特許5873327露光用調光装置

発明の名称　露光用調光装置

出願人　株式会社オーク製作所　（識別番号 128496）

　　　　特許公開件数ランキング 2710 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1273 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5873327

公報発行日　2016年3月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5873327

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