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特許5877954非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置
発明の名称 非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置
出願人 株式会社ゼビオス （識別番号 599034398）
特許公開件数ランキング 8090 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 6699 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ダン科学 （識別番号 506306536）
特許公開件数ランキング 8090 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 6699 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社三明 （識別番号 591285549）
特許公開件数ランキング 8090 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 6699 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5877954
公報発行日 2016年3月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5877954
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