャック２２は例えば吸着チャックである。

【0035】

吸着チャックであるチャック２２は内部に中空管を有する。チャック２２の先端には、下方に向く開口２２ａを有し、開口２２ａは中空管に繋がっている。中空管は、開口２２ａとは反対側で真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通する。このチャック２２は、空気圧回路に負圧が発生することにより、電子部品Ｗを開口２２ａで吸着し、真空破壊や大気解放されると、吸引力を失って開口２２ａから電子部品を離脱させる。

【0036】

チャック２２は、ターレットテーブル２１の外縁に軸受け又はスライダを介して取り付けられ、昇降可能となっている。チャック２２は、昇降により供給ユニット３から電子部品Ｗを受領し、検査支援ユニット５や電気特性測定ユニット４１や外観検査ユニット４２と電子部品Ｗを授受する。特に、チャック２２は、電気特性測定ユニット４１のステージ兼下側コンタクト４１２に電気特性が未測定の電子部品Ｗを載置し、またステージ兼下側コンタクト４１２から電気特性の測定が終了した電子部品Ｗを回収する。

【0037】

チャック２２は、進退駆動部２５によって押し下げられることで下降する。進退駆動部２５は、ターレットテーブル２１の外縁直上に設置される。進退駆動部２５から延ばした鉛直線上にチャック２２の基端が存在する。進退駆動部２５とターレットテーブル２１に固定関係は無く、進退駆動部２５は位置不動である。この進退駆動部２５は、モータとカム機構とロッドを有し、モータの回転力をカム機構で直線運動に変換して、ロッドに伝達する。ロッドは、チャック２２の停止位置２４に向けて延び、停止位置２４に存在するチャック２２の基端に対して上方から当接し、更にチャック２２を下方に押し下げる。

【0038】

各ユニット３、４１、４２、５、６、７、チャック２２、進退駆動部２５、及びターレットテーブル２１の配置関係について説明する。図３に示すように、チャック２２は、電気特性測定ユニット４１の上側コンタクト４１１とステージ兼下側コンタクト４１２との間に入り込む高さを維持して延びる。換言すると、上側コンタクト４１１とステージ兼下側コンタクト４１２は、ターレットテーブル２１の外縁及び進退駆動部２５よりもテーブル半径方向外方に設置され、上側コンタクト４１１とステージ兼下側コンタクト４１２との間に、ターレットテーブル２１の外縁と進退駆動部２５はない。

【0039】

尚、上側コンタクト４１１とステージ兼下側コンタクト４１２との間の空間がターレットテーブル２１の高さと合致していない場合、チャック２を、基端から下側に延びて途中で外側に屈曲したＬ字形状とすることにより、該空間の高さに延出させることができる。

【0040】

また、図２に示すように、チャック２２の停止位置２４の数はチャック２２の配置数の２倍となっている。すなわち、チャック２２はターレットテーブル２１の周りに円周等配位置で配置され、その配置間隔を角度２ａとすると、ダイレクトドライブモータ２３は、ターレットテーブル２１を１ピッチにつき角度ａずつ回転させる。例えば、１６機のチャック２２に対して、３２箇所の停止位置２４が設定されている。

【0041】

各ユニット３、４１、４２、５、６、７は、チャック２２の停止位置２４の何れかに設置される。電子部品搬送装置１は、電子部品Ｗを搬送経路２に沿って搬送させ、少なくとも各ユニット３、４１、４２、５、６、７で停止させ、停止中に各ユニット３、４１、４２、５、６、７に電子部品Ｗを処理させる。

【0042】

電気特性測定ユニット４１は、２機が設けられ、停止位置２４を一つ空けて、各々停止位置２４に配置されている。２機の電気特性測定ユニット４１の各隣の停止位置２４は、電気特性の測定時間帯におけるチャック２２の退避位置４１ａであり、ユニットが未配置の空きとなっている。例えば、退避位置４１ａは、電気特性測定ユニット４１の搬送方向下流側に設定される。

【0043】

外観検査ユニット４２、検査支援ユニット５及び収容ユニット７は、退避位置４１ａから数えて一つ置きの停止位置２４の何れかに配置される。供給ユニット３及び排出容器６は、電気特性測定ユニット４１の配置位置から数えて一つ置きの停止位置２４の何れかに配置される。すなわち、停止位置２４を偶数箇所設けた場合、外観検査ユニット４２、検査支援ユニット５及び収容ユニット７は、電気特性測定ユニット４１から数えて奇数番目の停止位置２４に、供給ユニット３及び排出容器６は偶数番目の停止位置２４に配置される。

【0044】

ここで、供給ユニット３は、電子部品Ｗを搬送経路２に供給する。供給ユニット３は、例えば、滑り移動装置、トレイ移動装置、又はウェハホルダ装置等の電子部品Ｗに対する処理を行わないユニットである。滑り移動装置は、すり鉢状の容器に多数収容した電子部品Ｗを振動により整列搬送し、搬送経路２の入口に移動させる。トレイ移動装置は、トレイを直交２軸方向に移動させる。トレイは、格子状に仕切られ、各格子内に電子部品Ｗが収容される。トレイの拡がり平面に沿った直交２軸方向にトレイを移動させることで、各格子内の電子部品Ｗを搬送経路２の入口に移動させる。ウェハホルダ装置は、ウェハリングを直交２軸方向に移動させる。ウェハリングは、電子部品Ｗをアレイ状に並べてなる。ウェハリングの拡がり平面に沿った直交２軸方向にウェハリングを移動させることで、各電子部品Ｗを搬送経路２の入口に移動させる。供給ユニット３と搬送経路Ｗとの間には、電子部品Ｗを中継するロータリーピックアップが設置される場合もある。

【0045】

排出容器６は、検査の結果が良好でなかった電子部品Ｗを受け取るのみで、電子部品Ｗに対する処理を行わないユニットである。また、収容ユニット７は、検査の結果が良好であった電子部品Ｗを収容する。この収容ユニット７は、例えば、テーピング装置、チューブ装置、トレイ移動装置、又はウェハホルダ装置等であり、収容が適正かの判定処理を含むユニットである。テーピング装置は、ポケットが帯長手方向に沿って並ぶテープを走行させる装置であり、各ポケットを搬送経路２の出口に移動させる。チューブ装置は、電子部品Ｗを収容するチューブを移動させる。

【0046】

検査支援ユニット５は、検査の精度向上のために、検査を受ける電子部品Ｗの姿勢を予め補正する処理を行う。検査支援ユニット５は、電子部品Ｗを載置するＸＹθステージを有する。ＸＹθステージは、ステージ平面に沿った直交２軸方向に移動し、またステージ平面と垂直な軸で回転する。検査支援ユニット５は、搬送経路２から渡された電子部品ＷをＸＹθステージに載置し、ＸＹθステージを移動及び回転させることで、電子部品Ｗの向き及び位置を補正する。この検査支援ユニット５は、電子部品Ｗを撮像するカメラを備えており、画像内の電子部品Ｗの向き及び位置を解析して、ＸＹθステージの移動量及び回転量を制御する。

【0047】

外観検査ユニット４２は、カメラで電子部品Ｗを撮影し、電子部品Ｗを画像解析して、表面の傷や汚れの有無を検出する。

【0048】

これら各ユニット３、４１、４２、５、６、７のうち、電気特性測定ユニット４１による測定時間をＡ、外観検査ユニット４２、検査支援ユニット５及び収容ユニット７による処理の最長時間をＢ、供給ユニット３及び排出容器６による処理の最長時間をＣとすると、Ａ≧Ｂ＞Ｃである。つまり、一般に、電気特性測定ユニット４１による測定時間は長時間に及ぶ。電子部品Ｗの搬送経路２への供給及び排出は、相対的に短時間で完了する。電子部品Ｗの外観検査、電子部品Ｗの姿勢補正、及び電子部品Ｗの収容は、搬送経路２への供給及び排出よりは時間がかかるが、電気特性測定ユニット４１による測定時間には及ばない。

【0049】

すなわち、この電子部品搬送装置１では、このような中程度の時間Ｂで処理が完了するユニット４２、５、７は、退避位置４１ａから数えて一つ置きの停止位置２４に配置している。短時間Ｃで処理が完了するユニット３、６は、電気特性測定ユニット４１の配置位置から数えて一つ置きの停止位置２４に配置している。ただし、停止位置２４に余裕があるならば、短時間Ｃで処理が完了するユニットは、退避位置４１ａから数えて一つ置きの停止位置２４に配置してもよい。

【0050】

（電気特性測定制御）
このような電子部品搬送装置１の制御態様について説明する。図４及び５に示すように、電子部品搬送装置１は、電気特性を未測定の電子部品Ｗが２機の電気特性測定ユニット４１に揃った段階（図中、段階(ａ)から段階（ｄ）へ順に遷移)で、電子部品Ｗをステージ兼下側ステージ４１２に載置する(図中、段階(ｅ))。このとき、各電気特性測定ユニット４１の上側コンタクト４１１とステージ兼下側コンタクト４１２との間には、チャック２２が介在している(図中、段階(ｅ))。

【0051】

次に、電子部品Ｗを載置した両チャック２２は、１ピッチ移動して退避位置４１ａに移動する(図中、段階(ｆ))。このとき、チャック２２は、各電気特性測定ユニット４１の上側コンタクト４１１とステージ兼下側コンタクト４１２との間から離れ、この間には構造物が電子部品Ｗを除き不介在となっている(図中、段階(ｆ))。従って、電気特性測定ユニット４１は、両チャック２２が退避位置４１ａに移動した段階で、電気特性の測定を開始する(図中、段階(ｇ))。すなわち、電気特性測定ユニット４１は、上側コンタクト４１１をステージ兼下側コンタクト４１２に接近させ、上側コンタクト４１１で上面電極に接触するとともに、ステージ兼下側コンタクト４１２で下面電極に接触し、電流注入又は電圧印加を開始し、電子部品Ｗからの出力信号を解析する。

【0052】

電気特性の測定が終了すると、上側コンタクト４１１を上昇させ、電子部品Ｗを載置した両チャック２２は、１ピッチ戻って退避位置４１ａから電気特性測定ユニット４１に移動し(図中、段階(ｈ))、電気特性の測定が終了した電子部品Ｗを受け取る(図中、段階(ｉ))。そして、電気特性の測定が終了した電子部品Ｗを保持したチャック２２は、電気特性測定ユニット４１から離れる方向へ移動する（図中、段階（ｊ））。

【0053】

電気特性が未測定の電子部品Ｗを保持したチャック２２の次のペアは、前のペアが段階（ｇ）を経た後、順番に当該段階(ａ)から段階(ｊ)を繰り返し、整列搬送する電子部品Ｗの電気特性を測定させていく。すなわち、ターレットテーブル２１は、チャック２２を３ピッチ前進させ、次いで１ピッチ後退させる回転ルーチンを繰り返す。尚、Ｎ機の電気特性ユニット４１を設置すると、１回の回転ルーチンは、２Ｎ＋１回の前進と１回の後退により構成される。

【0054】

（全体制御）
更に、この回転ルーチンに含まれる各停止時間が異なっている。まず、図６に示すように、電気特性が未測定の電子部品Ｗを保持した先頭のチャック２２Ａが最初の電気特性測定ユニット４１に到着した際の第１種の停止時間は、電子部品Ｗの搬送経路２への供給又は排出が可能な最短時間Ｃである。

【0055】

先頭のチャック２２Ａが最初の電気特性測定ユニット４１に到着したとき、この先頭のチャック２２Ａは、電子部品Ｗを保持したまま静止し続ける。一方、他のチャック２２Ｂは、供給ユニット３に到着し、また他のチャック２２Ｆ、２２Ｇは排出容器６に到着し、それぞれ電子部品Ｗのピックアップと電子部品Ｗの排出を行う。すなわち、最短の停止時間は、チャック２２Ｂの降下、電子部品の保持、及びチャック２２Ｂの上昇の一連の工程、又は、チャック２２Ｆ、２２Ｇによる電子部品Ｗの離脱の何れか遅い方である。一般的には、チャック２２Ｂの一連の工程の方が遅い。

【0056】

搬送経路２上の検査支援ユニット５、外観検査ユニット４２、及び収容ユニット７は、電気特性測定ユニット４１の隣の退避位置４１ａから数えて一つ置きの停止位置２４に設置されており、チャック２２が到着していないので、これらユニット５、４２、７は稼動せず、この第１種の停止時間はこれらユニット５、４２、７の処理時間に規制されない。

【0057】

第１種の停止時間が経過すると、図７に示すように、全体のチャック２２が１ピッチ移動する。そして、電気特性が未測定の電子部品Ｗを保持した先頭のチャック２２Ａが最初の電気特性測定ユニット４１の隣にある退避位置４１ａに到着する。このタイミングでの第２種の停止時間は、検査支援ユニット５、外観検査ユニット４２、又は収容ユニット７のうちの最長時間であり、電気特性の測定時間よりも短い時間Ｂである。

【0058】

すなわち、このタイミングでは、他のチャック２２Ｂ、２２Ｇ、２２Ｆが電子部品Ｗを保持したまま、検査支援ユニット５、外観検査ユニット５２、及び収容ユニット７に到着する。そして、検査支援ユニット５では、チャック２２Ｂの降下、電子部品ＷのＸＹθステージへの離脱、チャック２２Ｂの上昇、ＸＹθステージの変化、チャック２２Ｂの再降下、電子部品ＷのＸＹθステージからのピックアップ、及びチャック２２Ｂの再上昇の一連の工程が実行される。外観検査ユニット４２では、電子部品Ｗの撮像が行われる。収容ユニット７では、チャック２２Ｆの降下、電子部品Ｗの収容箇所への離脱、適正な収容の成否の検査、チャック２２Ｆの上昇の一連の工程が実行される。これら各一連の処理は、最短時間Ｃよりも長時間を要し、停止時間Ｂは、これら各一連の処理の最長時間である。

【0059】

第２種の停止時間が経過し、図８に示すように、再びチャック２２が１ピッチ移動する。そして、電気特性が未測定の電子部品Ｗを保持したチャック２２Ａ、２２Ｂのペアが各電気特性測定ユニット４１に到着する。このタイミングでの停止時間は、第１種の停止時間と同じでよい。このタイミングでは、このチャック２２Ａ、２２Ｂのペアは、電気特性測定ユニット４１に電子部品Ｗを載置するのみであり、電気特性測定ユニット４１による処理は行われない。また、検査支援ユニット５、外観検査ユニット４２、及び収容ユニット７には、何れのチャック２２も到着していない。供給ユニット３、排出容器６、及び電気特性測定ユニット４１にチャック２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｇ、２２Ｈが存在するのみである。従って、電気特性搬送装置１では、電子部品Ｗのピックアップ、ステージ兼下側コンタクト４１２への載置、及び排出のみが行われる。

【0060】

尚、このタイミングでは、電子部品Ｗの供給ユニット３からのピックアップは実行しなくともよい。２回先の停止タイミングで同じ状況が発生するためである。このタイミングで電子部品Ｗをピックアップするより、２回先の停止タイミングで電子部品Ｗをピックアップしたほうが、電子部品Ｗの搬送経路２中での間欠移動の回数が少なくなり、急停止及び急加速による慣性力を受ける回数が減るため、電子部品Ｗにズレが発生する可能性が低下する。

【0061】

図９に示すように、更にチャック２２が１ピッチ移動し、電気特性測定ユニット４１に電子部品Ｗを載置したチャック２２Ａ、２２Ｂが退避位置４１ａに移動した際の第３種の停止時間は、電気特性の測定が可能な最長時間Ａである。このタイミングでは、電子部品Ｗをステージ兼下側コンタクト４１２に電子部品Ｗを載置したチャック２２Ａ、２２Ｂが退避位置４１ａに存在するため、上側コンタクト４１１とステージ兼下側コンタクト４１２との間に構造体は不存在であり、上側コンタクト４１１を下降させて上側電極と接触可能となっている。

【0062】

そこで、このタイミングで電気特性の測定が行われる。一方、このタイミングでは、チャック２２Ｃ、２２Ｈ、２２Ｇが電子部品Ｗを保持したまま、検査支援ユニット５、外観検査ユニット４２、及び収容ユニット７に到着する。そのため、このタイミングで、検査支援、外観検査、及び収容も行われる。但し、これら検査支援、外観検査、及び収容は、電気特性の測定よりも短時間であるため、このタイミングでは、最長時間Ａの停止時間となる。

【0063】

電気特性の測定を伴う第３種の停止時間が経過し、図１０に示すように、再びチャック２２Ａ、２２Ｂが電気特性測定ユニット４１へ後退する。そして、電気特性の測定が終了した電子部品Ｗをチャック２２Ａ、２２Ｂが再び保持する。このタイミングでの停止時間は、第１種の停止時間と同じでよい。このタイミングでは、このチャックのペアは、電気特性測定ユニット４１から電子部品Ｗをピックアップするのみである。また、検査支援ユニット５、外観検査ユニット４２、及び収容ユニット７には、検査支援及び外観検査が終了した電子部品Ｗが戻っただけである。

【0064】

尚、電気特性測定ユニット４１に電子部品Ｗが揃ったタイミングで、チャック２２Ｃが供給ユニットから電子部品Ｗをピックアップしていなければ、このタイミングでピックアップするようにすればよい。

【0065】

（作用効果）
以上のように、電子部品搬送装置１には、搬送経路２を構成するターレットテーブル２１が全周に亘って同一半径を有するチャック外周設置型回転搬送形式が採用される場合がある。この電子部品搬送装置１においては、電子部品Ｗを保持するチャック２２を、放射状にテーブル外側に向かって水平に延びるようにした。これにより、チャック２２により電子部品Ｗが載置されるステージ兼下側コンタクト４１２の上方に上側コンタクト４１１を配置しても、チャック２２のみがステージ兼下側コンタクト４１２と上側コンタクト４１１との間に入り込み、上側コンタクト４１１とターレットテーブル２１とが接触することはないので、ステージ兼下側コンタクト４１２に電子部品Ｗを載置可能となる。

【0066】

また、チャック２２をターレットテーブル２１の間欠回転角の２倍角のピッチでターレットテーブル２１の外縁に設け、ステージ兼下側コンタクト４１２及び上側コンタクト４１１の隣に、チャック２２が退避する退避位置４１ａを設定した。これにより、ステージ兼下側コンタクト４１２と上側コンタクト４１１の電子部品Ｗに対する処理がチャック２２に妨害されることがない。特に、上側コンタクト４１１がチャック２２に妨害されることなく、電子部品Ｗの上面電極に接触するために下降できる。

【0067】

従って、この電子部品搬送装置１によれば、搬送経路２を構成するターレットテーブル２１が全周に亘って同一半径を有するチャック外周設置型回転搬送形式が採用しても、電気特性測定ユニット４１をターレットテーブル２１が構成する搬送経路２に設置することができ、この搬送経路２上で両面電極を有する電子部品Ｗの電気特性を測定できる。すなわち、チャック外周設置型回転搬送形式のみで構成した搬送経路２で両面電極を有する電子部品Ｗの電気特性を測定することができる。従って、両面電極を有する電子部品Ｗを回転搬送形式の利点である高速搬送で処理することができ、生産効率が向上する。

【0068】

ターレットテーブル２１をアームが放射状に延びる星形とすると、アーム間ではステージ兼下側コンタクト４１２と上側コンタクト４１１との間にターレットテーブル２１が不存在と成し得る。しかし、電子部品搬送装置１には、ステージ兼下側コンタクト４１２に電子部品Ｗを載置するために、チャック２２をステージ兼下側コンタクト４１２に向けて降下させる進退駆動部２５を、ターレットテーブル２１の最外径部が通る軌跡の上方に固定設置する場合がある。このケースにおいても、チャック２２を放射状にテーブル外側に向かって水平に延びるようにすることで、上側コンタクト４１１と進退駆動部２５と接触することがなくなり、ステージ兼下側コンタクト４１２に電子部品Ｗを載置可能となる。

【0069】

従って、この進退駆動部２５を有する電子部品搬送装置１においても、回転搬送形式のみで構成した搬送経路２で両面電極を有する電子部品Ｗの電気特性を測定することができる。従って、両面電極を有する電子部品Ｗを回転搬送形式の利点である高速搬送で処理することができ、生産効率が向上する。

【0070】

尚、電気特性測定ユニット４１以外にも、下側にステージを設置し、そのステージに対向させて構造体を配置する例がある。例えば、ステージの直上からカメラで電子部品を撮像したい場合もある。すなわち、上側コンタクト４１１以外にもレーザーマーキング装置やカメラ等の他の構造体もステージの上方に存在させる場合もある。この電子部品搬送装置１は、このような上側コンタクト４１１以外の構造体をステージの上方に配置する必要がある場合であっても、ターレットテーブル２１で構成された搬送経路２から一旦離脱させる必要が無く、ターレットテーブル２１で構成された搬送経路２上で構造体による作用を電子部品Ｗに付与することができ、回転搬送形式の利点である高速搬送を発揮し、生産効率を向上させることができる。

【0071】

また、退避位置４１ａは、電気特性測定ユニット４１から見て搬送方向下流側の隣に配置しても、搬送方向上流側の隣に配置してもよい。チャック２２は、吸着チャック以外にも、静電チャック、ベルヌーイチャック、又は挟みを有して機械的に挟持するチャックを配してもよい。

【0072】

更に、ターレットテーブル２１の間欠回転角のピッチに対してチャック２２の配置を２倍角のピッチとしたため、電気特性測定ユニット４１から数えて一つ置きの停止位置２４の群と、退避位置４１ａから数えて一つ置きの停止位置２４の群とが存在する。この電子部品搬送装置１では、このうち、退避位置４１ａから数えて一つ置きの停止位置２４に電気特性測定ユニット４１とは異なる処理の処理ユニット５、４２、７を配置するようにした。

【0073】

電気特性測定ユニット４１に電子部品Ｗを載置したチャック２２が退避位置４１ａに存在する際の停止時間は、電気特性の測定に規制されて長時間Ｃとなる。この電子部品搬送装置１によれば、この電気特性の測定に伴う長時間Ｃの停止の際に、他のチャック２２が停止した処理ユニット５、４２、７で他の処理を行うことができる。換言すると、電気特性測定ユニット４１に電子部品Ｗを載置するのみのタイミングでは、他の処理は行われず、このタイミングでの停止時間を短くすることができる。電気特性の測定が検査項目に含まれる場合であっても、電子部品搬送装置１による電子部品Ｗの搬送を更に高速化することができ、生産効率を更に向上できる。

【0074】

異なる処理の処理ユニットとしては、電子部品Ｗの外観を検査する外観検査ユニット４２、電子部品Ｗの姿勢を補正する検査支援ユニット５、及び電子部品Ｗを収容するとともに収容の適正を判定する収容ユニット７を挙げた。この他にも、電子部品Ｗのピックアップ及び排出以上に時間のかかる処理を行う処理ユニットであれば、退避位置４１ａから数えて一つ置きの停止位置２４に置くようにすればよい。

【0075】

他方、電気特性測定ユニット４１の設置位置から数えて一つ置きの停止位置２４では、処理を行わず、供給ユニット３や排出容器６を設置し、チャック２２が電子部品Ｗをピックアップ又は離脱させるのみとしてもよい。電気特性測定ユニット４１で電子部品Ｗの載置を行うため、チャック２２による電子部品Ｗのピックアップ又は離脱が停止時間に影響を与えないためである。一方で、この停止位置を活用することでターレットテーブル２１の大型化を回避することもできる。

【0076】

更に、２機の電気特性測定ユニット４１を備え、各電気特性測定ユニット４１は、一の電気特性測定ユニット４１から数えて一つ置きの停止位置２４の何れかに設置するようにし、退避位置４１ａは、各電気特性測定ユニット４１の各隣に有するようにした。この態様では、全ての電気特性測定ユニット４１に電子部品Ｗが揃ってから１度に電気特性の測定が可能となる。

【0077】

これにより、１度の電気特性の測定で２個の電子部品Ｗが測定終了するため、電子部品Ｗが搬送経路２に供給されて排出されるまでの間に電気特性の測定が発生する回数が少なくなり、電子部品搬送装置１の搬送速度が向上する。

【0078】

尚、電気特性測定ユニット４１は、２機に限らず、複数機設置することができ、設置機数に反比例して電気特性の測定発生回数が少なくなり、電子部品Ｗの搬送速度を向上させることができる。また、電気特性測定ユニット４１以外の処理ユニットであっても同一種を複数機設置し、全ての処理ユニットに電子部品Ｗが揃ってから処理を行うようにしてもよい。

【0079】

（他の実施形態）
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0080】

１ 電子部品搬送装置
２ 搬送経路
２１ ターレットテーブル
２２ チャック
２２ａ 開口
２３ ダイレクトドライブモータ
２４ 停止位置
２５ 進退駆動部
３ 供給ユニット
４１ 電気特性測定ユニット
４１ａ 退避位置
４１１ 上側コンタクト
４１２ ステージ兼下側コンタクト
４１３ 上側ベース
４１４ 昇降駆動部
４１５ 引っ張りバネ
４１６ モータ
４１７ カム
４１８ カムフォロア
４２ 外観検査ユニット
５ 検査支援ユニット
６ 排出容器
７ 収容ユニット
Ｗ 電子部品

【要約】

【課題】チャック外周設置型回転搬送方式の電子部品搬送装置において高速搬送の利点を失うことなく、ステージと構造物とを搬送経路を挟んで対向配置できる電子部品搬送装置を提供する。
【解決手段】全周に亘って同一半径を有する円形状を有するターレットテーブル２１と、ターレットテーブル２１の最外径部が通る軌跡の上方に固定設置され、チャック２２をステージ兼下側コンタクト４１２に降下させる進退駆動部２５を備える。ステージ兼下側コンタクト４１２の上方にチャック２２が入り込む余地を空けて対向する上側コンタクト４１１を設ける。チャック２２は、ターレットテーブル２１の外縁にテーブルの１ピッチの回転角の２倍角のピッチで設けられ、テーブル外側に向けて水平に延ばす。停止位置２４のうち、ステージ兼下側コンタクト４１２と上側コンタクト４１１の隣にチャック２２の退避位置４１ａを設定する。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】