(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
前記一方の静圧パッドによる前記研削済みワークの吸着を解除した後に、前記一方の静圧パッドから静圧流体を供給して前記研削済みワークを前記一方の静圧パッドから離す
ことを特徴とする請求項5に記載の両頭平面研削におけるワーク搬入出方法。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳述する。
図1、
図2は本発明を採用した横型両頭平面研削盤を例示する。この横型両頭平面研削盤は、
図1、
図2に示すように、左右に相対向して配置され且つシリコンウェーハ等の薄板状のワークWを保持する左右一対の静圧パッド1,2と、各静圧パッド1,2の凹部3,4に対応して左右方向の軸心廻りに回転自在に配置され且つ静圧パッド1,2により保持されたワークWの左右の両側面を研削する左右一対の研削砥石5,6と、静圧パッド1,2により保持されたワークWを中心廻りに回転させるキャリア7と、静圧パッド1,2間のキャリア7にワークWを搬入出する搬入出手段8,9とを備えている。
【0017】
静圧パッド1,2はワークWの近傍の前進保持位置X1(研削位置)とワークWから後
退する後退位置X2との間で左右方向に移動自在であり、前進保持位置X1ではワークWと対向する保持面10,11側に供給される静圧水等の静圧流体(以下、静圧水という)を介してワークWを静圧保持するようになっている。静圧パッド1,2の保持面10,11には、
図3に示すように、静圧水が供給される複数個のポケット12,13と、その各ポケット12,13からの静圧水を外側へと排出する排出溝14,15が設けられている。
【0018】
一対の静圧パッド1,2の内、一方の静圧パッド2には、
図1〜
図3に示すように、その保持面11の外周部分に周方向に複数個、例えば6個の吸着孔16が設けられている。吸着孔16はワークWを吸着し、またワークWの吸着を解除するためのものであり、その少なくとも1個の吸着孔16は、後述のようにキャリア7が基準停止位置に停止したときに、ワークWのノッチ部17と係合する係合突部18の近傍に配置されている。
【0019】
なお、吸着孔16の数はワークWの大きさ等を考慮して適宜決定すればよい。また複数個の吸着孔16は周方向に略等間隔を置いて配置することが望ましいが、係合突部18の両側近傍に複数個(例えば2個)の吸着孔16を配置する等、各吸着孔16相互間の間隔に多少のバラツキがあってもよい。
【0020】
各ポケット12,13は制御弁等を介して静圧水源19に接続され、各吸着孔16は圧力センサ20、制御弁回路32等を介して真空源等の吸引源21、エア源等の吐出源22に切り換え可能に接続されている。研削砥石5,6はカップ型等であって、左右方向の砥石軸(図示省略)の先端に設けられ、前進端Y1と後退端Y2との間で左右方向に移動し、前進端Y1側での前進時にワークWを研削するようになっている。
【0021】
キャリア7は、
図4に示すように、内周にキャリア孔23が略同心状に形成され且つワークWよりも薄い薄板状のキャリア板24と、このキャリア板24の外周部を保持するキャリアリング25及び押えリング26とを備え、周方向に複数個の支持ローラ27によりワークWの中心廻りに回転自在に保持されている。ワークWはキャリア孔23に対して嵌脱自在であり、そのキャリア孔23内にはワークWのノッチ部17と係合する係合突部18が設けられている。
【0022】
キャリアリング25はキャリア7と略同心状になっている。押えリング26の内周には同心状にリングギア28が設けられ、そのリングギア28に駆動ギア29が内周側から噛合されている。駆動ギア29は右静圧パッド2の通孔30に挿通された駆動軸31を介して図外の駆動源により駆動される。
【0023】
搬入出手段8,9は、
図1に示すように、左右方向及び前後方向に移動自在に設けられた可動枠33と、この可動枠33に別々に上下動自在に設けられた搬入手段8及び搬出手段9とを備え、その搬入手段8、搬出手段9の吸着カップ34,35によりワークWを吸着して静圧パッド1,2間のキャリア7に対するワークWの搬入出を行うようになっている。
【0024】
なお、搬入手段8と搬出手段9は、搬入手段8によるワークWの搬入時には搬出手段9が上昇し、搬出手段9によるワークWの搬出時には搬入手段8が上昇する等、互いに作業に支障のない退避位置に退避するようになっている。
【0025】
搬入手段8は、
図5、
図6に示すように、可動枠33に上下方向に昇降自在に設けられた支持枠37と、この支持枠37に上下の支持手段38,39を介して静圧パッド1,2の保持面10,11の面内方向にフローティング可能に設けられたフローティング枠40と、フローティング枠40の下部側の一側面に設けられた吸着カップ34と、フローティング枠40がキャリア7側に接近したときに、吸着カップ34に吸着されたワークWがキャリア7のキャリア孔23に略一致するようにフローティング枠40を案内する案内手段41とを備えている。
【0026】
支持枠37は上下方向に配置され、この支持枠37の一側面に支持手段38を介して板状のフローティング枠40が上下、前後にフローティング可能に装着されている。フローティング枠40は上下方向の中間の前後両側に案内手段41を構成する案内ローラ42がブラケット43を介して傾斜支軸44により回転自在に支持されている。案内ローラ42はフローティング枠40がキャリア7側に接近したときに、キャリアリング25の外周に接触して案内されるようになっている。
【0027】
支持手段38は支持枠37とフローティング枠40との間に設けられた上下一対の支持部45,46と、支持枠37とフローティング枠40との間に設けられ且つフローティング枠40を下向きに付勢する付勢部51とを有する。
【0028】
支持部45,46はフローティング枠40に形成された通孔、切り欠き部等の開口部47,48と、この開口部47,48に挿通して支持枠37に固定され且つフローティング枠40を受ける受け部材49,50とを備えている。開口部47,48の上側の当接縁47a,48aは上側が前後方向の円弧状、下側が前後方向の水平状であり、その円弧状の当接縁47aに受け部材49の円弧状の受け面49aが下側から当接している。なお、水平状の当接縁48aは受け部材50の円弧状の受け面50a
の上側に近接しており、フローティング枠40が最大量までフローティングしたとき両者が当接するようになっている。受け部材49,50はフローティング枠40を上側から着脱できるように外れ止め部49b,50bを有する。
【0029】
付勢部51はフローティング枠40の上端に前後方向に水平状に設けられた被押圧体52と、支持枠37に下向きに保持され且つ被押圧体52の上側から当接する前後方向に複数個の押圧体53と、この押圧体53を下方に付勢するバネ54とを有し、支持部45,46の鉛直線上とその前後両側との3箇所に設けられている。中央の押圧体53は被押圧体52の凹部52aに当接しており、前後の押圧体53は被押圧体52に対して摺動自在に当接する。従って、フローティング後のフローティング枠40は、上側の支持部45を支点として復帰する。
【0030】
押圧体53、バネ54は支持枠37の側面の突出部55に設けられている。なお、支持部45,46は支持枠37に開口部47,48を、フローティング枠40に受け部材49,50を夫々設けてもよい。また付勢部51は圧縮バネの他、引っ張りバネを採用してもよい。
【0031】
吸着カップ34はワークWを真空吸着するためのもので、ワークWの略中央部分の上側と、その下側の前後両側との3箇所に配置されている。なお、吸着カップ34の数、吸着カップ34間の間隔等はワークWの大きさ等を考慮して適宜決定すればよい。
【0032】
搬出手段9は、
図1に示すように、上下方向の支持枠56と、この支持枠56の下端部に装着された吸着カップ35とを備えている。吸着カップ35はワークWの略中央に対応して1個設けられているが、2個又はそれ以上の複数個でもよい。
【0033】
次に横型両頭平面研削盤におけるワークWの搬入出方法を説明する。ワークWの両頭平面研削は、ワークWを搬入する搬入工程から、ワークWを研削する研削工程を経て、研削後のワークWを搬出する搬出工程までを1サイクルとして行われる。
【0034】
図7はワークWを搬入する前の状態を示し、左右の研削砥石5,6は後退端Y2に、左静圧パッド1は後退位置X2に、右静圧パッド2はキャリア7の近傍の前進保持位置X1に夫々位置している。
【0035】
そこで、ワークWを静圧パッド1,2間のキャリア7に搬入して装着する際には、先ず搬入手段8の吸着カップ34でワークWを吸着する。次に
図8に示すように搬入手段8をキャリア7と左静圧パッド1との間へと進入させて、ワークWをキャリア7のキャリア孔23の軸心上に対向させる。そして、搬入手段8をキャリア7側へと移動させて、
図9に示すようにワークWをキャリア7のキャリア孔23に挿入する。
【0036】
このときキャリア7は
図2に示すようにその係合突部18が所定位置に位置すべく位置決めされており、またワークWはそのノッチ部17がキャリア7の係合突部18に対応するように位置決めされた状態で吸着されているため、搬入手段8をキャリア7側へと移動させることにより、ワークWのノッチ部17をキャリア7の係合突部18に係合させることができる。
【0037】
また搬入手段8の上下、前後方向の位置のバラツキ等によりワークWがキャリア孔23に一致していない場合でも、搬入手段8をキャリア7側へと移動させて行けば、フローティング枠40の一対の案内ローラ42がキャリアリング25の外周に接触して案内されるため、支持手段38を介して支持枠37にフローティング可能に支持されたフローティング枠40がキャリアリング25に追従してフローティング動作を行う。このため搬入手段8がキャリア7側へと移動するときにワークWをキャリア孔23に合わせることができ、ワークWをキャリア孔23に挿入することができる。
【0038】
ワークWがキャリア孔23に入ると、そのワークWを前進保持位置X1にある右静圧パッド2の保持面11に当接させて、
図9に示すように右静圧パッド2と搬入手段8との間でキャリア7内のワークWを両側から挟み、その後に右静圧パッド2の吸着孔16により吸引して、静圧パッド2の保持面11にワークWを吸着する。右静圧パッド2がワークWを吸着したか否かは、圧力センサ20の吸着信号の有無により確認する。
【0039】
ワークWのノッチ部17がキャリア7の係合突部18に乗り上げた場合には、右静圧パッド2の複数個の吸着孔16の内、ノッチ部17の近傍に配置された1個の吸着孔16が外気を吸い込むため、右静圧パッド2によりワークWを吸着できず、圧力センサ20の吸着信号が出力されない。そのためワークWと一緒にキャリア7を僅かな角度(所定角度)回転させた後に、再度、右静圧パッド2によるワークWの吸着を行う。
【0040】
このようにワークWのノッチ部17の近傍を含む複数箇所に吸着孔16を配置しておくことにより、ワークWのノッチ部17がキャリア7の係合突部18に乗り上げたか否かを容易に把握することができる。
【0041】
ワークWをキャリア7に装着する際には、必ずキャリア7の係合突部18とワークWのノッチ部17とを係合させる。しかし、搬入手段8によるワークWの吸着ミス等によってノッチ部17が係合突部18に係合しないような状況が生じた場合には、搬入作業の自動サイクルを停止し、作業者に報知する。
【0042】
右静圧パッド2がワークWを吸着すると、その吸着と略同時に搬入手段8の吸着カップ34によるワークWの吸着を解除して、ワークWを搬入手段8から右静圧パッド2へと受け渡す。従って、その後に搬入手段8を静圧パッド1,2間から退避させても、
図10に示すようにキャリア7内のワークWは右静圧パッド2により保持できる。
【0043】
このように右静圧パッド2と搬入手段8とによりワークWを両側から挟んだ後、右静圧パッド2によりワークWを吸着すると略同時に搬入手段8によるワークWの吸着を解除して、ワークWを搬入手段8から右静圧パッド2へと受け渡し、またその受け渡し後も右静圧パッド2で吸着を継続することにより、ワークWが薄板状であるにも拘わらず、キャリア7内でのワークWの傾斜、キャリア7からのワークWの脱落等を防止することができる。
【0044】
なお、搬入手段8から右静圧パッド2へのワークWの受け渡しは、右静圧パッド2と搬入手段8とによりワークWを両側から挟んだ状態で行えばよく、右静圧パッド2によるワークWの吸着後に、搬入手段8によるワークWの吸着を解除すればよい。また逆に搬入手段8によるワークWの吸着を解除し、その後に右静圧パッド2によりワークWを吸着してもよい。
【0045】
次に
図11に示すように左静圧パッド1を前進保持位置X1に前進させた後、右静圧パッド2によるワークWの吸着を解除する。このときには両静圧パッド1,2によりキャリア7内のワークWを両側から挟んでいるため、右静圧パッド2によるワークWの吸着を解除しても、ワークWがキャリア7から脱落する等の惧れはない。その後、
図12に示すように両静圧パッド1,2に静圧水を供給して、キャリア7内のワークWを静圧保持する。そして、駆動ギア29によりキャリア7を駆動して静圧保持状態のワークWを回転させながら、
図13に示すように両研削砥石5,6を前進させてワークWの両面を研削する。
【0046】
ワークWの研削終了後、
図14に示すように、両研削砥石5,6を後退端Y2まで後退させてキャリア7の回転を停止させる。このときキャリア7は次のワークWの挿入を容易にするために定位置で停止させる。その後、両静圧パッド1,2からの静圧水の供給を停止すると、その停止と略同時又は停止後に右静圧パッド2によりワークWを吸着する。このときにも圧力センサ20により、右静圧パッド2がワークWを吸着したか否かを確認する。そして、右静圧パッド2がワークWを吸着できない吸着ミスが発生した場合には、ワークWが破損している可能性があるため、自動サイクル運転を停止して作業者に報知する。
【0047】
右静圧パッド2によるワークWの吸着後に、左静圧パッド1を後退位置X2へと後退させる前に、
図15に示すように左静圧パッド1から静圧水を供給して左静圧パッド1とワークWとの間の表面張力をなく
す。即ち、ワークWと左静圧パッド1との隙間は、実際には0.1mm程度であるため、右静圧パッド2がワークWを吸着しても、ワークWと左静圧パッド1との間の表面張力はなくならない。
【0048】
そこで、先ず左静圧パッド1から静圧水を供給して左静圧パッド1とワークWとの間の表面張力をなくし、その後に左静圧パッド1を後退位置X2へと後退させる。これによって左静圧パッド1を後退させる際の両者間の表面張力によるワークWの破損を防止しながら、左静圧パッド1を後退位置X2へと後退させることができる。
【0049】
左静圧パッド1が後退位置X2に後退した後、
図16に示すように搬出手段9をキャリア7と左静圧パッド1との間に進入させる。そして、
図17に示すように搬出手段9をキャリア7側へと移動させて、搬出手段9と右静圧パッド2とによりキャリア7内のワークWを両側から挟む。
【0050】
次に
図18に示すように、搬出手段9の吸着カップ35によりキャリア7内のワークWを吸着する。この吸着カップ35によるワークWの吸着と同時又は吸着後に、右静圧パッド2の吸着孔16を吸引源21から吐出源22に切り換えて、吸着孔16からエアを吐出して右静圧パッド2とワークWとの間の真空を破壞し、またその真空破壞と同時又は真空破壞後に、右静圧パッド2から静圧水を供給して右静圧パッド2からワークWを離す。
【0051】
その後、
図19に示すように、搬出手段9を後退させて研削後のワークWをキャリア7から取り出す。なお、右静圧パッド2からのエアの吐出、静圧水の供給は、ワークWが離れた後の適当な時点で終了する。
【0052】
このように右静圧パッ
ド2と搬出手段9とによりワークWを両側から挟んだ状態で、まず搬出手段9の吸着カップ3
5によりワークWを吸着し、その後に右静圧パッド
2による吸着を解除して、ワークWを右静圧パッド2から搬出手段9へと受け渡すことにより、キャリア7からのワークWの脱落等を防止することができる。
【0053】
また右静圧パッド2によるワークWの吸着を解除した後、吸着孔16からエアを吐出して真空吸着を破壞するが、この真空の破壞は例えば0.1〜0.2MPa程度の低めの圧力で行う。このように低めの圧力で真空を破壞することにより、真空吸着を解除する際の急激な真空破壞
によってワークWに急激に大きな力が作用してワークWが振動する等の現象を解消でき、ワークWの破損を防止することができる。
【0054】
更に真空を破壞するだけでは、右静圧パッド2とワークWとの間にある水の表面張力によりワークWが右静圧パッド2に吸着されたままになるが、右静圧パッド2から静圧水を供給することによりその表面張力の影響をなくし、搬出手段9によりワークWを吸着したときのワークWの破損を防止することができる。
【0055】
その後、搬出手段9により吸着されたワークWをキャリア7のキャリア孔23から抜き取り、静圧パッド1,2間から外部へと搬出する。
【0056】
このように右静圧パッド2によりワークWを吸着することにより、搬入出時にワークWがキャリア7内で傾斜して研削砥石5,6等に接触したり、ワークWがキャリア7から脱落したりすることを防止でき、ワークWや研削砥石5,6等の損傷を防止することができる。
【0057】
また右静圧パッド2に吸着孔16を形成して、その吸着孔16を制御弁等を介して吸引源21、吐出源22に接続すればよいので、新たな機器を導入することなく容易且つ安価に実施でき、しかも両頭平面研削盤自体の大型化を防止できる利点がある。
【0058】
更に前進保持位置X1にある両静圧パッド1,2により挟んだ状態において、右静圧パッド2によりワークWを吸着して左静圧パッド1を後退させるときに、左静圧パッド1から静圧水を供給し、また右静圧パッド2による吸着を解除した後に、ワークWを吸着した搬出手段9を退避させるときに、右静圧パッド2からエア、静圧水を供給することにより、水の表面張力によるワークWの損傷を防止しながら、左静圧パッド1、搬出手段9をスムーズに退避させることができ、研削のサイクルタイムを短縮することができる。
【0059】
以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、この実施形態では横型両頭平面研削盤について例示しているが、縦型の両頭平面研削盤でも同様に実施することができる。またワークWはシリコンウェーハ等以外のものでもよい。
【0060】
また実施形態では、一対の静圧パッド1,2の内、右静圧パッド2に吸着孔16を設けて、この右静圧パッド2側にワークWを吸着する場合を示しているが、左静圧パッド1に吸着孔16を設けて、左静圧パッド1側にワークWを吸着するようにしてもよい。
【0061】
搬入手段8により吸着されたワークWをキャリア7内に挿入して搬入手段8と右静圧パッド2とにより挟んだ後であれば、右静圧パッド2によるワークWの吸着と略同時に搬入手段8によるワークWの吸着を解除してもよいし、右静圧パッド2によるワークWの吸着と相前後して搬入手段8によるワークWの吸着を解除してもよい。
【0062】
また左静圧パッド1から静圧水を供給して左静圧パッド1とワークWとの表面張力を解除する場合、右静圧パッド2によるワークWの吸着と略同時に左静圧パッド1から静圧水を供給してもよいし、右静圧パッド2によるワークWの吸着と相前後して左静圧パッド1から静圧水を供給してもよい。
【0063】
キャリア7内のワークWを搬出手段9と右静圧パッド2とにより挟んだ後は、搬出手段9によるワークWの吸着と略同時に右静圧パッド2によるワークWの吸着を解除し、右静圧パッド2から静圧水を供給してもよいし、搬出手段9によるワークWの吸着と相前後して右静圧パッド2によるワークWの吸着を解除し、右静圧パッド2から静圧水を供給してもよい。
【0064】
ワークWの搬出時に右静圧パッド2に静圧水を供給する場合、通常の静圧保持用の静圧水の供給系統を利用して、その供給弁を経て供給するようにしてもよいし、静圧保持用の静圧水の供給系統とは別の供給系統から供給するようにしてもよい。また搬入手段8と搬出手段9は別々に設けてもよいし、一つで両者を兼用するようにしてもよい。
【0065】
実施形態では搬入手段8にフローティング枠40を介して吸着カップ34をフローティング可能に備え、ワークWの装着時に案内手段41を介してキャリア7とワークWとが一致するように吸着カップ34を案内する構成を採用しているが、搬入手段8の剛性の向上、搬入手段8の駆動モータの精度の向上等によって、基準停止位置で停止するキャリア7に対して、搬入手段8に吸着されたワークWの位置精度を向上させることにより、搬入手段8側のフローティング枠40等を省略することができる。