特許5876927ペリクル及びペリクルフレーム並びにペリクルの製造方法

発明の名称　ペリクル及びペリクルフレーム並びにペリクルの製造方法

出願人　旭化成イーマテリアルズ株式会社　（識別番号 309002329）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5876927

公報発行日　2016年3月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5876927

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