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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】5876927
(24)【登録日】2016年1月29日
(45)【発行日】2016年3月2日
(54)【発明の名称】ペリクル及びペリクルフレーム並びにペリクルの製造方法
(51)【国際特許分類】
G03F 1/64 20120101AFI20160218BHJP
G03F 1/62 20120101ALI20160218BHJP
【ＦＩ】
G03F1/64
G03F1/62
【請求項の数】6
【全頁数】28
(21)【出願番号】特願2014-506285(P2014-506285)
(86)(22)【出願日】2013年3月21日
(86)【国際出願番号】JP2013058173
(87)【国際公開番号】WO2013141325
(87)【国際公開日】20130926
【審査請求日】2014年7月2日
(31)【優先権主張番号】特願2012-64442(P2012-64442)
(32)【優先日】2012年3月21日
(33)【優先権主張国】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】309002329
【氏名又は名称】旭化成イーマテリアルズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100128381
【弁理士】
【氏名又は名称】清水 義憲
(74)【代理人】
【識別番号】100133307
【弁理士】
【氏名又は名称】西本 博之
(74)【代理人】
【識別番号】100154656
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 英彦
(72)【発明者】
【氏名】岩村 賢一郎
(72)【発明者】
【氏名】内村 洋文
(72)【発明者】
【氏名】塚本 雅弘
(72)【発明者】
【氏名】廣瀬 隆徳
(72)【発明者】
【氏名】平野 政勝
【審査官】
佐野 浩樹
(56)【参考文献】
【文献】
特開２００１−０４２５０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００２−２９６７６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００６−０５６５４４（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１１−０９５５５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００６−１７８４３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００９−０６３７４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００１−２９０２５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００５−３０９１２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１２−０５８４００（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平１０−３３９９４４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｇ０３Ｆ１／００−１／８６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
（ａ）四つの辺部により略矩形の枠状に形成されて高分子材料からなるペリクル膜を展張支持するペリクルフレームを用意する工程と、
（ｂ）前記ペリクルフレームに前記ペリクル膜を展張支持する工程と、
を有するペリクルを製造する方法であって、以下の条件１及び条件２のうちの少なくとも一方を満たす、方法。
条件１：前記工程（ａ）で用意される前記ペリクルフレームにおいて、前記辺部の長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上０．９％以下であり、前記辺部の前記長辺幅が、５ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、前記辺部の一対の長辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しており、当該一対の長辺部の膨出量が、３ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であり、
前記工程（ｂ）は、少なくとも膨出された前記辺部の前記一対の長辺部が前記ペリクルフレームの内側に向けて弾性変形された状態で、前記ペリクル膜を前記ペリクルフレームに貼り付ける工程を含む。
条件２：前記工程（ａ）で用意される前記ペリクルフレームにおいて、前記辺部の短辺幅／短辺長の割合が０．３％以上０．９％以下であり、前記辺部の前記短辺幅が、４ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、前記辺部の一対の短辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しており、当該一対の短辺部の膨出量が、２．８ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、
前記工程（ｂ）は、少なくとも膨出された前記辺部の前記一対の短辺部が前記ペリクルフレームの内側に向けて弾性変形された状態で、前記ペリクル膜を前記ペリクルフレームに貼り付ける工程を含む。
（ｂ）前記ペリクルフレームに前記ペリクル膜を展張支持する工程と、
を有するペリクルを製造する方法であって、以下の条件１及び条件２のうちの少なくとも一方を満たす、方法。
条件１：前記工程（ａ）で用意される前記ペリクルフレームにおいて、前記辺部の長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上０．９％以下であり、前記辺部の前記長辺幅が、５ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、前記辺部の一対の長辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しており、当該一対の長辺部の膨出量が、３ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であり、
前記工程（ｂ）は、少なくとも膨出された前記辺部の前記一対の長辺部が前記ペリクルフレームの内側に向けて弾性変形された状態で、前記ペリクル膜を前記ペリクルフレームに貼り付ける工程を含む。
条件２：前記工程（ａ）で用意される前記ペリクルフレームにおいて、前記辺部の短辺幅／短辺長の割合が０．３％以上０．９％以下であり、前記辺部の前記短辺幅が、４ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、前記辺部の一対の短辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しており、当該一対の短辺部の膨出量が、２．８ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、
前記工程（ｂ）は、少なくとも膨出された前記辺部の前記一対の短辺部が前記ペリクルフレームの内側に向けて弾性変形された状態で、前記ペリクル膜を前記ペリクルフレームに貼り付ける工程を含む。
【請求項2】
前記工程（ａ）で用意される前記ペリクルフレームにおいて、前記辺部の前記長辺長が、４００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以下であり、前記辺部の前記短辺長が、２００ｍｍ以上、１８００ｍｍ以下である、請求項１に記載の方法。
【請求項3】
前記工程（ａ）で用意される前記ペリクルフレームがヤング率が１ＧＰａ以上８０ＧＰａ以下の材質により形成される、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項4】
前記工程（ｂ）直後の前記ペリクルにおいて、膨出された前記辺部の前記一対の長辺部及び／又は前記一対の短辺部が、当該一対の長辺部及び／又は当該一対の短辺部の復元力と前記ペリクル膜の膜張力とのつり合いにより、略直線状に形成されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項5】
前記工程（ｂ）直後の前記ペリクルにおいて、前記ペリクル膜には、以下の条件Ａ、条件Ｂ及び条件Ｃを全て満たすような大きさの膜張力が付与されている、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
条件Ａ：前記ペリクル膜が略水平となるように前記ペリクルを配置した状態において、前記ペリクル膜上の第１基準点であって、平面視で前記ペリクルフレームの前記辺部の長辺部の内縁の中央点から当該長辺部の内縁と直交する方向に３０ｍｍ離れた第１基準点上に１０．６ｇの重りを載せた場合の当該第１基準点の沈み量が０．４ｍｍ以上、２．４ｍｍ以下である。
条件Ｂ：前記ペリクル膜が略水平となるように前記ペリクルを配置した状態において、前記ペリクル膜上の第２基準点であって、平面視で前記ペリクルフレームの前記辺部の短辺部の内縁の中央点から当該短辺部と直交する方向に３０ｍｍ離れた第２基準点上に１０．６ｇの重りを載せた場合の当該第２基準点の沈み量が０．３ｍｍ以上、２．３ｍｍ以下である。
条件Ｃ：前記第１基準点の前記沈み量と前記第２基準点の前記沈み量との差の絶対値が０．４ｍｍ以下である。
条件Ａ：前記ペリクル膜が略水平となるように前記ペリクルを配置した状態において、前記ペリクル膜上の第１基準点であって、平面視で前記ペリクルフレームの前記辺部の長辺部の内縁の中央点から当該長辺部の内縁と直交する方向に３０ｍｍ離れた第１基準点上に１０．６ｇの重りを載せた場合の当該第１基準点の沈み量が０．４ｍｍ以上、２．４ｍｍ以下である。
条件Ｂ：前記ペリクル膜が略水平となるように前記ペリクルを配置した状態において、前記ペリクル膜上の第２基準点であって、平面視で前記ペリクルフレームの前記辺部の短辺部の内縁の中央点から当該短辺部と直交する方向に３０ｍｍ離れた第２基準点上に１０．６ｇの重りを載せた場合の当該第２基準点の沈み量が０．３ｍｍ以上、２．３ｍｍ以下である。
条件Ｃ：前記第１基準点の前記沈み量と前記第２基準点の前記沈み量との差の絶対値が０．４ｍｍ以下である。
【請求項6】
（ａ）基板上に成膜された高分子材料からなるペリクル膜を、開口部を有する枠体に当該開口部を覆うように貼り付ける工程と、
（ｂ）前記枠体に貼り付けられた前記ペリクル膜を、前記基板から剥離する工程と、
（ｃ）四つの辺部により略矩形の枠状に形成されたペリクルフレームであって、少なくとも一対の前記辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しているペリクルフレームを用意する工程と、
（ｄ）前記ペリクルフレームの前記少なくとも一対の前記辺部に外力を付与することにより、当該少なくとも一対の前記辺部が略直線状になるように当該少なくとも一対の前記辺部を弾性変形させる工程と、
（ｅ）前記工程（ｄ）の後に、前記少なくとも一対の前記辺部が略直線状になるように弾性変形している状態の前記ペリクルフレームに、当該ペリクルフレームの開口部を覆うように前記枠体に貼り付けられた前記ペリクル膜を貼り付ける工程と、
（ｆ）前記工程（ｅ）の後に、前記少なくとも一対の前記辺部に付与している前記外力を取り除くことにより、前記ペリクル膜を前記ペリクルフレームによって展張支持する工程と、
（ｇ）前記工程（ｅ）の後に、前記ペリクル膜の余剰部分及び前記枠体を除去する工程と、
を備え、以下の条件１及び条件２のうちの少なくとも一方を満たす、ペリクルの製造方法。
条件１：前記工程（ｃ）で用意されるペリクルフレームにおいて、前記辺部の長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上０．９％以下であり、前記辺部の前記長辺幅が、５ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、前記辺部の一対の長辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しており、当該一対の長辺部の膨出量が、３ｍｍ以上、２０ｍｍ以下である。
条件２：前記工程（ｃ）で用意されるペリクルフレームにおいて、前記辺部の短辺幅／短辺長の割合が０．３％以上０．９％以下であり、前記辺部の前記短辺幅が、４ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、前記辺部の一対の短辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しており、当該一対の短辺部の膨出量が、２．８ｍｍ以上、１５ｍｍ以下である。
（ｂ）前記枠体に貼り付けられた前記ペリクル膜を、前記基板から剥離する工程と、
（ｃ）四つの辺部により略矩形の枠状に形成されたペリクルフレームであって、少なくとも一対の前記辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しているペリクルフレームを用意する工程と、
（ｄ）前記ペリクルフレームの前記少なくとも一対の前記辺部に外力を付与することにより、当該少なくとも一対の前記辺部が略直線状になるように当該少なくとも一対の前記辺部を弾性変形させる工程と、
（ｅ）前記工程（ｄ）の後に、前記少なくとも一対の前記辺部が略直線状になるように弾性変形している状態の前記ペリクルフレームに、当該ペリクルフレームの開口部を覆うように前記枠体に貼り付けられた前記ペリクル膜を貼り付ける工程と、
（ｆ）前記工程（ｅ）の後に、前記少なくとも一対の前記辺部に付与している前記外力を取り除くことにより、前記ペリクル膜を前記ペリクルフレームによって展張支持する工程と、
（ｇ）前記工程（ｅ）の後に、前記ペリクル膜の余剰部分及び前記枠体を除去する工程と、
を備え、以下の条件１及び条件２のうちの少なくとも一方を満たす、ペリクルの製造方法。
条件１：前記工程（ｃ）で用意されるペリクルフレームにおいて、前記辺部の長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上０．９％以下であり、前記辺部の前記長辺幅が、５ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、前記辺部の一対の長辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しており、当該一対の長辺部の膨出量が、３ｍｍ以上、２０ｍｍ以下である。
条件２：前記工程（ｃ）で用意されるペリクルフレームにおいて、前記辺部の短辺幅／短辺長の割合が０．３％以上０．９％以下であり、前記辺部の前記短辺幅が、４ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であり、前記辺部の一対の短辺部が前記ペリクルフレームの外側に膨出しており、当該一対の短辺部の膨出量が、２．８ｍｍ以上、１５ｍｍ以下である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルなどの露光用基盤に異物が付着することを防止するために用いられるペリクル及びペリクルフレーム並びにペリクルの製造方法に関する。【背景技術】
【0002】
例えば半導体装置や液晶ディスプレイ等の回路パターン製造時のリソグラフィー工程において、フォトマスク或いはレティクルなどの露光用基盤に異物が付着することを防止する目的で、一般にペリクルと呼ばれる防塵カバーが露光用基盤に装着される。【0003】
このペリクルは、通常露光用基盤の形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度のペリクルフレームの上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体或いはフッ素ポリマーなどの透明な高分子材料からなる膜（以下、「ペリクル膜」という）を展張して接着し、かつ該ペリクルフレームの下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材表面に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。【0004】
前記粘着材は、ペリクルを露光用基盤に固着するためのものであり、また、保護フィルムは、粘着材が使用されるまで粘着材の接着力を維持するために、粘着材の接着面を保護するものである。【0005】
ところで、ペリクルが装着された露光用基盤を有する露光装置において、高い寸法精度の露光処理を行うためには、光が通るペリクル膜が自重により撓むことを抑制する必要がある。特に、近年、液晶パネルの大型化や生産性向上のために露光用基盤のサイズが大型化し、それに併せてペリクル膜も５，０００ｃｍ２、１０，０００ｃｍ２、１５，０００ｃｍ２と年々大面積化しているため、その分撓み量が大きくなり、ペリクル膜の撓みが大きな問題となりつつある。【0006】
大型のＴＦＴＬＣＤ(薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ)等のフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクやレティクルに適用出来るペリクルの枠体としては、長辺と短辺を有する矩形状のものが一般である。この枠体にペリクル膜を貼り付けると、該ペリクル膜の張力により枠体の辺が内側に向かって歪みが生じ、この歪みによってフォトマスクやレティクルの有効露光領域が小さくなってしまう場合があり、ペリクル膜の展張面積が大きくなる（ペクリル膜が大きくなる）につれてその現象は顕著になる。このような現象に対してはペリクルの枠体の内側の面積(以下、有効面積と称する)を極力維持した状態で、ペリクル枠体の剛性を高めることで解決してきた（例えば、特許文献１〜４参照）。【0007】
また近年、液晶では、大きな一枚のパネルからパソコンや携帯電話等の面積の小さな画面のパターンを複数とれるように、大きな一枚のパネルを多面撮りすることが検討されている。そのため、有効露光面積を従来よりも広くしたい要望がある。しかし、装置自体は従来のものを使用するため、ペリクルの外寸を変更せずに、有効露光面積を従来よりも広くするという新しい課題が発生している。【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開２００１−１０９１３５号公報
【特許文献2】特開２００１−４２５０７号公報
【特許文献3】特開２００２−２９６７６３号公報
【特許文献4】特開２００６−５６５４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
ペリクルは、上述のようにペリクル膜を貼り付けると、該ペリクル膜の張力によりフレームの辺が内側に向かって歪みを生じるが、上述の文献等に記載された技術を用いることで、ペリクルフレームの変形量がペリクル膜の張力による変形量より小さくなってバランスをとることができていた。【0010】
しかし、新しい課題に対応するべく、ペリクルフレーム幅を細くして、従来通りの作製を行うと、ペリクルフレームの変形量がペリクル膜の張力による変形量より大きくなってしまう。このため、ペリクル膜をカットした時に、ペリクルフレームが単に内側に向けて歪むだではなく、ペリクルフレームが上下に変形したり、ペリクルフレームの角部が変形したりする。また、ペリクルフレームの剛性が小さいことから、ペリクル膜の張力とつり合う力が小さくなるためペリクル膜の張力を維持することができずに膜シワが発生してしまい、更には、膜張力が弱くなるためハンドリング時に膜が膨らんでハンドリングしにくいといった新しい問題が発生した。【0011】
特にペリクル面積が、３，０００ｃｍ２、更に６，０００ｃｍ２、更には８，０００ｃｍ２を越えるような最大では３０，０００ｃｍ２以内の大型ペリクルでは特に問題になる。【0012】
本発明は、従来市場で使用されるとは予想されていなかった細い幅のペリクルフレームを使用して露光に影響しないペリクル及びペリクルフレーム並びにペリクルの製造方法を提供することをその目的にする。【課題を解決するための手段】
【0013】
本願発明者らが鋭意検討した結果、細い幅の少なくとも一対の辺部がペリクルフレームの外側に膨出した略矩形のペリクルフレームを枠体内側へ応力をかけて撓ませた状態にした上で、ペリクル膜を貼り付けて展張することで、驚くべきことに、膜張力とフレーム応力とが、フレームが略矩形となる状態でつり合うことを見出した。そして、これまで、フレームを枠体外部へ突出した太鼓状に切り出し、そこにペリクル膜を展張することで、フレームを略矩形の形状にバランスさせていたが、細い幅の略矩形のペリクルフレームを用いた場合、ペリクル膜展張後にフレームを略矩形形状とするためには、予めペリクルフレームを枠体内部へ応力をかけて撓ませた状態にすることが重要であることを見出した。【0014】
本発明は、このような知見に基づいて上記課題を解決するものである。【0015】
すなわち、本発明に係るペリクルフレームは、四つの辺部により略矩形の枠状に形成されてペリクル膜を展張支持するペリクルフレームであって、辺部の長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上２．２％以下であり、辺部の短辺幅／短辺長の割合が０．３％以上３．８％以下であり、少なくとも一対の辺部がペリクルフレームの外側に膨出している。【0016】
本発明に係るペリクルフレームによれば、辺部の長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上２．２％以下であり、短辺幅／短辺長の割合が０．３％以上３．８％以下と細くすることで、ペリクルの外寸を変更せずに、有効露光面積を従来よりも広くすることができる。しかも、このように辺部の幅を狭くしても、少なくとも一対の辺部がペリクルフレームの外側に膨出しているので、この膨出した辺部をペリクルフレームの内側に向けて弾性変形させた状態で、ペリクルフレームにペリクル膜を貼り付けることで、ペリクルフレームの復元力とペリクル膜の展張力とをつり合わせることができる。その結果、ペリクル膜にシワが生じるのを抑制することができる。【0017】
また、本発明に係るペリクルフレームにおいては、辺部の長辺長が、４００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以下であり、辺部の短辺長が、２００ｍｍ以上、１８００ｍｍ以下とすることができるが、特に、ペリクル面積が２０，０００ｃｍ２以上３０，０００ｃｍ２以下で長辺の長さが１５００ｍｍ以上の場合、ペリクル膜のシワ防止と露光面積確保の観点から、辺部の長辺幅は８ｍｍ以上１５ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは９ｍｍ以上１４．５ｍｍ以下、更には１０ｍｍ以上１４ｍｍ以下であり、辺部の短辺幅は７ｍｍ以上１５ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは８ｍｍ以上１４．５ｍｍ以下、更には９ｍｍ以上１４ｍｍ以下である。また、ペリクル面積１２，０００ｃｍ２以上２０，０００ｃｍ２以下で、長辺の長さが１２００ｍｍ以上１５００ｍｍ以下の場合、辺部の長辺幅は５ｍｍ以上１１ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは６ｍｍ以上１１ｍｍ以下、更には７ｍｍ以上１０．５ｍｍ以下であり、辺部の短辺幅が、４ｍｍ以上１１ｍｍ以下、好ましくは５ｍｍ以上１０．５ｍｍ以下、更には６ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。また、ペリクル面積５，０００ｃｍ２以上１２，０００ｃｍ２以下で、長辺の長さが７００ｍｍ以上１４００ｍｍ以下の場合、辺部の長辺幅が、４ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは５ｍｍ以上９．５ｍｍ以下、更には５．５ｍｍ以上９ｍｍ以下であり、辺部の短辺幅は、３ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは４ｍｍ以上９ｍｍ以下、更には５ｍｍ以上８ｍｍ以下である。【0018】
また、本発明に係るペリクルフレームにおいては、辺部の一対の長辺部がペリクルフレームの外側に膨出しており、この一対の長辺部の膨出量が、３ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、この膨出した辺部をペリクルフレームの内側に向けて弾性変形させた状態で、ペリクルフレームにペリクル膜を貼り付ける際に、ペリクルフレームの復元力とペリクル膜の展張力とをつり合わせることが容易となるため、ペリクル膜にシワが生じるのをより有効に抑制することができる。【0019】
また、本発明に係るペリクルフレームは、ヤング率が１ＧＰａ以上８０ＧＰａの材質により形成されるものとすることができる。このように、ヤング率が１ＧＰａ以上８０ＧＰａの材質によりペリクルフレームを形成することで、一般的な素材で製膜されたペリクル膜をペリクルフレームに貼り付けた際に、ペリクルフレームが略矩形状になる状態において、ペリクルフレームの復元力とペリクル膜の膜張力とを適切につり合わせることができる。【0020】
本発明に係るペリクルは、上記のペリクルフレームと、ペリクルフレームに展張支持されるペリクル膜と、を有するペリクルであって、少なくとも膨出された辺部がペリクルフレームの内側に向けて弾性変形された状態で、ペリクル膜がペリクルフレームに貼り付けられている。【0021】
本発明に係るペリクルによれば、ペリクルの外寸を変更せずに、有効露光面積を従来よりも広くすることができ、しかも、ペリクルフレームの復元力とペリクル膜の展張力とをつり合わせることができるため、ペリクル膜にシワが生じるのを抑制することができる。【0022】
また、本発明に係るペリクルは、膨出された辺部が、当該辺部の復元力とペリクル膜の膜張力とのつり合いにより、略直線状に形成されているものとすることができる。このように、辺部の復元力とペリクル膜の膜張力とのつり合いにより、辺部を略直線状に形成することで、有孔露光面積を確保しつつ、ペリクルフレームの復元力とペリクル膜の膜張力とを適切につり合わせることができる。【0023】
また、本発明に係るペリクルにおいては、ペリクル膜には、以下の条件Ａ、条件Ｂ及び条件Ｃを全て満たすような大きさの膜張力が付与されていることが好ましい。【0024】
条件Ａ：ペリクル膜が略水平となるようにペリクルを配置した状態において、ペリクル膜上の第１基準点であって、平面視でペリクルフレームの辺部の長辺部の内縁の中央点から当該長辺部の内縁と直交する方向に３０ｍｍ離れた第１基準点上に１０．６ｇの重りを載せた場合の当該第１基準点の沈み量が０．４ｍｍ以上、２．４ｍｍ以下である。【0025】
条件Ｂ：ペリクル膜が略水平となるようにペリクルを配置した状態において、ペリクル膜上の第２基準点であって、平面視でペリクルフレームの辺部の短辺部の内縁の中央点から当該短辺部と直交する方向に３０ｍｍ離れた第２基準点上に１０．６ｇの重りを載せた場合の当該第２基準点の沈み量が０．３ｍｍ以上、２．３ｍｍ以下である。【0026】
条件Ｃ：第１基準点の上記沈み量と第２基準点の上記沈み量との差の絶対値が０．４ｍｍ以下である。【0027】
このように条件Ａ、条件Ｂ及び条件Ｃを満たすような大きさの膜張力をペリクル膜に付与することにより、有効露光面積を広く確保しながら、より有効にペリクル膜にシワが生じるのを抑制することができる。【0028】
第１基準点での上記沈み量と第２基準点での上記沈み量が上記条件Ａ〜条件Ｃで規定される範囲内にあると、ペリクル膜が緩むことが有効に抑制されるため長辺部及び短辺部付近でペリクル膜にシワが生じることが有効に抑制されるために好ましく、また、ペリクル膜に付与された膜張力が強すぎて少しの振動等でペリクル膜が破れることが抑制されるため好ましい。【0029】
ペリクルフレームは角部の剛性が相対的に強いため、角部からの対角線上に沿ってペリクル膜の膜張力は相対的に強くなると想定される。よって、細幅のペリクルフレームを用いた場合でも、対角線上のペリクル膜の膜張力は比較的強く維持できると考えられる、しかし、それとは対照的に、枠体の中央部付近はペリクル膜の膜張力に枠体が負けて辺が撓みやすくなるため、枠体の中央部分付近のペリクル膜の膜張力が小さくなることでペリクル膜をペリクルフレームに貼り付けた場合にペリクル膜にシワが発生したり、ペリクルのハンドリング時にペリクル膜にシワが発生したりしやすくなる。そのため、第１基準点での上記沈み量と第２基準点での上記沈み量が上記条件Ａ〜条件Ｃで規定される範囲内にあると、ペリクルフレームの長辺側と短辺側の中央部分近傍である第１基準点及び第２基準点におけるペリクル膜の膜張力が強くなると共に、第１基準点及び第２基準点におけるペリクル膜の膜張力のバランスをとることができるため、ペリクル膜全体の張力のバランスがよくなり、細幅のペリクルフレームを用いることが可能なペリクルを作製することが可能となることを本発明者らは見出した。【0030】
本発明に係るペリクルの製造方法は、（ａ）基板上に成膜された高分子材料からなるペリクル膜を、開口部を有する枠体に当該開口部を覆うように貼り付ける工程と、（ｂ）枠体に貼り付けられたペリクル膜を、基板から剥離する工程と、（ｃ）四つの辺部により略矩形の枠状に形成されたペリクルフレームであって、少なくとも一対の辺部がペリクルフレームの外側に膨出しており、辺部の長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上２．２％以下であり、辺部の短辺幅／短辺長の割合が０．３％以上３．８％以下である、ペリクルフレームを用意する工程と、（ｄ）ペリクルフレームの上記少なくとも一対の辺部に外力を付与することにより、当該少なくとも一対の辺部が略直線状になるように当該少なくとも一対の辺部を弾性変形させる工程と、（ｅ）工程（ｄ）の後に、上記少なくとも一対の辺部が略直線状になるように弾性変形している状態のペリクルフレームに、当該ペリクルフレームの開口部を覆うように枠体に貼り付けられたペリクル膜を貼り付ける工程と、（ｆ）工程（ｅ）の後に、上記少なくとも一対の辺部に付与している上記外力を取り除くことにより、ペリクル膜をペリクルフレームによって展張支持する工程と、（ｇ）工程（ｅ）の後に、ペリクル膜の余剰部分及び枠体を除去する工程と、を備える。なお、工程（ｄ）における略直線状にとは、図９の外側に膨出Ｐから少しでもＬ直線に近づいた状態をいい、具体的には、Ｐから０．５ｍｍ以上Ｌ直線に近づくことが好ましい。一方で、工程（ｅ）を経た後のペリクルは略矩形形状であるが、この形状は露光装置への取り付けに支障が無い程度に矩形形状であることをいう。【0031】
本発明に係るペリクルの製造方法によれば、工程（ｃ）において辺部の長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上２．２％以下であり、辺部の短辺幅／短辺長の割合が０．３％以上３．８％以下であるペリクルフレームを用意しているため、有効露光面積が従来よりも広くなったペリクルを得ることができる。その上、工程（ｄ）において上記少なくとも一対の辺部が略直線状になるように上記少なくとも一対の辺部を弾性変形させ、工程（ｅ）において、この状態のペリクルフレームにペリクル膜を貼り付けるため、ペリクルフレームの復元力とペリクル膜の展張力とをつり合わせることができる。その結果、ペリクル膜にシワが生じるのを抑制することができる。【発明の効果】
【0032】
本発明は、従来市場で使用されるとは予想されていなかった細い幅のペリクルフレームを使用しても、露光に問題なく、有効露光面積を拡大させることができ、また、膜シワもなく、細くても十分な膜張力を確保でき、更に、ハンドリングでも問題がないペリクル、及び、そのようなペリクルの製造方法を提供することができる。【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】ペリクルの斜視図である。
【図2】ペリクルの縦断面図である。
【図3】枠体の形の説明図である。
【図4】ペリクルの製造プロセスを示す説明図である。
【図5】ペリクルフレームの形の説明図である。
【図6】ペリクルの他の製造プロセスを示す説明図である。
【図7】長辺側の膜沈み量と短辺側の膜沈み量の測定方法を説明するための模式的な斜視図である。
【図8】長辺側の膜沈み量と短辺側の膜沈み量の測定方法を説明するための模式的な断面図である。
【図9】膨出量の定義を示す説明図である。
【図10】実施例及び比較例の評価結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0034】
本発明の実施形態を説明する。なお、以下に説明する実施形態は本発明の構成の例であり、本発明は以下の実施形態に制限されるものではない。また、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。【0035】
図１及び図２にペリクル１を示す。ペリクル１は、例えば矩形の枠状で開口部Ｆを有するペリクルフレーム１０と、ペリクルフレーム１０の上面にその開口部Ｆを覆うように貼り付けられてペリクルフレーム１０に展張支持されたペリクル膜１１と、ペリクルフレーム１０の下面に塗布された粘着剤１２及びその粘着剤１２の表面を覆う保護フィルム１３を有している。【0036】
ペリクル膜１１は、ニトロセルロースやセルロース誘導体、シクロオレフィン系樹脂、フッ素系高分子など透明な高分子膜で構成されており、膜厚は、１μｍ以上１０μｍ以下が好ましく、より好ましくは２μｍ以上８μｍ以下、更に好ましくは２．５μｍ以上７μｍ以下である。また、ペリクルフレーム１０の開口部Ｆの開口面積は、例えば１０００ｃｍ２以上であり、本実施形態におけるペリクル１は、いわゆる大型ペリクルである。ペリクルフレーム１０の開口部Ｆの開口面積が１０００ｃｍ２以上である場合、ペリクル製造工程内のハンドリング時に膜張力が弱いとペリクルフレームの自重により膜シワが発生したり、ハンドリング治具から外れる可能性があるが、本実施形態を用いることで、劇的にハンドリング時の膜シワの発生やハンドリング治具から外れるといった可能性が抑止される。特にペリクル面積が３，０００ｃｍ２、更には６，０００ｃｍ２を越えるような大型ペリクルの場合に発揮される。【0037】
ところで、細いペリクルフレーム１０にペリクル膜１１を展張させたペリクル１を作製すると、ペリクル膜１１の膜張力にペリクルフレーム１０の剛性が負けて大きく変形する。そこで、先にペリクルフレーム１０に応力を持たせておき、この応力を持たせたペリクルフレーム１０にペリクル膜１１を貼り付けて、ペリクル膜１１の膜張力とペリクルフレーム１０の応力とを釣合わせるようにすることが重要である。後述するように、ペリクル膜１１をペリクルフレーム１０貼り付ける前にペリクル膜１１を枠体に貼り付けるが、更にペリクル膜１１の膜張力を上げるためには、この枠体での膜張力を上げておくこともできる。そうすることで、膜張力もあり、有効露光面積も確保できるペリクルが作製可能になる。【0038】
まずは枠体での膜張力を上げる方法を述べる。ペリクル１の製造は、図３に示す枠体２０を用いて行われる。枠体２０は、略矩形の枠状に形成されており、対向する一対の長辺部２０ａと対向する一対の短辺部２０ｂとからなる４辺部を有している。この枠体２０は、例えば図３の（Ａ）のように４辺部が直線状のもの、（Ｂ）のように対となる長辺部２０ａが枠体２０の外側に凸となるように湾曲膨出した太鼓状に形成されたもの、（Ｃ）のように対となる短辺部２０ｂが枠体２０の外側に凸となるように湾曲膨出した太鼓状に形成されたもの、（Ｄ）のように全ての辺部である一対の長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂが枠体２０の外側に凸となるように湾曲膨出した太鼓状に形成されたものを用いることができる。外側に凸となる形状としては、１つの角部から隣接する角部に亘って太鼓状になっていてもよく、長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂの中央付近のみがなだらかに凸形状になっていてもよい。【0039】
図４は、ペリクル１の製造方法の一例の概略を示す説明図である。図４の（Ａ）に示すように、先ず開口部Ｇを有する枠体２０を用意する。次に図４の（Ｂ）に示すように、枠体２０の一対の長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂの中央付近を、治具などを用いて内側に押さえ込む。これにより、外側から内側に外力が付与されて、枠体２０の一対の長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂが内側に向けて弾性変形する。【0040】
また、ＣＶＤ、スパッタリングなどの成膜技術によりペリクル膜１１が成膜された基板３０を用意する。そして、一対の長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂが内側に弾性変形した状態の枠体２０に、その開口部Ｇを覆うように、基板３０に成膜されたペリクル膜１１を貼り付ける。このときのペリクル膜１１と枠体２０との接着は、枠体２０上に塗布された接着材により行われる。その後、枠体２０の一対の長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂを弾性変形させていた外力を取り除く。なお、図４の（Ｂ）では、説明のために枠体２０の内側への変形量を大きく描いているが、実際の枠体２０の押し込み量は、枠体材の弾性変形領域であれば任意の力で押さえ込むことができる。また、図３の（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示したように、辺部が外側に凸となるように湾曲膨出した枠体２０の場合には、外側から押さえ込むことにより辺部が略直線状になるよう弾性変形させてもよい。【0041】
枠体２０の材質としては、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）等の金属、セラミックス（ＳｉＣ、Ａ１Ｎ、Ａ１２０３等）、セラミックスと金属の複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−Ａ１Ｎ、ＡＬ−Ａ１２０３等）、樹脂等があげられ、中でもアルミニウムやその合金を挙げることができ、より具体的には、アルミニウムとマグネシウムの合金、アルミニウムとマグネシウムそしてケイ素の合金、アルミニウムと亜鉛そしてマグネシウムの合金など、弾性変形をおこさせるものが好ましい。【0042】
次に図４の（Ｃ）に示すように、枠体２０が貼り付けられたペリクル膜１１を基板３０から剥離する。このとき、枠体２０の弾性変形を維持していた力を取り除くことにより、枠体２０の一対の長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂが弾性復元力（膨張力）により元の形に戻ろうとして外側に変位する。これにより、ペリクル膜１１には４辺の外側方向に向かう引張力が作用し、膜張力が上がる。【0043】
次に図４の（Ｄ）に示すように、ペリクルフレーム１０を用意する。ペリクルフレーム１０の上面には、接着剤が塗布されている。次に、図４の（Ｅ）に示すように、ペリクルフレーム１０の上面に、その開口部Ｆを覆うように、枠体２０が貼り付けられたペリクル膜１１を貼り付ける。これにより、ペリクル膜１１は、膜張力が維持された状態で、ペリクルフレーム１０に貼り付けられる。その後、枠体２０を含むペリクル膜１１の余剰部分を除去する。【0044】
本実施形態によれば、温度変化を与えることなく、高分子材料からなるペリクル膜１１の膜張力を向上できるので、ペリクル膜１１の物性が変動することを防止でき、当該ペリクル１を利用した露光処理を適正に行うことができる。また、ペリクルフレーム１０や粘着剤１２、ペリクル膜１１などの材質に温度変化に耐え得るものを用いる必要がなく、材質の選択の自由度が広がる。また、温度変化の付与や、温度変化に伴う空調を行う高価な設備が必要なく、その制御プロセスが容易になる。さらに、高温若しくは低温に曝されないため、熱による粘着剤１２等の劣化がなく、ペリクル１の平坦性や寸法精度が確保され、精度の高い露光処理を行うことができる。【0045】
また、本実施形態で記載したペリクル１は、ペリクルフレーム１０の開口部Ｆの開口面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルであるが、膜張力を向上できるので、大型化によって顕著になるペリクル膜１１の自重による撓みを抑制できる。よって、大型ペリクルであっても、精度の高い露光処理を実現できる。また、露光用基盤への装着時に周囲雰囲気を巻き込んで生じるペリクル膜１１の膨らみも抑制できる。これにより、そのペリクル膜１１の膨らみが戻るまでの待ち時間が減り、製造時間を短縮できる。【0046】
さらに、図３（Ｂ）〜（Ｄ）に示したように、枠体２０の少なくとも１辺部が外側に凸となるように湾曲膨出した初期形状を有している場合には、枠体２０の辺部の内側への変形量を大きく確保でき、その分、弾性復元力（膨張力）により元に戻る際の変形量も大きく確保できる。よって、ペリクル膜１１をより強く引っ張ることができ、膜張力をさらに上げることができる。【0047】
なお、本実施形態では、ペリクル膜１１を貼り付ける際に枠体２０の一対の長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂの全てを内側に弾性変形させてもよく、４辺部のうちの任意の辺部を内側に弾性変形させてもよい。これにより、ペリクル膜１１の長辺方向、若しくは短辺方向の張力を発現させたい方向のみに膜張力を増加させることができ、ペリクル膜１１が長方形の場合などは長辺方向に強い張力を与えるなど、４方向の張力バランスの均等化を図ることができる。特に、ペリクルフレーム１０の剛性が高い場合には、枠体２０の任意の辺部を内側に弾性変形させておくことが好ましい。ここで、高い剛性の範囲はヤング率が９０〜４５０の範囲である。具体的には、ファインセラミック（例えば、アルミナ、炭化ケイ素など）、鉄、ＳＵＳ、チタン等である。【0048】
また、本実施形態では、枠体２０の一対の長辺部２０ａ及び一対の短辺部２０ｂを変形させる外力を、枠体２０にペリクル膜１１を貼り付けた後であって基板３０からペリクル膜１１を離脱させる前に除去していたが、基板３０からペリクル膜１１を離脱させた後であってペリクル膜１１をペリクルフレーム１０に貼り付ける前に除去してもよい。また、当該外力の除去を、ペリクル膜１１をペリクルフレーム１０に貼り付けた後に行ってもよい。【0049】
上記実施形態では、ペリクル膜１１を貼り付ける際に枠体２０を弾性変形させていたが、ペリクルフレーム１０を弾性変形させてもよい。【0050】
図５は、この例で用いられるペリクルフレーム１０の形状を示す。図５に示すように、ペリクルフレーム１０は、略矩形の枠状に形成されており、対向する一対の長辺部１０ａと対向する一対の短辺部１０ｂとからなる４辺部を有している。このペリクルフレーム１０は、例えば図５の（Ｂ）のように対となる長辺部１０ａがペリクルフレーム１０の外側に凸となるように湾曲膨出した太鼓状に形成されたもの、（Ｃ）のように対となる短辺部１０ｂがペリクルフレーム１０の外側に凸となるように湾曲膨出した太鼓状に形成されたもの、（Ｄ）のように全ての辺部であるの一対の長辺部１０ａ及び一対の短辺部１０ｂがペリクルフレーム１０の外側に凸となるように湾曲膨出した太鼓状に形成されたものを用いることができる。【0051】
ペリクルフレーム１０の材質は、ヤング率が１ＧＰａ以上８０ＧＰａ以下のものであれば何でもよい。このヤング率を１ＧＰａよりも小さくすると、膜の張力の方が強すぎて、フレームの復元力を利用することができないというという問題がある。一方、このヤング率を８０ＧＰａよりも大きくすると、剛性が高いため弾性変形させることが困難になり、また高い復元力を望めないという問題がある。このため、このヤング率を１ＧＰａ以上８０ＧＰａ以下とすることで、膜張力とつりあう適度な復元力を利用できるという利点がある。例えば、アルミニウムやその合金、あるいはセラミックス、樹脂等といったペリクルフレームに一般的に用いられるものであればよい。ペリクルフレーム１０の材質は、大型化による自重の増加を考慮すれば、軽量で、かつ、剛性を有するものが好ましく、アルミニウムやその合金が好ましい。【0052】
ペリクルフレーム１０の厚み（長辺部１０ａ及び短辺部１０ｂの厚み）は、２．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、好ましくは、３．０ｍｍ以上８ｍｍ以下であり、更に好ましくは４．０ｍｍ以上７．０ｍｍ以下である。何故なら、当該厚みがこの範囲にあると、異物がペリクル膜１１に付着した場合であっても、この異物と露光用基盤のパターンとが実質的に同じ像として描写されない上に、ペリクル膜１１の透過率を実質的に低下させないためである。また、ペリクルフレーム１０の幅（長辺部１０ａ及び短辺部１０ｂの幅）は、長辺幅／長辺長の割合が、０．３％以上２．２％以下であり、好ましくは０．５％以上２．２％以下であり、更に好ましくは、０．５５％以上２．１％以下であり、更に好ましくは０．６％以上２．０％以下であることが好ましく、当該割合の他の好ましい例は、０．４％以上２．１％以下であり、更に好ましくは、０．５％以上２．０％以下であり、更に好ましくは、０．９％以下であり、更に好ましくは、０．８％以下である。また、短辺幅／短辺長の割合は、０．３％以上３．８％以下であり、好ましくは０．５％以上３．８％以下であり、好ましくは０．５５％以上３．５％以下であり、更に好ましくは、０．６％以上３．０％以下であり、当該割合の他の好ましい例は０．３％以上２．２％以下であり、更に好ましくは０．４％以上２．１％以下であり、更に好ましくは０．５％以上２．０％以下であり、更に好ましくは１．０％以下であり、更に好ましくは、０．９％以下である。【0053】
なお、長辺長とは、ペリクルフレーム１０における長辺部１０ａの外寸を意味し、短辺長とは、ペリクルフレーム１０における短辺部１０ｂの外寸を意味する。【0054】
ペリクルフレーム１０の長辺長は、例えば４００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以下、好ましくは、７００ｍｍ以上、１８００ｍｍ以下、更に好ましくは、９００ｍｍ以上、１６００ｍｍ以下、特に好ましくは、１２００ｍｍ以上、１４００ｍｍ以下であり、ペリクルフレーム１０の短辺長は、例えば２００ｍｍ以上、１８００ｍｍ以下、好ましくは、５００ｍｍ以上、１６００ｍｍ以下、更には、７００ｍｍ以上、１２００ｍｍ以下である。【0055】
ペリクルフレーム１０の長辺幅（長辺部１０ａの幅）は、例えば５ｍｍ以上、１５ｍｍ以下とすることができ、ペリクルフレーム１０の短辺幅（短辺部１０ｂの幅）は、例えば４ｍｍ以上、１５ｍｍ以下とすることができる。【0056】
図６は、この例のペリクル１の製造方法の概略を示す説明図である。図６の（Ａ）に示すように、先ずペリクルフレーム１０を用意する。ペリクルフレーム１０の上面には、接着剤が塗布されている。次に図６の（Ｂ）に示すように、ペリクルフレーム１０の一対の長辺部１０ａ及び一対の短辺部１０ｂの中央付近を、治具などを用いて抑え込む。これにより、外側から内側に外力が付与されて、ペリクルフレーム１０の一対の長辺部１０ａ及び一対の短辺部１０ｂが内側に向けて弾性変形する。この状態で、ペリクルフレーム１０の上面に、その開口部Ｆを覆うように、枠体２０に貼り付けられたペリクル膜１１を貼り付ける。このペリクル膜１１は、上述の実施形態のように初めに基板３０上に成膜され、次に枠体２０に貼り付けられ、その後基板３０が取り外されたものである。なお、本実施形態では、上述の実施形態のように外力を付与して枠体２０を弾性変形させている必要はない。また、図６では、説明のためにペリクルフレーム１０の内側への変形量を大きく描いているが、実際のペリクルフレーム１０の押し込み量は、フレーム材の弾性変形領域であれば任意の力で押さえ込むことができる。また、図５の（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示したように、辺部が外側に凸となるように湾曲膨出したペリクルフレーム１０の場合には、外側から押さえ込むことにより辺部が略直線状になるように弾性変形させてもよい。【0057】
次に図６の（Ｃ）に示すように、ペリクルフレーム１０に付与されていた外力を取り除く。すると、ペリクルフレーム１０の一対の長辺部１０ａ及び一対の短辺部１０ｂが弾性復元力（膨張力）により元の形に戻ろうとして外側に変位する。これにより、ペリクル膜１１には、４辺の外側方向に向かう引張力が作用し、膜張力が上がる。その後、ペリクル膜１１の余剰部分を除去する。【0058】
このように、ペリクルフレーム１０に対してペリクル膜１１に与える張力の方向と逆方向の力を加えることで、ペリクル膜１１の張力が上がる。なお、ペリクルフレーム１０を細くすると、その変形量が大きいため、膜も大きく変形しようとするが、実際には、膜は無限に変形できないため、上述したように、ペリクルフレーム１０の復元力（膨張力）によりペリクル膜１１の張力が上がる。【0059】
細幅のペリクルフレームを用いてペリクルを作製した場合、ペリクル膜の膜張力が弱いとペリクルの作製時やハンドリング時等にペリクル膜にシワが生じる可能性がある。そのような状態のペリクルをマスクに貼り付けて使用すると、ペリクルが撓んで異物検査装置等に接触したり、ペリクル付マスクをハンドリングする時にペリクル膜がケースに接触する可能性が高くなったり、露光時における露光光の光路が屈曲して正常に露光できない可能性が生じたりするため、好ましくない。【0060】
そのため、細幅のペリクルフレーム１０を用いてペリクル１を構成した場合のペリクル膜１１の膜張力をある程度の大きさに保つ必要がある。ところで、ペリクルフレーム１０は角部の剛性が相対的に強いため、角部からの対角線上に沿ってペリクル膜１１の膜張力は相対的に強くなると想定される。よって、細幅のペリクルフレーム１０を用いた場合でも、対角線上のペリクル膜１１の膜張力は比較的強く維持できると考えられる、しかし、それとは対照的に、枠体２０の中央部付近はペリクル膜１１の膜張力に枠体２０が負けて辺が撓みやすくなるため、枠体２０の中央部分付近のペリクル膜１１の膜張力が小さくなることでペリクル膜１１をペリクルフレーム１０に貼り付けた場合にペリクル膜１１にシワが発生したり、ペリクル１のハンドリング時にペリクル膜１１にシワが発生したりしやすくなる。そのため、下記のように第１基準点での沈み量と第２基準点での沈み量が下記の条件Ａ〜条件Ｃで規定される範囲内にあると、ペリクルフレーム１０の長辺側と短辺側の中央部分近傍である第１基準点及び第２基準点におけるペリクル膜１１の膜張力が強くなると共に、第１基準点及び第２基準点におけるペリクル膜１１の膜張力のバランスをとることができるため、ペリクル膜１１全体の張力のバランスがよくなり、細幅のペリクルフレーム１０を用いることが可能なペリクル１を作製することが可能となることを本発明者らは見出した。【0061】
即ち、ペリクル膜１１には、以下の条件Ａ、条件Ｂ及び条件Ｃを全て満たすような大きさの膜張力が付与されていることが好ましい。【0062】
条件Ａ：ペリクル膜１１が略水平となるようにペリクル１を配置した状態において、ペリクル膜１１上の第１基準点であって、平面視でペリクルフレーム１０の辺部の長辺部１０ａの内縁の中央点から当該長辺部１０ａの内縁と直交する方向に３０ｍｍ離れた第１基準点上に１０．６ｇの重りを載せた場合の当該第１基準点の沈み量（以下、「長辺側の膜沈み量」という場合がある）が０．４ｍｍ以上、２．４ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以上、２．０ｍｍ以下、より好ましくは０．８ｍｍ以上、１．９ｍｍ以下である。【0063】
条件Ｂ：ペリクル膜１１が略水平となるようにペリクル１を配置した状態において、ペリクル膜１１上の第２基準点であって、平面視でペリクルフレーム１０の辺部の短辺部１０ｂの内縁の中央点から当該短辺部１０ｂと直交する方向に３０ｍｍ離れた第２基準点上に１０．６ｇの重りを載せた場合の当該第２基準点の沈み量（以下、「短辺側の膜沈み量」という場合がある）が０．３ｍｍ以上、２．３ｍｍ以下、好ましくは０．４ｍｍ以上、１．９ｍｍ以下、より好ましくは０．７ｍｍ以上、１．７ｍｍ以下である。【0064】
条件Ｃ：第１基準点の上記沈み量と第２基準点の上記沈み量との差（即ち、長辺側の膜沈み量と短辺側の膜沈み量との差）の絶対値が０．４ｍｍ以下、好ましくは０．３ｍｍ以下、より好ましくは０．２５ｍｍ以下である。【0065】
ペリクル膜１１に付与されている膜張力が上記条件Ａ、条件Ｂ及び条件Ｃを満たしていると、ペリクル膜１１をペリクルフレーム１０に貼り付けた後にペリクル膜１１に膜シワが生じ難くなるためである。また、マスクにペリクル１を貼り付けた際に、ペリクル１のハンドリング時等にペリクル膜１１がマスクに接触したり、ペリクル１に貼り付けられたペリクル膜１１が、風圧等の外圧を受けた時にペリクル膜１１がマスクに接触したりすることが抑制されるためである。更には、本願発明者らは、細幅のペリクルフレームを用いたペリクルにおいては、短辺側の膜沈み量と長辺側の膜沈み量の差が、従来のペリクルにおける差と比較して、非常に小さいことを見出した。そのため従来のペリクルにおける場合とは異なり、矩形状のペリクル膜１１の全体で膜張力のバランスが保たれているため、ペリクルフレームの辺部の幅を細くてもペリクルとして使用可能な製品になる。【0066】
次に、長辺側の膜沈み量と短辺側の膜沈み量の測定方法について説明する。図７は、長辺側の膜沈み量と短辺側の膜沈み量の測定方法を説明するための模式的な斜視図であり、図８は、長辺側の膜沈み量と短辺側の膜沈み量の測定方法を説明するための模式的な断面図である。図８（Ａ）は、ペリクルフレーム１０の長辺部１０ａの長さ方向の中央点におけるペリクル１の縦断面を示しており、図８（Ｂ）は、ペリクルフレーム１０の短辺部１０ｂの長さ方向の中央点におけるペリクル１の縦断面を示している。また、ペリクル載置台５０として、ペリクル収納容器のトレイを使用した。【0067】
長辺側の膜沈み量を測定する際は、まず、粘着剤１２及び保護フィルム１３（図７においては図示せず）付ペリクル１を、ペリクル膜１１が略水平となるように枠上のペリクル載置台５０に静置する。そして、ペリクル膜１１における２箇所の第１基準点１１１に、ペリクル膜１１を破かないように軽くマーキングする。ここで、第１基準点１１１は、平面視で（ペリクル膜１１の厚さ方向から見て）ペリクルフレーム１０の辺部の長辺部１０ａの内縁の中央点１０ａｃから当該長辺部１０ａの内縁と直交する方向に３０ｍｍ離れた点である。【0068】
次に、一方の第１基準点１１１に１０．６ｇの重り５５を置いて、当該重りを置く前を基準としたペリクル膜１１の沈み量１１１Ｄ（長辺側の膜沈み量１１１Ｄ）をレーザー変位計によって測定する。より具体的には、ドーナツ形状等の孔を有する形状の重り５５を準備し、重り５５の重心点が一方の第１基準点１１１上に位置するように、重り５５を一方の第１基準点１１１上に載せ、レーザー変形のセンサー５７をスタンド６１によって重り５５の上方に位置するように制御する。そして、センサー５７から重り５５の中央部の孔を通して第１基準点１１１にレーザー光を照射して、ペリクル膜１１の長辺側の膜沈み量１１１Ｄの大きさを測定する。コントローラ６３は、センサー５７に制御信号を送信し、この制御信号によって、センサー５７の位置やレーザー照射のタイミング等が制御される。センサー５７の測定データは、コントローラ６３を介してコンピュータ６５に送信される。コンピュータ６５は、コントローラ６３を制御すると共に、コントローラ６３を介して送信された上記測定データから、長辺側の膜沈み量１１１Ｄの値を計算する。また、他方の第１基準点１１１についても同様に長辺側の膜沈み量を測定する。そして、一方の第１基準点１１１についての長辺側の膜沈み量と、他方の第１基準点１１１についての長辺側の膜沈み量との平均値を計算し、当該平均値を長辺側の膜沈み量とする。【0069】
短辺側の膜沈み量についても同様に測定を行う。即ち、短辺側の膜沈み量を測定する際は、まず、粘着剤１２及び保護フィルム１３（図７においては図示せず）付ペリクル１を、ペリクル膜１１が略水平となるように枠上のペリクル載置台５０に静置する。そして、ペリクル膜１１における２箇所の第２基準点１１２に、ペリクル膜１１を破かないように軽くマーキングする。ここで、第２基準点１１２は、平面視で（ペリクル膜１１の厚さ方向から見て）ペリクルフレーム１０の辺部の短辺部１０ｂの内縁の中央点１０ｂｃから当該短辺部１０ｂの内縁と直交する方向に３０ｍｍ離れた点である。【0070】
次に、一方の第１基準点１１２に１０．６ｇの重り５５を置いて、当該重りを置く前を基準としたペリクル膜１１の沈み量１１２Ｄ（長辺側の膜沈み量１１２Ｄ）をレーザー変位計によって測定する。より具体的には、重り５５の重心点が一方の第２基準点１１２上に位置するように、重り５５を一方の第２基準点１１２上に載せ、レーザー変形のセンサー５７をスタンド６１によって重り５５の上方に位置するように制御する。そして、センサー５７から重り５５の中央部の孔を通して第２基準点１１２にレーザー光を照射して、ペリクル膜１１の長辺側の膜沈み量１１２Ｄの大きさを測定する。コントローラ６３は、センサー５７に制御信号を送信し、この制御信号によって、センサー５７の位置やレーザー照射のタイミング等が制御される。センサー５７の測定データは、コントローラ６３を介してコンピュータ６５に送信される。コンピュータ６５は、コントローラ６３を制御すると共に、コントローラ６３を介して送信された上記測定データから、長辺側の膜沈み量１１２Ｄの値を計算する。また、他方の第２基準点１１２についても同様に長辺側の膜沈み量を測定する。そして、一方の第２基準点１１２についての短辺側の膜沈み量と、他方の第２基準点１１２についての短辺側の膜沈み量との平均値を計算し、当該平均値を短辺側の膜沈み量とする。【0071】
本実施形態によれば、温度変化を与えることなく、高分子材料からなるペリクル膜１１の膜張力を向上できるので、ペリクル膜１１の物性が変動することを防止でき、当該ペリクル１を利用した露光処理を適正に行うことができる。また、ペリクルフレーム１０や粘着剤１２、ペリクル膜１１などの材質に温度変化に耐え得るものを用いる必要がなく、材質の選択の自由度が広がる。また、温度変化の付与や、温度変化に伴う空調を行う高価な設備が必要なく、その制御プロセスが容易になる。さらに、高温若しくは低温に曝されないため、熱による粘着剤１２等の劣化がなく、ペリクル１の平坦性や寸法精度が確保され、精度の高い露光処理を行うことができる。【0072】
また、本実施形態によれば、膜張力を向上できるので、ペリクル１の大型化によって顕著になるペリクル膜１１の自重による撓みを抑制できる。よって、大型ペリクルであっても、精度の高い露光処理を実現できる。また、露光用基盤への装着時に周囲雰囲気を巻き込んで生じるペリクル膜１１の膨らみも抑制できる。これにより、そのペリクル膜１１の膨らみが戻るまでの待ち時間が減り、製造時間を短縮できる。【0073】
また、本実施形態では、ペリクルフレーム１０の一対の長辺部１０ａ及び一対の短辺部１０ｂの全てを内側に弾性変形させていたが、４辺部のうちの少なくも１辺部を内側に変形させてもよい。そして、ペリクルフレーム１０の内側に変形させる辺部を選択することにより、ペリクル膜１１の長辺方向、若しくは短辺方向の張力を発現させたい方向のみに膜張力を増加させることもでき、ペリクル膜１１が長方形の場合などは長辺方向に強い張力を与えるなど、４方向の張力バランスの均等化を図ることができる。【0074】
さらに、図５の（Ｂ）〜（Ｄ）に示したように、ペリクルフレーム１０の少なくとも１辺が外側に凸となるように湾曲膨出した初期形状を有している場合には、ペリクルフレーム１０の辺部の内側への変形量を大きく確保でき、その分、弾性復元力（膨張力）により元に戻る際の変形量も大きく確保できる。よって、ペリクル膜１１をより強く引っ張ることができ、膜張力をさらに上げることができる。【0075】
また、図５の（Ｂ）〜（Ｄ）に示したペリクルフレーム１０において、ペリクルフレーム１０の外側に凸となるように湾曲膨出した部分を押さえ込むことで、ペリクルフレーム１０の外側への膨出量とペリクルフレーム１０の内側への押さえ込み量を制御することにより、任意の膜張力を発現させることが可能である。そして、押さえ込みはフレームの弾性変形領域であれば任意の力で押さえることが可能であり、ペリクルフレーム１０の外側に凸となる膨出量とペリクルフレーム１０の内側への押さえ込み量とのバランスを取り、ペリクル１の成形後に一対の長辺部１０ａ及び一対の短辺部１０ｂが略直線状になるように調整することが好ましい。【0076】
以上の実施形態において、枠体２０及びペリクルフレーム１０の少なくとも一対の辺部の初期形状における辺部の外側に凸となる膨出量をもつ。更には、前記一対の辺部は長辺側、短辺側のどちらでもよいが、特に長辺側に外側に凸となる膨出量を形成することが好ましい。また、４辺全てに外側に凸となる膨出量を形成しても良い。長辺側の膨出量としては、３ｍｍ以上、２０ｍｍ以下が好ましく、３．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下がより好ましく、更に好ましくは３．８ｍｍ以上１８ｍｍ以下、更に好ましくは４．０ｍｍ以上１５ｍｍ以下である。また短辺側の初期形状における辺部の外側に凸となる膨出量は、２．８ｍｍ以上１５ｍｍ以下、より好ましくは２．９ｍｍ以上１２ｍｍ以下、更に好ましくは３．０ｍｍ以上９ｍｍ以下である。特に、長辺と短辺のそれぞれの対を合わせて外側に凸となる膨出量をもたせる場合の膨出量としては、長辺側の膨出量が２．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であって短辺側の膨出量が０．５ｍｍ以上１５ｍｍ以下であることが好ましく、長辺側の膨出量が３．０ｍｍ以上１８ｍｍ以下であって短辺側の膨出量が１．０ｍｍ以上１２ｍｍ以下であることがよりに好ましく、長辺側の膨出量が３．５ｍｍ以上１５ｍｍ以下であって短辺側の膨出量が１．５ｍｍ以上９ｍｍ以下であることが更に好ましい。なお、図９に示すように、この膨出量Ｓは、ペリクルフレーム１０又は枠体２０の各辺部の角部における外縁の頂点Ｃ同士をつないだ直線を仮想の基準線Ｌとした際の、該辺の外縁上における前記基準線から最も離れた点Ｐと前記基準線Ｌとの距離とする。【0077】
初期形状としては、外側に凸となる膨出量をもてばどのような形状でもよいが、図９のように中央付近に膨出量をもつことが好ましい。頂点Ｃから徐々に外側に凸となってもよいし、頂点Ｃからある程度の直線を持ってから、外側に凸となってもよい。【0078】
また、ペリクルフレーム１０の角部の外縁の曲率半径Ｒは、１ｍｍ以上、５ｍｍ以下であることが好ましく、２ｍｍ以上、５ｍｍ以下であることがより好ましい。当該角部の内縁の曲率半径Ｒは、１ｍｍ以上、３ｍｍ以下であることが好ましく、２ｍｍであることが最も好ましい。何故なら、ペリクルフレーム１０を細幅にした場合であっても、ペリクルフレーム１０の角部の外縁及び内縁の曲率半径が上記範囲内であれば、当該角部に応力が集中することを回避しつつ、当該角部に十分な面積を持たせることができる。その結果、当該角部の剛性を保つことができ、ペリクルフレーム１０に復元力を持たせた場合においても当該角部の形状を維持できるため、ペリクルフレーム１０の形状が、矩形形状から平行四辺形状等の他の形状に歪み難くなり、形状の変形に起因してペリクル膜にシワが生じることを抑制することができるからである。【0079】
また、ペリクルフレーム１０に膜接着剤又はマスク粘着材を塗布する場合においては、ペリクルフレーム１０の角部への塗布量が増える傾向にあるが、ペリクルフレーム１０の角部の外縁及び内縁の曲率半径が上記範囲内であれば接着剤ダレ等を生じ難くなるため、膜接着剤又はマスク粘着材をペリクルフレーム１０に均一に塗布でき好ましい。【0080】
また、ペリクル枠体の表面に、黒色クロムメッキ、黒色アルマイト、黒色塗装等の黒色化処理を施すことも出来る。【0081】
フレームにはハンドリング用の溝を設けることができ、１対の短辺の全長に沿って設ける場合や４辺に部分的に溝を設ける場合などがある。この溝には、Ｃ面が設けられておりバリ取り等のためにＣ０．１〜０．５が設けられる場合がある。【0082】
フレームの膜接着剤側において、外側面及び内側面とのなす角には、Ｃ面が設けられている。外側面とのなす角のＣ面は、Ｃ０．１〜０．５あり、内側面とのなす角のＣ面は、Ｃ０．５〜２．５が設けられている。外側面のＣ面が上記範囲内にあると、余剰分の膜をカッティングする場合にカッターや冶具等が滑らかにいきバリ等の発生で膜が破れない為好ましい。また、内側面のＣ面が上記範囲内にあると、膜接着剤が垂れにくいために好ましい。【0083】
この中で、黒色アルマイト処理についてさらに説明する。【0084】
ペリクル用の枠体（支持枠）としては一般に５０００系のアルミニウム合金を用いることが多いので、アルミニウム合金を例に挙げて説明する。【0085】
一般的な黒色アルマイト処理は、アルミニウム合金でペリクル枠体を成形後、アルマイト処理し、この処理により発生した微細な孔を黒色化剤で封入処理し、そしてその微細孔をふさぐ封孔処理を施して黒色アルマイト処理がなされる。しかし、このようにして一般的な方法で作られた枠体の表面を、電子顕微鏡で観察すると、細かいひびわれ（マイクロクラック）の発生が確認される。このようなマイクロクラックはパターンの微細化が進展し、配線幅が一層狭くなると、該クラックに入り込んだ極小さい異物の落下も問題となる。そこで、このようなマイクロクラックの発生を防止する方法として以下のような方法をとることが好ましい。【0086】
先ず、ペリクル枠体の表面をアルマイト処理する。このアルマイト処理は、硫酸濃度１０〜２０％、電流密度１〜２Ａ／ｄｍ２、電解液温度１５〜３０℃、通電時間１０〜３０分の範囲で行われる。その際、合金の表面にはミクロな孔（直径５０〜２００Å、ピッチ５００〜１５００Å）が規則正しく多数形成される。その後、この孔を使って黒色化処理を行う。黒色化処理は枠からの光の反射を防止するために行うので黒色に限らず黒に近い、茶色や紺色等の濃い色も含むものである。黒色化処理には、染色、電解着色等が挙げられる。染色は、黒色の染料を溶解した液の中に浸漬することでこの孔に染料を吸着させ色調を得る方法であり、また、電解着色は、この孔に電気的に金属元素を析出させ色調を得る方法である。染色は例えば、染料濃度３〜１０ｇ／Ｌ、染色液温度５０〜６５℃にて行う。【0087】
続いて、この孔を塞ぐ封孔処理が施される。この処理には、例えば低温封孔剤とよばれる日華化学工業（株）製ハードウォール３（商品名）封孔助剤６〜１２ｇ／Ｌを加えた煮沸水が使われる。【0088】
この時の封孔によりアルマイト膜表面の微細な孔が埋められアルマイト膜は緻密になっていくのであるが、封孔の温度を１００℃より若干低い温度、例えば７０〜９５℃、より好ましくは８０〜９０℃で封孔処理を行えば、極めて均一な表面性を有し、実質的にマイクロクラックのないペリクル枠体を作ることができる。【0089】
尚、マイクロクラックの有無の判断は、枠体表面を電子顕微鏡にて１０００倍に拡大した写真において１０ｃｍ（実寸法０．１ｍｍ）の直線を引き、その直線に交差するクラック数を計算する。クラックの幅は、その電子顕微鏡写真で観察できるもの、即ちクラック幅０．１μｍ以上のものを計数する。この数値が多いほどクラックが高密度で存在すると判断する。【0090】
必要に応じてペリクル枠体の内壁面又は全面に、異物を補足するための粘着材（アクリル系、酢酸ビニル系、シリコーン系、ゴム系等）やグリース（シリコーン系、フッ素系等）を塗布しても良い。【0091】
また、必要に応じてペリクル枠体の内部と外部を貫通する微細な穴を開けて、ペリクルとフォトマスクで形成された空間の内外の気圧差がなくなるようにすると、膜の膨らみや凹みを防止出来る。【0092】
また、この時、微細な穴の外側に異物除去フィルターを取り付けると、気圧調整が可能な上、ペリクルとフォトマスクで形成された空間の中に異物が侵入することを防げるので好ましい。【0093】
ペリクルとフォトマスクで形成された空間容積が大きい場合には、これらの穴やフィルターを複数個設けると、気圧変動による膜の膨らみや凹みの回復時間が短くなり、好ましい。【0094】
本実施形態のペリクル枠体は、上記の要件を満足することで適度な剛性と柔軟性を兼ね備えることが可能となるため、ペリクル膜を展張することによる枠体の歪がなく、ペリクルを単独でハンドリングする場合の撓みはもちろん、その後の、マスクへの貼り付け後のハンドリングにおけるマスク自身の撓みにも追従することが可能である。その結果、ペリクルにシワが生じず、かつ、マスクの撓みにも追従できるので、エアパスが生じることもないといった優れた効果を奏するものである。【0095】
本実施形態に係るペリクル膜１１は、開口部Ｆを有するペリクルフレーム１０にその開口面Ｆを覆うように貼り付けられているが、張り付けられたペリクル膜１１の張力が、１．８ｇｆ／ｍｍ以上、６ｇｆ／ｍｍ以下であることが好ましいく、１．９ｇｆ／ｍｍ以上、５ｇｆ／ｍｍ以下であることがより好ましく、２．０ｇｆ／ｍｍ以上、４．５ｇｆ／ｍｍ以下であることが更に好ましい。【0096】
ペリクル膜１１の張力を上記範囲における下限値以上に調整することで、ペリクル１のハンドリング時にペリクル膜１１に膜シワが生じること等が抑制され、ペリクル１のハンドリング性が向上する。また、ペリクル膜１１の張力を上記範囲における上限値以下に調整することで、ペリクル膜１１の亀裂や破損を有効に抑制することができる。【0097】
ペリクル膜とペリクル枠体とを接着するための膜接着剤は、ペリクル膜の材質とペリクル枠体の材質によって適宜選択する。たとえば、エポキシ系、アクリル系、シリコーン系、フッ素系等の接着剤が使用される。【0098】
また、接着剤の硬化方法は夫々の接着剤に適した硬化方法（熱硬化、光硬化、嫌気性硬化等）が採用される。発塵性、コスト、作業性の面から、アクリル系の紫外線硬化型接着剤が好ましい。【0099】
ペリクル枠体をフォトマスクに貼り付けるためのマスク粘着材には、それ自身に粘着力のあるホットメルト系（ゴム系、アクリル系）、基材の両面に粘着材を塗布したテープ系（基材としてアクリル系、PVC系等のシートあるいはゴム系、ポリオレフィン系、ウレタン系等のフォーム等が適用出来、粘着材としてゴム系、アクリル系、シリコーン系等の粘着材が適用される）等が使用される。また、粘着材は透明でも良いが、異物検査性の観点から、黒色でも良い。【0100】
本実施形態に係る大型ペリクルでは、マスク粘着材として、ペリクルをフォトマスクに低荷重で均一に貼り付けるために、比較的柔らかいホットメルト材料やフォームが好適である。フォームの場合は、その断面にアクリル系や酢酸ビニル系の粘着性材料あるいは非粘着性材料で覆うことにより、フォームからの発塵を防ぐことが出来る。【0101】
マスク粘着材の厚さは通常０．２ｍｍ以上とされるが、フォトマスクへの均一な貼付のために、好ましくは１ｍｍ以上とされる。上記マスク粘着材の粘着面をフォトマスクに貼り付けるまでの間保護するために、シリコーンやフッ素で離型処理されたポリエステルフィルムが使用される。【0102】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。（実施例）
（実施例１）
【0103】
大型ペリクル用の枠体として、材質がアルミニウム合金、厚みが８ｍｍ、長辺部及び短辺部の幅が２０ｍｍ、内寸が１６００ｍｍ×１６００ｍｍのものを用意した。当該枠体は、各辺部の中央付近を外側に凸となるように湾曲膨出した形状とし、初期形状の外側への膨出量を３．３ｍｍとした。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．０ｍｍ、長辺部及び短辺部の幅が９ｍｍ、内寸が１３５０ｍｍ×１１４０ｍｍで、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が９．０ｍｍ、短辺部側が７．５ｍｍのものを用意した。【0104】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体の各辺部が略直線状になるように治具を用いて各辺部の中央付近を内側に向けて押さえ込みながら、当該枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。基板から剥離後、治具による外力を開放した。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面にスチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの各辺部が略直線状になるように冶具で各辺部の中央付近を内側に向けて押さえ込みながら、ペリクルフレーム１０にペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0105】
ここで、ペリクル膜をペリクル枠体に展張して接着された時に発生するシワの有無を評価した。評価結果を図１０に示す。評価結果の表記において、「○」は、膜に全くシワがない状態、「△」は、膜をよくみると少し波打っている状態、「×」は、膜に少しシワが入っている状態、を示している。【0106】
また、ペリクル枠体のハンドリングは、一対の短辺部の各々の一部をハンドリング治具にて把持することにより実施した。そして、ペリクル膜のペリクル枠体への展張・接着後から収納容器への保管までの一連のハンドリング工程において、ハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。評価結果の表記において、「○」は、一回もハンドリング工程で冶具から脱落しなかった、「×」は、一回でもハンドリング工程で冶具から脱落した、を示している。（実施例２）
【0107】
大型ペリクル用の枠体として、材質がアルミニウム合金、厚みが８ｍｍ、長辺と短辺の幅が２０ｍｍ、内寸が１６００ｍｍ×１６００ｍｍのものを用意した。枠体は、各辺部が直線状の初期形状のものを用いた。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．０ｍｍ、長辺部及び短辺部の幅が９ｍｍ、内寸が１３５０ｍｍ×１１４０ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が８．０ｍｍ、短辺部側が６．５ｍｍのものを用意した。【0108】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の外側への膨出量が５ｍｍになるように治具で長辺部の中央を内側に向けて押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0110】
大型ペリクル用のペリクルフレームとして、内寸が１２００ｍｍ×７６０ｍｍ、厚さ５ｍｍ、長辺部の幅が９ｍｍ、短辺部の幅が５ｍｍ、長辺部の初期形状の外側への膨出量が５．５ｍｍのものを用い、長辺部の外側への膨出量が３ｍｍになるように長辺部の中央付近を治具で内側に向けて押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。それ以外は、実施例２と同様とした。【0112】
大型ペリクル用の枠体として、材質がアルミニウム合金、厚みが８ｍｍ、長辺と短辺の幅が２０ｍｍ、内寸が１６００ｍｍ×１６００ｍｍのものを用意した。枠体は、各辺部が直線状の初期形状のものを用いた。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ５、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が６ｍｍ、短辺部の幅が１２ｍｍ、内寸が１３３６ｍｍ×１１２８ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が１３．０ｍｍ、短辺部側が１．５ｍｍのものを用意した。【0113】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から１．２ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込み（図９のＰから１．２ｍｍＬ直線側に押えこむ状態）、短辺部は膨出部を冶具で固定しながら（図のＰで冶具を固定する）ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0114】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、実施例４におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は２．２３ｍｍ、短辺側の膜沈み量は２．０６ｍｍであった。（実施例５）
【0115】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ２、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が７ｍｍ、短辺部の幅が６ｍｍ、内寸が１３４８ｍｍ×１１２６ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が９．０ｍｍ、短辺部側が８．０ｍｍのものを用意した。【0116】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から１．２ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、また、短辺部も膨出部から１．２ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0117】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、実施例５におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は２．１５ｍｍ、短辺側の膜沈み量は１．８９ｍｍであった。（実施例６）
【0118】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ３、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が９ｍｍ、短辺部の幅が９ｍｍ、内寸が１３４２ｍｍ×１１２２ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が５．０ｍｍ、短辺部側が４．０ｍｍのものを用意した。【0119】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの短辺部も膨出部から４．６ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、長辺部は何もしない状態で、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0120】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、実施例６におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は１．４１ｍｍ、短辺側の膜沈み量は１．５１ｍｍであった。（実施例７）
【0121】
大型ペリクル用の枠体として実施例４と同様の枠体を用意した。枠体は、各辺部が直線状の初期形状のものを用いた。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ５、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が１２ｍｍ、短辺部の幅が４ｍｍ、内寸が１３５２ｍｍ×１１１６ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が３．０ｍｍ、短辺部側が１２．０ｍｍのものを用意した。【0122】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部を冶具で固定し、また、短辺部は膨出部から４．６ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0123】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、実施例７におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は１．５４ｍｍ、短辺側の膜沈み量は１．４５ｍｍであった。（実施例８）
【0124】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ４、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が１１ｍｍ、短辺部の幅が７ｍｍ、内寸が１３４６ｍｍ×１１１８ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が５．０ｍｍ、短辺部側が６．０ｍｍのものを用意した。【0125】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から２．３ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、また、短辺部も膨出部から１．２ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0126】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、実施例８におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は１．４６ｍｍ、短辺側の膜沈み量は１．７６ｍｍであった。（実施例９）
【0127】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ４、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が１０ｍｍ、短辺部の幅が１１ｍｍ、内寸が１３３８ｍｍ×１１２０ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が４．０ｍｍ、短辺部側が４．０ｍｍのものを用意した。【0128】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から１．２ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、また、短辺部も膨出部から２．３ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0129】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、実施例９におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は１．０５ｍｍ、短辺側の膜沈み量は０．８９ｍｍであった。（実施例１０）
【0130】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ５．５、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が１１ｍｍ、短辺部の幅が１０ｍｍ、内寸が１３４０ｍｍ×１１１８ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が７．５ｍｍ、短辺部側が３．０ｍｍのものを用意した。【0131】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から４．６ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、また、短辺部も膨出部から１．２ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0132】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、実施例１０におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は１．００ｍｍ、短辺側の膜沈み量は０．９５ｍｍであった。（実施例１１）
【0133】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ３、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が１１ｍｍ、短辺部の幅が５ｍｍ、内寸が１３５０ｍｍ×１１１８ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が５．０ｍｍ、短辺部側が１４．０ｍｍのものを用意した。【0134】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から２．３ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、また、短辺部も膨出部から７．０ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0135】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、実施例１１におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は１．６７ｍｍ、短辺側の膜沈み量は１．９８ｍｍであった。（比較例１）
【0136】
実施例１で使用した大型ペリクル用の枠体を用い、大型ペリクル用の枠体の長辺部の中央を押さえ込まないでペリクル膜を枠体に接着した。それ以外は、実施例１と同様とした。その結果、ペリクルフレームのコーナー部付近に湾曲部が残る形状になり、角部が変形したため、外観に不具合が生じた。【0138】
実施例２で使用した大型ペリクル用の枠体を用い、大型ペリクル用のペリクルフレームの長辺部を内側に向けて押さえ込まないでペリクル膜をペリクルフレームに接着した。それ以外は、実施例２と同様とした。その結果、ペリクルフレームのコーナー部付近に湾曲部が残る形状になり、角部が変形したため、外観に不具合が生じた。【0140】
実施例３で使用した大型ペリクル用の枠体で、長辺部の初期形状の膨出量を０ｍｍにしたものを用い、大型ペリクル用のペリクルフレームの長辺部を押さえ込まないでペリクル膜をペリクルフレームに接着した。それ以外は、実施例３と同様とした。その結果、ペリクルフレームのコーナー部付近に湾曲部が残る形状になり、角部が変形したため、外観に不具合が生じた。【0142】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ９、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が９ｍｍ、短辺部の幅が１０ｍｍ、内寸が１３４０ｍｍ×１１２２ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が２．３ｍｍ、短辺部側が１．５ｍｍのものを用意した。そして、この大型ペリクル用のペリクルフレームの長辺部及び短辺部を押さえ込まないでペリクル膜をペリクルフレームに接着した。【0143】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。また、比較例４におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は２．７８ｍｍ、短辺側の膜沈み量は２．３７ｍｍであった。（比較例５）
【0144】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ６、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が４ｍｍ、短辺部の幅が４ｍｍ、内寸が１３５２ｍｍ×１１３２ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が３０．０ｍｍ、短辺部側が２２．０ｍｍのものを用意した。【0145】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から７．０ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、また、短辺部も膨出部から７．０ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0146】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。本比較例においては、ペリクルフレームが略四角形にはならなかった。また、比較例４におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は２．７８ｍｍ、短辺側の膜沈み量は２．３７ｍｍであった。
（比較例６）
【0147】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ５、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が９ｍｍ、短辺部の幅が７ｍｍ、内寸が１３４６ｍｍ×１１２２ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が８．０ｍｍ、短辺部側が７．０ｍｍのものを用意した。【0148】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの短辺部も膨出部から１．２ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、長辺部は何もしない状態で、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0149】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。本比較例においては、大型ペリクルのハンドリング時にペリクル膜に自重撓みが発生した。また、比較例４におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は２．５３ｍｍ、短辺側の膜沈み量は２．２１ｍｍであった。（比較例７〕
【0150】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ６、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が８ｍｍ、短辺部の幅が７ｍｍ、内寸が１３４６ｍｍ×１１２４ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が９．０ｍｍ、短辺部側が８．０ｍｍのものを用意した。【0151】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から２．３ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、短辺部は何もしない状態で、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0152】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。本比較例においては、大型ペリクルのハンドリング時にペリクルフレームの短辺部にジグが当たり、ジグが当たった部分に隣接するペリクル膜の部分にシワが発生した。また、比較例４におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は１．９７ｍｍ、短辺側の膜沈み量は２．３５ｍｍであった。（比較例８）
【0153】
大型ペリクル用の枠体として、実施例４と同様の枠体を用意した。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さが５．５ｍｍ、角部は外側コーナーＲ５、内側コーナーＲ２とし、長辺部の幅が８ｍｍ、短辺部の幅が１０ｍｍ、内寸が１３４０ｍｍ×１１２４ｍｍ、各辺部の中央付近が外側に凸となるように湾曲膨出した形状で、初期形状の外側への膨出量として、長辺部側が１５．０ｍｍ、短辺部側が４．０ｍｍのものを用意した。【0154】
大型ペリクルは、次のように製造した。大型ペリクル用の枠体に、基板上に成膜したセルロースエステルのペリクル膜に接着させ、その後基板からペリクル膜を剥離させた。大型ペリクル用のペリクルフレームの下縁面には、スチレンエチレンブチレンスチレン系のマスク粘着材を塗布した。ペリクルフレームの上縁面には、アクリル系の膜接着剤を塗布し、ペリクルフレームの長辺部の膨出部から７．０ｍｍ内側に向けて冶具で押さえ込みながら、短辺部は何もしない状態で、ペリクルフレームにペリクル膜を接着し、その後、余剰膜を切除した。【0155】
実施例１と同様に、シワの有無とハンドリング性を評価した。評価結果を図１０に示す。本比較例においては、ペリクルフレームの短辺部近傍のペリクル膜にシワが発生した。また、比較例４におけるペリクル膜の長辺側の膜沈み量は１．３５ｍｍ、短辺側の膜沈み量は１．８ｍｍであった。【符号の説明】
【0156】
１…ペリクル、１０…ペリクルフレーム、１０ａ…長辺部、１０ｂ…短辺部、１１…ペリクル膜、１２…粘着剤、１３…保護フィルム、２０…枠体、２０ａ…長辺部、２０ｂ…短辺部、３０…基板、Ｆ…開口部、Ｇ…開口部、Ｓ…膨出量。