特許5871106Ｉｎ合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びＩｎ合金膜

発明の名称　Ｉｎ合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びＩｎ合金膜

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 232 位（137件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 218 位（135件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5871106

公報発行日　2016年3月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5871106

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