特許5866595プラズマ処理装置用トレイ及びプラズマ処理装置

発明の名称　プラズマ処理装置用トレイ及びプラズマ処理装置

出願人　サムコ株式会社　（識別番号 392022570）

　　　　特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5866595

公報発行日　2016年2月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5866595

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