特許 5878876 真空ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5878876

(24)【登録日】2016年2月5日

(45)【発行日】2016年3月8日

(54)【発明の名称】真空ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20160223BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 D

【請求項の数】4

【全頁数】26

(21)【出願番号】特願2012-547735(P2012-547735)

(86)(22)【出願日】2011年10月18日

(86)【国際出願番号】JP2011073911

(87)【国際公開番号】WO2012077411

(87)【国際公開日】20120614

【審査請求日】2014年8月8日

(31)【優先権主張番号】特願2010-275528(P2010-275528)

(32)【優先日】2010年12月10日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】508275939

【氏名又は名称】エドワーズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091225

【弁理士】

【氏名又は名称】仲野 均

(74)【代理人】

【識別番号】100096655

【弁理士】

【氏名又は名称】川井 隆

(72)【発明者】

【氏名】川西 伸治

(72)【発明者】

【氏名】須藤 隆

【審査官】 後藤 泰輔

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−１７２２８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０１−０９１０９６（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

吸気口と排気口が形成された外装体と、
前記外装体の内側側面に配設される固定部と、
前記外装体に内包され、回転自在に軸支された回転軸と、
前記回転軸に固定されるロータ部と、
前記ロータ部の外周面から放射状に配設された回転翼、及び、前記固定部の内側側面から前記回転軸へ向かって突設して配設された固定翼を有し、前記回転翼と前記固定翼との相互作用により前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する第１気体移送機構と、
前記第１気体移送機構の前記排気口側に配設され、前記ロータ部と前記固定部との対向面のいずれか一方にねじ溝を有し、前記吸気口から吸気した気体を、前記排気口へ移送し、前記ねじ溝に形成されたねじ溝凸面と当該ねじ溝凸面に対向する対向面との間にクリアランスを形成する第２気体移送機構と、を備え、
前記第２気体移送機構は、前記クリアランスの一部が、前記ねじ溝の前記吸気口側に形成されたねじ溝凸面と当該ねじ溝凸面に対向する対向面とのクリアランスよりも大きく形成された構造を持つ、生成物接触回避構造を有し、前記生成物接触回避構造は、前記第２気体移送機構において、前記排気口側から前記吸気口側へ向かって、前記第２気体移送機構の軸線方向１／２までの範囲に形成された各前記ねじ溝凸面を削った構造を持つことを特徴とする真空ポンプ。

【請求項2】

前記生成物接触回避構造は、前記吸気口側に形成されたねじ溝凸面から前記排気口側に形成されたねじ溝凸面へ向かう方向に従って、各前記ねじ溝凸面の削り量を段階的に増やして各ねじ溝凸面を削った構造を持つことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

吸気口と排気口が形成された外装体と、
前記外装体の内側側面に配設される固定部と、
前記外装体に内包され、回転自在に軸支された回転軸と、
前記回転軸に固定されるロータ部と、
前記ロータ部の外周面から放射状に配設された回転翼、及び、前記固定部の内側側面から前記回転軸へ向かって突設して配設された固定翼を有し、前記回転翼と前記固定翼との相互作用により前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する第１気体移送機構と、
前記第１気体移送機構の前記排気口側に配設され、前記ロータ部と前記固定部との対向面のいずれか一方にねじ溝を有し、前記吸気口から吸気した気体を、前記排気口へ移送し、前記ねじ溝に形成されたねじ溝凸面と当該ねじ溝凸面に対向する対向面との間にクリアランスを形成する第２気体移送機構と、を備え、
前記第２気体移送機構は、前記クリアランスの一部が、前記ねじ溝の前記吸気口側に形成されたねじ溝凸面と当該ねじ溝凸面に対向する対向面とのクリアランスよりも大きく形成された構造を持つ、生成物接触回避構造を有し、前記生成物接触回避構造は、前記第２気体移送機構において、前記排気口側から前記吸気口側へ向かって、前記第２気体移送機構の軸線方向１／２までの範囲に形成された前記ねじ溝に対向する対向面を削った構造を持つことを特徴とする真空ポンプ。

【請求項4】

前記生成物接触回避構造は、前記吸気口側から前記排気口側へ向かう方向に従って、前記ねじ溝に対向する対向面の削り量を段階的に増やして前記対向面を削った構造を持つことを特徴とする請求項１から請求項３のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は真空ポンプに関する。詳しくは、ねじ溝式ポンプ部を備えた複合型ターボ分子ポンプにおいて、ねじ溝部の下側における固定部と回転部との隙間（間隙、クリアランス）を変更する真空ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

各種ある真空ポンプのうち、高真空の環境を実現するために多用されるものにターボ分子ポンプやねじ溝式ポンプがある。
ターボ分子ポンプやねじ溝式ポンプなどの真空ポンプを用いて排気処理を行うことで内部が真空に保たれる真空装置には、半導体製造装置用のチャンバ、電子顕微鏡の測定室、表面分析装置、微細加工装置などがある。
この高真空の環境を実現する真空ポンプは、吸気口及び排気口を備えた外装体を形成するケーシングを備えている。そして、このケーシングの内部には、当該真空ポンプに排気機能を発揮させる構造物が収納されている。この排気機能を発揮させる構造物は、大きく分けて、回転自在に軸支された回転部（ロータ部）とケーシングに対して固定された固定部（ステータ部）から構成されている。
ターボ分子ポンプの場合、回転部は、回転軸及びこの回転軸に固定されている回転体からなり、回転体には、放射状に設けられたロータ翼（動翼）が多段に配設されている。また、固定部には、ロータ翼に対して互い違いにステータ翼（静翼）が多段に配設されている。
また、回転軸を高速回転させるためのモータが設けられており、このモータの働きにより回転軸が高速回転すると、ロータ翼とステータ翼との相互作用により気体が吸気口から吸引され、排気口から排出されるようになっている。

【0003】

ところで、こうしたターボ分子ポンプやねじ溝式ポンプなどの真空ポンプには、例えば半導体製造装置用のチャンバにおいて生じた反応生成物からなる微粒子など、真空容器内で生じたパーティクル（例えば、数μ〜数百μｍサイズの粒子）を含んだ排気ガスも吸気口から取り込まれる。
真空ポンプに配設される真空装置のプロセスによっては、このパーティクルと呼ばれる浮遊物が真空ポンプの内部に生成物（堆積物）として付着してしまうことが不可避的に発生していた。また、このように排出される排気ガスも、昇華曲線（蒸気圧曲線）に応じて固化し生成物となる場合がある。特に、ガスの圧力が高い排気口近傍に、こうした生成物が堆積して固体化してしまうことが多かった。
こうした排気口付近への生成物の堆積が進行すると、ガス流路が狭くなり背圧が高くなる。その結果、真空ポンプの排気性能は著しく低下してしまう。

【0004】

また、真空ポンプの回転体は、一般的に、アルミニウム合金などの金属材料で製造されており、その回転数は通常２００００ｒｐｍ〜９００００ｒｐｍであり、回転翼の先端での周速度は２００ｍ／ｓ〜４００ｍ／ｓに達する。そのため、真空ポンプのロータ部（特にロータ翼）が熱膨張したり、使用時間の経過に伴い径方向に歪みを生じるクリープという現象が生じることがある。こうした真空ポンプの熱膨張やクリープ現象は、回転体における上側（吸気口側）よりも下側（排気口側）で、膨張や歪みの程度がより大きいため、膨張した回転体と、堆積した生成物とが、特に排気口側で接触してしまうことがあった。
また、例えば、真空ポンプに配設される装置が半導体製造装置用のチャンバである場合、半導体製造用のウェハの主原料はケイ素であることから、堆積した生成物は、アルミニウム合金で製造される回転体よりも硬い。そして、そうした生成物が、上述のように高速回転する回転体と接触すると、硬度が小さい方の回転体が破損し、最悪の場合は真空ポンプの機能が停止してしまうおそれがあった。

【0005】

このように、真空ポンプ内において、ガスの圧力や温度が高い排気口近傍に堆積した生成物に、真空ポンプの一部が接触することで、真空ポンプに、性能の低下や回転翼の破損といった問題が生じるため、付着した生物を除去するために、装置を一旦分解して丹念に洗浄するオーバーホールを定期的に行うことが必要であった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００３−２８６９９２公報

【0007】

従来、上述したクリープ現象に対処する目的で、ロータと静止壁との間の隙間（クリアランス）をケーシング外部から調整する技術が提案されている。
特許文献１には、ケーシング内に動翼と静翼よりなる軸流段部と、ねじ溝ロータ部とシールリングよりなるねじ溝段部とを設け、ねじ溝ロータ部とシールリングの間に最小隙間を確保したターボ分子ポンプにおいて、当該隙間を介して径方向に対向する部分をテーパ状に形成し、シールリングをケーシング外部から軸方向に移動することで当該隙間を調整する隙間調整手段を設けたターボ分子ポンプが開示されている。
この、ねじ溝ロータ部とシールリングを軸方向に相対移動する構成によって、ねじ溝ロータ部とシールリング間の隙間の大きさを調整、管理することで、ターボ分子ポンプのロータが変形して静止壁（シールリング）と接触する事故を回避し、ターボ分子ポンプの寿命を延ばすようにしている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、特許文献１では、ねじ溝ロータ部とシールリングの隙間の調整が、ねじ溝ロータ部の全面にわたって軸方向全面に相対移動する構成になっているため、本来調整の必要がない部分（即ち、ねじ溝ロータ部の上側；吸気口側の部分）まで、ねじ溝ロータ部とシールリングの隙間を大きくしてしまう。
ところが、上述したように、生成物が堆積しやすいのは圧力が高い部分（例えば、ねじ溝式ポンプ部のねじ溝スペーサの下側）であることから、特許文献１のように、生成物が堆積する部分の隙間を広げる目的で、軸方向全面にわたって相対的に移動させてしまうと、軸方向において一定間隔で隙間が広がり、その結果、生成物がほとんど堆積しない部分（例えば、ねじ溝式ポンプ部のねじ溝スペーサの上側）の隙間までもが大きくなってしまう。その結果、真空ポンプの性能が必要以上に低下してしまうおそれがある。

【0009】

そこで、本発明は、真空ポンプにおいて、生成物が堆積しやすい部分（即ち、ねじ溝式ポンプ部の下側で、圧力が高く堆積物が溜まりやすい範囲）のクリアランスのみを大きくすることで、真空ポンプの性能は可能な限り保ったまま、堆積した生成物が回転体に接触するまでの期間を延ばす真空ポンプを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

請求項１記載の発明では、吸気口と排気口が形成された外装体と、前記外装体の内側側面に配設される固定部と、前記外装体に内包され、回転自在に軸支された回転軸と、前記回転軸に固定されるロータ部と、前記ロータ部の外周面から放射状に配設された回転翼、及び、前記固定部の内側側面から前記回転軸へ向かって突設して配設された固定翼を有し、前記回転翼と前記固定翼との相互作用により前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する第１気体移送機構と、前記第１気体移送機構の前記排気口側に配設され、前記ロータ部と前記固定部との対向面のいずれか一方にねじ溝を有し、前記吸気口から吸気した気体を、前記排気口へ移送し、前記ねじ溝に形成されたねじ溝凸面と当該ねじ溝凸面に対向する対向面との間にクリアランスを形成する第２気体移送機構と、を備え、前記第２気体移送機構は、前記クリアランスの一部が、前記ねじ溝の前記吸気口側に形成されたねじ溝凸面と当該ねじ溝凸面に対向する対向面とのクリアランスよりも大きく形成された構造を持つ、生成物接触回避構造を有し、前記生成物接触回避構造は、前記第２気体移送機構において、前記排気口側から前記吸気口側へ向かって、前記第２気体移送機構の軸線方向１／２までの範囲に形成された各前記ねじ溝凸面を削った構造を持つことを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項２記載の発明では、前記生成物接触回避構造は、前記吸気口側に形成されたねじ溝凸面から前記排気口側に形成されたねじ溝凸面へ向かう方向に従って、各前記ねじ溝凸面の削り量を段階的に増やして各ねじ溝凸面を削った構造を持つことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の発明では、吸気口と排気口が形成された外装体と、前記外装体の内側側面に配設される固定部と、前記外装体に内包され、回転自在に軸支された回転軸と、前記回転軸に固定されるロータ部と、前記ロータ部の外周面から放射状に配設された回転翼、及び、前記固定部の内側側面から前記回転軸へ向かって突設して配設された固定翼を有し、前記回転翼と前記固定翼との相互作用により前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する第１気体移送機構と、前記第１気体移送機構の前記排気口側に配設され、前記ロータ部と前記固定部との対向面のいずれか一方にねじ溝を有し、前記吸気口から吸気した気体を、前記排気口へ移送し、前記ねじ溝に形成されたねじ溝凸面と当該ねじ溝凸面に対向する対向面との間にクリアランスを形成する第２気体移送機構と、を備え、前記第２気体移送機構は、前記クリアランスの一部が、前記ねじ溝の前記吸気口側に形成されたねじ溝凸面と当該ねじ溝凸面に対向する対向面とのクリアランスよりも大きく形成された構造を持つ、生成物接触回避構造を有し、前記生成物接触回避構造は、前記第２気体移送機構において、前記排気口側から前記吸気口側へ向かって、前記第２気体移送機構の軸線方向１／２までの範囲に形成された前記ねじ溝に対向する対向面を削った構造を持つことを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項４記載の発明では、前記生成物接触回避構造は、前記吸気口側から前記排気口側へ向かう方向に従って、前記ねじ溝に対向する対向面の削り量を段階的に増やして前記対向面を削った構造を持つことを特徴とする請求項１から請求項３のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、真空ポンプにおいて、ねじ溝が形成されている回転部又は固定部の、当該ねじ溝部分における下部の径寸法のみを変更することで、堆積する生成物と回転部又は固定部とが接触するまでの期間を長くして（真空ポンプの寿命を延ばして）、オーバーホールを実施する間隔を長くした真空ポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造を備えたターボ分子ポンプの概略構成例を示した図である。

【図2】本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図3】本発明の第１実施形態の変形例１に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図4】本発明の第１実施形態の変形例２に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図5】本発明の第１実施形態の変形例３に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図6】本発明の第１実施形態の変形例４に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図7】本発明の第１実施形態の変形例５に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図8】本発明の第１実施形態の変形例６に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図9】本発明の第１実施形態の変形例７に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図10】本発明の第１実施形態の変形例８に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図11】本発明の第２実施形態に係る生成物接触回避構造を備えたターボ分子ポンプの概略構成例を示した図である。

【図12】本発明の第２実施形態に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図13】本発明の第２実施形態の変形例１に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【図14】本発明の第２実施形態の変形例２に係る生成物接触回避構造の一例を示した断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

（ｉ）実施形態の概要
本発明の実施形態の真空ポンプは、ねじ溝式真空ポンプ、或いは、ねじ溝式ポンプ部を備えた複合型ターボ分子ポンプであり、当該真空ポンプの、ねじ溝が形成されている回転翼円筒部又は固定部において、ねじ溝における高い部分（山の部分、つまり、溝ではない部分）にあたる凸面（以後、ねじ溝山面として説明する。）を、軸方向に一定の範囲分だけ全周（ねじ溝の周方向）にわたって所望の量を削る。
なお、削る量については後述する。

【0014】

ここで、ねじ溝は、真空ポンプにおける固定部に形成されている場合と、真空ポンプにおける回転翼円筒部に形成されている場合と、が考え得る。
まず、ねじ溝が固定部に形成されている場合は、回転翼円筒部の外周面と、当該外周面に対向（対面）する固定部（ねじ溝スペーサ）が有するねじ溝山面（ねじ溝凸面）により形成される固定部の内周面と、で形成されるクリアランスのうち、下側（即ち、排気口側）を広げる構造にする。
一方、ねじ溝が回転翼円筒部に形成されている場合は、回転翼円筒部が有するねじ溝山面により形成される外周面と、当該外周面に対面する固定部と、で形成されるクリアランスのうち、下側（排気口側）を部分的に広げる構造にする。つまり、本発明の実施形態の真空ポンプでは、ねじ溝全体で見たときに、ねじ溝のねじ溝谷面が一様の深さを有するのに対し、ねじ溝山面は一様に変化する高さを有する構造にする。

【0015】

より詳しくは、ねじ溝が固定部に形成されている場合は、固定部（ねじ溝スペーサ）の下側の内径寸法を大きくするために、固定部のねじ溝山面を所望の量だけ削る。そうすることで、上述したクリアランスのうち下側（排気口側）を大きくすることができる。
一方、ねじ溝が回転部に形成されている場合は、回転部の下側の外径寸法を小さくするために、回転部のねじ溝山面を所望の量だけ削る。そうすることで、上述したクリアランスのうち下側（排気口側）を大きくすることができる。
或いは、ねじ溝が形成されていない側（即ち、ねじ溝が形成されている固定部又は回転部と対面する面）を所望の量だけ削る。そうすることで、上述したクリアランスのうち下側（排気口側）を大きくすることができる。
このように、各々の場合で、ねじ溝山面、又は、ねじ溝に対面する面を所望の量だけ削ることで、ねじ溝部における下側（排気口側）のクリアランスを部分的に大きくすることができる。
なお、下側の範囲については後述する。

【0016】

（ｉｉ）実施形態の詳細
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１〜図１４を参照して詳細に説明する。
なお、本実施形態では、真空ポンプの一例として、ターボ分子ポンプ部（第１気体移送機構）とねじ溝式ポンプ部（第２気体移送機構）を備えた、いわゆる複合型のターボ分子ポンプを用いて説明する。
まず、第１実施形態として、ねじ溝が固定部に形成されている場合について図１〜図１０を参照して説明し、次に、第２実施形態として、ねじ溝が回転翼円筒部に形成されている場合について図１１〜図１４を参照して説明する。

【0017】

（ｉｉ−１）第１実施形態
まず、ねじ溝が固定部に形成されるターボ分子ポンプについて、図１を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造１０００を備えたターボ分子ポンプ１の概略構成例を示した図である。なお、図１は、ターボ分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
ターボ分子ポンプ１の外装体を形成するケーシング２は、略円筒状の形状をしており、ケーシング２の下部（排気口６側）に設けられたベース３と共にターボ分子ポンプ１の筐体を構成している。そして、この筐体の内部には、ターボ分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。
この気体移送機構は、大きく分けて、回転自在に軸支された回転部と筐体に対して固定された固定部から構成されている。

【0018】

ケーシング２の端部には、当該ターボ分子ポンプ１へ気体を導入するための吸気口４が形成されている。また、ケーシング２の吸気口４側の端面には、外周側へ張り出したフランジ部５が形成されている。
また、ベース３には、当該ターボ分子ポンプ１から気体を排気するための排気口６が形成されている。

【0019】

回転部は、回転軸であるシャフト７、このシャフト７に配設されたロータ８、ロータ８に設けられた複数枚の回転翼９、排気口６側（ねじ溝式ポンプ部）に設けられた筒型回転部材１０などから構成されている。なお、シャフト７及びロータ８によってロータ部が構成されている。
各回転翼９は、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してシャフト７から放射状に伸びたブレードからなる。
また、筒型回転部材１０は、ロータ８の回転軸線と同心の円筒形状をした円筒部材からなる。

【0020】

シャフト７の軸線方向中程には、シャフト７を高速回転させるためのモータ部２０が設けられている。
更に、シャフト７のモータ部２０に対して吸気口４側、および排気口６側には、シャフト７をラジアル方向（径方向）に非接触で軸支するための径方向磁気軸受装置３０、３１、シャフト７の下端には、シャフト７を軸線方向（アキシャル方向）に非接触で軸支するための軸方向磁気軸受装置４０が設けられている。

【0021】

筐体の内周側には、固定部が形成されている。この固定部は、吸気口４側（ターボ分子ポンプ部）に設けられた複数枚の固定翼５０と、ケーシング２の内周面に設けられたねじ溝スペーサ６０などから構成されている。
各固定翼５０は、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して筐体の内周面からシャフト７に向かって伸びたブレードから構成されている。
各段の固定翼５０は、円筒形状をしたスペーサ７０により互いに隔てられて固定されている。
ターボ分子ポンプ部では、固定翼５０と、回転翼９とが互い違いに配置され、軸線方向に複数段形成されている。

【0022】

ねじ溝スペーサ６０には、筒型回転部材１０との対向面にらせん溝が形成されている。
ねじ溝スペーサ６０は、所定のクリアランスを隔てて筒型回転部材１０の外周面に対面しており、筒型回転部材１０が高速回転すると、ターボ分子ポンプ１で圧縮されたガスが筒型回転部材１０の回転に伴ってねじ溝（らせん溝）にガイドされながら排気口６側へ送出されるようになっている。即ち、ねじ溝は、ガスを輸送する流路となっている。ねじ溝スペーサ６０と筒型回転部材１０が所定のクリアランスを隔てて対向することにより、ねじ溝でガスを移送する気体移送機構（第２気体移送機構）を構成している。
なお、ガスが吸気口４側へ逆流する力を低減させるために、このクリアランスは小さければ小さいほど良い。
ねじ溝スペーサ６０に形成されたらせん溝の方向は、らせん溝内をロータ８の回転方向にガスが輸送された場合、排気口６に向かう方向である。
また、らせん溝の深さは、排気口６に近づくにつれて浅くなるようになっており、らせん溝を輸送されるガスは排気口６に近づくにつれて圧縮されるようになっている。このように、吸気口４から吸引されたガスは、ターボ分子ポンプ部で圧縮された後、ねじ溝式ポンプ部で更に圧縮されて排気口６から排出される。

【0023】

また、上述したように、ターボ分子ポンプ１が半導体製造用に使用される場合などは、半導体の製造工程で様々なプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプ１はチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。
これらのプロセスガスは、排気される際に圧力が高い場合だけではなく、冷却されてある温度になると固体になり、排気系に生成物を析出する場合がある。
そして、この種のプロセスガスがターボ分子ポンプ１内で低温となって固体状になり、ターボ分子ポンプ１内部に付着して堆積すると、この堆積物がポンプ流路を狭め、ターボ分子ポンプ１の性能を低下させる原因になる。
この状態を防ぐために、ベース３にサーミスタなどの温度センサ（図示しない）を埋め込み、この温度センサの信号に基づいてベース３の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つように、ヒータ（図示しない）による加熱や水冷管８０による冷却の制御（ＴＭＳ；Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ）が行われている。
このように構成されたターボ分子ポンプ１により、ターボ分子ポンプ１に配設される真空室（図示しない）内の真空排気処理を行うようになっている。

【0024】

ここで、本発明の第１実施形態に係るターボ分子ポンプ１のねじ溝スペーサ６０は、堆積した生成物と、回転部（特に筒型回転部材１０）との接触を遅らせるための生成物接触回避構造１０００を有する。
本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造１０００は、ねじ溝スペーサ６０における圧力が高くなる部分（即ち、排気口６側）に形成される、堆積する生成物を接触回避させるための構造である。この生成物接触回避構造１０００により、堆積した生成物と筒型回転部材１０とが接触するのを一定期間防ぐことができるので、ターボ分子ポンプ１の性能の低下を防ぎ、且つ、ターボ分子ポンプ１が必要とするオーバーホールの実施周期を長くすることが可能になる。

【0025】

図２は、本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造１０００の一例を示した断面図である。
図２に示したように、本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造１０００を有するねじ溝スペーサ６０には、ターボ分子ポンプ１の吸気口４側から排気口６側に向かう方向に、螺旋形状のらせん溝が形成されている。ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａ及びねじ溝谷面６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂ、６５ｂは、軸線方向断面で現れるねじ溝を示す。
また、ねじ溝山面６１ａとねじ溝谷面６１ｂ、ねじ溝山面６２ａとねじ溝谷面６２ｂ、ねじ溝山面６３ａとねじ溝谷面６３ｂ、ねじ溝山面６４ａとねじ溝谷面６４ｂ、及びねじ溝山面６５ａとねじ溝谷面６５ｂによって各々構成されるねじ溝の各々の深さは、ターボ分子ポンプ１の排気口６側へ向かうにつれて次第に浅くなるように形成されている。即ち、ねじ溝山面６１ａとねじ溝谷面６１ｂとで形成されるねじ溝深さは、ねじ溝山面６５ａとねじ溝谷面６５ｂとで形成されるねじ溝深さよりも深い。

【0026】

ここで、本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造１０００を有するねじ溝スペーサ６０では、各ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａのうち、ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、及び６３ａと対面する筒型回転部材１０とのクリアランスはＤ１であり、ねじ溝山面６４ａ及び６５ａと筒型回転部材１０とのクリアランスは、クリアランスＤ１よりも寸法ｄ分大きいクリアランスＷ１になるように形成されている。このクリアランスの差である寸法ｄは、ねじ溝山面６４ａ及び６５ａを寸法ｄ分（ｄと同等の長さ分）削ることで確保することができる。
また、この寸法ｄは、本第１実施形態では０．３５ｍｍ程度としたが、諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定されることが望ましい。

【0027】

このように、本発明の第１実施形態に係るターボ分子ポンプ１では、この生成物接触回避構造１０００を有することにより、ねじ溝スペーサ６０の、下側（排気口６側）に形成されるねじ溝山面６４ａ、６５ａにより構成される内径は、上側（吸気口４側）に形成されるねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａにより構成される内径よりも、寸法ｄ×２の長さ分だけ長くなっている。
この構成により、本発明の第１実施形態に係るターボ分子ポンプ１は、生成物が堆積しやすい部分（即ち、ねじ溝式ポンプ部の下側で、圧力が高く堆積物が溜まりやすい範囲）のクリアランスのみを大きくすることが可能になり、堆積した生成物が筒型回転部材１０又はねじ溝スペーサ６０に接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。
また、ねじ溝式ポンプ部の上側（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）におけるねじ溝山面と筒型回転部材１０とのクリアランスは変更せず、ねじ溝式ポンプ部の下側（即ち、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲）のクリアランスを大きくする構成にしたので、スペーサ６０全体で、ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａと筒型回転部材１０とのクリアランスが大きくなり、当該クリアランス部からガスが逆流して、ターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことを防止することもできる。

【0028】

上記のように説明した本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造は、以下のように様々に変形することが可能である。
（第１実施形態の変形例１）
図３は、本発明の第１実施形態に係る生成物接触回避構造１０００の変形例１である生成物接触回避構造１００１を示した断面図である。
図３に示したように、本発明の第１実施形態の変形例１に係る生成物接触回避構造１００１を有するねじ溝スペーサ６０には、生成物接触回避構造１０００と同様にターボ分子ポンプ１の吸気口４側から排気口６側に向かう方向に、螺旋形状のらせん溝が形成されている。
ここで、本変形例１に係る生成物接触回避構造１００１を有するねじ溝スペーサ６０では、ねじ溝山面６１ａと筒型回転部材１０とのクリアランスはＤ１−１であり、ねじ溝山面６２ａと筒型回転部材１０とのクリアランスは当該クリアランス（Ｄ１−１）よりも大きなクリアランス（Ｄ１−２）であり、ねじ溝山面６３ａと筒型回転部材１０とのクリアランスは当該クリアランス（Ｄ１−２）よりも大きなクリアランス（Ｄ１−３）であり、ねじ溝山面６４ａと筒型回転部材１０とのクリアランスは当該クリアランス（Ｄ１−３）よりも大きなクリアランス（Ｄ１−４）であり、ねじ溝山面６５ａと筒型回転部材１０とのクリアランスは当該クリアランス（Ｄ１−４）よりも大きなクリアランス（Ｄ１−５）であり、このように各クリアランスは全て異なる構成になっている。
つまり、ターボ分子ポンプ１の吸気口４側から排気口６側に向かって、各ねじ溝山面と筒型回転部材１０とのクリアランスが段階的に大きくなるように形成されており、各クリアランスの大きさの関係は、（Ｄ１−１）＜（Ｄ１−２）＜（Ｄ１−３）＜（Ｄ１−４）＜（Ｄ１−５）となる。

【0029】

本変形例１に係る生成物接触回避構造１００１が有するねじ溝スペーサ６０における排気口６側の最下段に形成されるクリアランス（Ｄ１−５）は、吸気口４側の最上段に形成されるクリアランス（Ｄ１−１）よりも、例えば、０．３５ｍｍ程度（諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定することが望ましい）程度大きくなるようにする。
そのために、各ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａは、隣接する２つのねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面６１ａとねじ溝山面６２ａ）において、上段（吸気口４側）に位置する方のねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面６１ａ）よりも下段（排気口６側）に位置する方のねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面６２ａ）を削る量を微増させて段階的に削ることで形成されている。
つまり、本変形例１に係る生成物接触回避構造１００１が有するねじ溝スペーサ６０のねじ溝山面は、排気口６側に向かうに従って多く削り取られる。
その結果、図３に示したように、最下段のねじ溝山面６５ａは最上段のねじ溝山面６１ａに比べてより多く削り取られた寸法ｄ１（ｄ１と同等の長さ）分、対面する筒型回転部材１０とのクリアランスが大きくなる。

【0030】

本変形例１に係る生成物接触回避構造１００１では、ねじ溝スペーサ６０の、下側（排気口６側）に形成されるねじ溝山面６５ａにより構成される内径は、上側（吸気口４側）に形成されるねじ溝山面６１ａにより構成される内径よりも、寸法ｄ１×２の長さ分だけ長くなり、上側から下側にかけて、当該クリアランスは段階的に広がっていく構成になっている。
このように、本変形例１に係る生成物接触回避構造１００１を有するターボ分子ポンプ１は、ねじ溝式ポンプ部の上側（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）から、ねじ溝式ポンプ部の下側（即ち、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲）にかけて、各ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａと筒型回転部材１０とのクリアランスが段階的に大きくなっているので、熱膨張やクリープ現象等により、特に排気口６側に向かう方向に歪みが顕著に生じる筒型回転部材１０と、ねじ溝スペーサ６０に堆積した生成物とが接触するまでの期間、又は、ねじ溝スペーサ６０と、筒型回転部材１０に堆積した生成物とが接触するまでの期間を従来に比べ延ばすことができる。
また、ねじ溝式ポンプ部の上側（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）におけるねじ溝山面と筒型回転部材１０とのクリアランスは変更せず、ねじ溝式ポンプ部の下側（即ち、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲）に向かうに従ってクリアランスを段階的に大きくする構成にしたので、スペーサ６０全体で、ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａと筒型回転部材１０とのクリアランスが大きくなり、当該クリアランス部からガスが逆流して、ターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことを防止することもできる。

【0031】

なお、本変形例１では、各ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａと筒型回転部材１０とのクリアランスを段階的に大きくするように構成したが、これに限られることはない。
例えば、ねじ溝スペーサ６０における軸方向下側（排気口６側）の内径が上側（吸気口４側）の内径よりも広くなる範囲内であれば、ねじ溝山面を上側半分の群と下側半分の群とに分けて、各ねじ溝山面群同士の段差を２段階にする構成にしても良い。即ち、この場合は、ねじ溝スペーサ６０において、各ねじ溝山面群の構成比は軸線方向に１：１になる。
或いは、上側１／３の群と中央１／３の群と下側１／３の群とに分けて、各ねじ溝山面群同士の段差を３段階にする構成にしても良い。即ち、この場合は、ねじ溝スペーサ６０において、各ねじ溝山面群の構成比は軸線方向に１：１：１になる。

【0032】

（第１実施形態の変形例２）
図４は、本発明の第１実施形態の変形例２である生成物接触回避構造１００２を示した断面図である。
図４に示したように、本発明の第１実施形態の変形例２に係るねじ溝スペーサ６０には、ターボ分子ポンプ１の吸気口４側から排気口６側に向かう方向に、螺旋形状のらせん溝が形成されている。
ここで、本変形例２に係る生成物接触回避構造１００２では、当該ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａのうち、吸気口４側に位置するねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、及び６３ａ）は、クリアランスＤ２を隔てて筒型回転部材１００の長外径部１０１と各々対面し、一方、排気口６側に位置するねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面６４ａ及び６５ａ）は、クリアランスＤ２よりも広いクリアランスＷ２を隔てて筒型回転部材１００の短外径部１０２と各々対面している。
このように、本発明の第１実施形態の変形例２に係る筒型回転部材１００の外径は軸方向に一様ではなく、吸気口４側のクリアランス（Ｄ２）よりも排気口６側のクリアランス（Ｗ２）の方が大きくなるように、吸気口４側の外径と排気口６側の外径とが異なるように形成されている。

【0033】

具体的には、本発明の第１実施形態の変形例２に係る筒型回転部材１００は、図４に示したように、生成物が堆積しにくい吸気口４側（例えば、上側半分の範囲）には、ねじ溝山面６１ａとクリアランスＤ２を保って対面する長外径部１０１を、一方、圧力が高く生成物が堆積しやすい排気口６側（例えば、下側半分の範囲）には当該長外径部１０１よりも短い外径を有する短外径部１０２を備えている。
この構成により、本発明の第１実施形態の変形例２に係る生成物接触回避構造１００２は、当該長外径部１０１と短外径部１０２との半径差である寸法ｄ２（直径では寸法ｄ２×２の差になる）の寸法分、排気口６側のクリアランス（Ｗ２）が大きく形成される。
なお、この寸法ｄ２は、本変形例では０．３５ｍｍ程度としたが、諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定することができる。

【0034】

このように、本変形例２に係る生成物接触回避構造１００２を有するターボ分子ポンプ１は、筒型回転部材１００において長外径部１０１と短外径部１０２とを有する生成物接触回避構造１００２を備えるので、生成物が堆積しやすい部分（即ち、筒型回転部材１００の下側であり、圧力が高い範囲）のクリアランス（Ｗ２）のみを大きくすることが可能になり、堆積した生成物が筒型回転部材１００又はねじ溝スペーサ６０に接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。
また、ねじ溝スペーサ６０の上側（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）におけるねじ溝山面と筒型回転部材１００とのクリアランスを変更せず、ねじ溝スペーサ６０の下側（即ち、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲）のクリアランスを部分的に大きくする構成にしたので、ねじ溝スペーサ６０全体で、ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａと筒型回転部材１００とのクリランスが大きくなり、当該クリアランス部からガスが逆流して、ターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことを防止することもできる。

【0035】

なお、本変形例２では、筒型回転部材１００において、長外径部１０１を吸気口４側の上側半分の範囲に形成し、短外径部１０２を排気口６側の下側半分の範囲に形成する２段階の構成にしたが、これに限られることはない。
例えば、筒型回転部材１００における軸方向下側（排気口６側）の外径が上側（吸気口４側）の外径よりも小さくなる範囲内であれば、筒型回転部材１００は、上側から下側方向に１／３の範囲に長外径部、下側から上側方向に１／３の範囲に短外径部、そして、当該長外径部と短外径部とに挟まれた中央１／３の範囲に外径が当該長外径部よりも小さく当該短外径部よりも大きい中外径部、といった３つの異なる外径を連続して有する（形成する）３段階構成にしても良い。即ち、この場合は、筒型回転部材１００の軸線方向に１：１：１の構成比になる。
或いは、上側から下側方向に３／４の範囲に長外径部を、当該長外径部の終了部分から更に下側方向に（即ち、下側から上側方向に１／４の範囲に）短外径部を連続して有する２段階構成にすることもできる。即ち、この場合は、筒型回転部材１００の軸線方向に３（上側）：１（下側）の構成比になる。

【0036】

（第１実施形態の変形例３）
図５は、本発明の第１実施形態の変形例３である生成物接触回避構造１００３を示した断面図である。
図５に示したように、本変形例３に係る生成物接触回避構造１００３の筒型回転部材１００は、変形例２と同様に、長外径部１０１と、当該長外径部１０１と半径差寸法ｄ２を有する短外径部１０２とが形成されている。なお、この寸法ｄ２は、本変形例３では一例として０．３５ｍｍ程度としたが、諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定することができる。
そして、本変形例３に係る生成物接触回避構造１００３では、ねじ溝スペーサ６０が有するねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａのうち、筒型回転部材１００の短外径部１０２と対面するねじ溝山面６４ａ及び６５ａは、短外径部１０２とのクリアランスが上側（吸気口４側）から下側（排気口６側）に向かって段階的に大きくなるようになっており、最下端であるねじ溝山面６５ａの削り量ｄ１は、例えば、０．３５ｍｍ程度（諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定可能）になるように形成されている。なお、ねじ溝山面６４ａの削り量は、寸法ｄ１よりも少なくすることで、ねじ溝山面６４ａとねじ溝山面６５ａとにクラランスの差を設けることができる。

【0037】

上述した構成にすることで、本変形例３に係る生成物接触回避構造１００３では、図５に示したように、吸気口４側のねじ溝山面６１ａ、６２ａ、及び６３ａの各々と長外径部１０１との間にはクリアランスＤ３が形成され、一方、排気口６側のねじ溝山面６５ａと短外径部１０２との間にはクリアランスＷ３が形成される。つまり、このクリアランスＷ３は、長外径部１０１と短外径部１０２との差である寸法ｄ２と、長外径部１０１と吸気口４側（最上位置）のねじ溝山面６１ａとのクリアランスであるＤ３と、吸気口４側（最上位置）のねじ溝山面６１ａと排気口６側（最下位置）のねじ溝山面６５ａとの差である寸法ｄ１と、を足し合わせた寸法と同等の寸法を有する。

【0038】

このように、本変形例３に係る生成物接触回避構造１００３を有するターボ分子ポンプ１は、ねじ溝式ポンプ部の略上側半分（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）における筒型回転部材１００とねじ溝スペーサ６０とのクリアランスは一定に保ち、且つ、ねじ溝式ポンプ部の略下側半分（即ち、圧力が高く堆積物が溜まりやすい範囲）においては、筒型回転部材１００とねじ溝スペーサ６０とのクリアランスが段階的に大きくなる構成にしたので、圧力が高く堆積物が溜まりやすい範囲のクリアランスを十分に確保することができる。
その結果、熱膨張やクリープ現象等によって、特に排気口６側に向かう方向に歪みが顕著に生じる筒型回転部材１００と、ねじ溝式ポンプ部の下側に堆積した生成物とが接触するまでの期間、又はねじ溝スペーサ６０と、筒型回転部材１００に堆積した生成物とが接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。
また、ねじ溝式ポンプ部の略上側半分におけるねじ溝スペーサ６０と筒型回転部材１００とのクリアランスは変更していないので、筒型回転部材１００と当該生成物とが接触するまでの期間を延ばしつつ、同時に、ターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことを防止することもできる。

【0039】

なお、本変形例３では、各ねじ溝山面６４ａ及び６５ａの各削り量を、吸気口４側から排気口６側に向かって段階的に微増させることで、ねじ溝スペーサ６０の下側のねじ溝を構成したが、これに限られることはない。
例えば、ねじ溝スペーサ６０における軸方向下側（排気口６側）の内径が上側（吸気口４側）の内径よりも長くなる範囲内であれば、ねじ溝山面を全体にわたって階段状にする（即ち、各ねじ溝のねじ溝山面が軸線方向で階段状になる）構成にしても良い。

【0040】

（第１実施形態の変形例４）
図６は、本発明の第１実施形態の変形例４に係る生成物接触回避構造１００４の一例を示した断面図である。
図６に示したように、本変形例４の生成物接触回避構造１００４に係るねじ溝スペーサ６０には、ターボ分子ポンプ１の吸気口４側から排気口６側に向かう方向に、螺旋形状のらせん溝が形成されている。
ここで、本変形例４に係る生成物接触回避構造１００４では、当該ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａのうち、吸気口４側に位置するねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面６１ａ及び６２ａ）は、クリアランスＤ４を隔てて筒型回転部材１０と各々直線的に対面し、一方、排気口６側に位置するねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面６３ａ、６４ａ、６５ａ）は、吸気口４側から排気口６側に向かって末広がりの曲線を描くように筒型回転部材１０と各々対面している。
即ち、ねじ溝山面６１ａ及び６２ａが平面的に形成されているのに対し、ねじ溝山面６３ａ、６４ａ、６５ａは曲線的に形成されている。
つまり、ねじ溝山面６１ａ及び６２ａは、筒型回転部材１０とクリアランスＤ４を隔てて平行に対面するのに対し、ねじ溝山面６３ａ、６４ａ、６５ａは、筒型回転部材１０と一定ではないクリアランスを隔てながら（即ち、隔てるクリアランスを徐々に大きくしながら）曲線的に対面するように当該ねじ溝山面６３ａ、６４ａ、６５ａを所望の量削り取って形成される。
このような構成にすることで、筒型回転部材１０と平行に対面するねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面６２ａ）の端部Ｔ１と、排気口６側に位置する最下端であるねじ溝山面６５ａの排気口６側の端部Ｔ２との間には、寸法差ｄ３が形成される。なお、この寸法差ｄ３は、本変形例４では一例として０．３５ｍｍ程度としたが、諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定することができる。
このようにして、本変形例４に係る生成物接触回避構造１００４では、吸気口４側のクリアランス（Ｄ４）よりも寸法差ｄ３に相当する大きさ分大きいクリアランス（Ｗ４）を排気口６側に形成することができる。

【0041】

上述したように、本変形例４に係る生成物接触回避構造１００４を有するターボ分子ポンプ１では、ねじ溝スペーサ６０の上側（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）におけるねじ溝山面と筒型回転部材１０とのクリアランス（Ｄ４）は変更せず、ねじ溝スペーサ６０の下側（即ち、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲）のクリアランス（Ｗ４）を部分的に大きくする構成にしたので、スペーサ６０全体で、ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａと筒型回転部材１０とのクリアランスが大きくなり、当該クリアランス部からガスが逆流するなどして、ターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことを防止しながら、堆積した生成物が筒型回転部材１０又はねじ溝スペーサ６０に接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。

【0042】

（第１実施形態の変形例５）
更に、本変形例４に係る生成物接触回避構造１００４のねじ溝スペーサ６０に加えて、筒型回転部材の下側（排気口６側）半分の範囲の外径を連続的に漸減させる構造にした筒型回転部材１１０を更に備える構成にすることもできる。
図７は、本発明の第１実施形態の変形例５に係る生成物接触回避構造１００５の一例を示した断面図である。
図７に示したように、本変形例５に係る生成物接触回避構造１００５は、漸減外径部１１３が形成された筒型回転部材１１０を有する。
具体的には、本変形例５に係る生成物接触回避構造１００５では、筒型回転部材１１０の半分（１／２）より下側（排気口６側）に、当該筒型回転部材１１０の外径が、吸気口４側から排気口６側に向かって次第に小さくなるように（即ち、漸減するように）形成された漸減外径部１１３を有している。
このような構成にすることで、筒型回転部材１１０において一定の外径を有する吸気口４側の外径と、排気口６側における筒型回転部材１１０の開放口（即ち、漸減外径部１１３の排気口６側）の外径との間には、図７に示したように、寸法差ｄ４が形成される。なお、この寸法差ｄ４は、本変形例５では一例として０．３５ｍｍ程度としたが、諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定することができる。
このようにして、本変形例５に係る生成物接触回避構造１００５では、吸気口４側のクリアランス（Ｄ５）に対し、ねじ溝スペーサ６０に形成された寸法差ｄ３及び筒型回転部材１１０（漸減外径部１１３）側に形成された寸法差ｄ４の和に相当する大きさであるクリアランス（Ｗ５）を、排気口６側に形成することができる。

【0043】

なお、本変形例５に係る生成物接触回避構造１００５では、筒型回転部材１１０に漸減外径部１１３が形成される領域は、筒型回転部材１１０の半分（１／２）以下としたが、これに限られることはない。
例えば、筒型回転部材１１０における軸方向下側（排気口６側）の外径が上側（吸気口４側）の外径よりも小さくなる範囲内であれば、筒型回転部材１１０は、下側から上側方向に１／３の範囲に漸減外径部１１３を有する（形成する）構造にしても良い。即ち、この場合は、筒型回転部材１１０の軸線方向に２（上側）：１（下側）の構成比になる。
或いは、下側から上側方向に３／４の範囲に漸減外径部１１３を有する構造にすることもできる。即ち、この場合は、筒型回転部材１１０の軸線方向に１（上側）：３（下側）の構成比になる。

【0044】

上述したように、本変形例５に係る生成物接触回避構造１００５を有するターボ分子ポンプ１では、筒型回転部材１１０とねじ溝スペーサ６０が対面する範囲において、吸気口４側における筒型回転部材１１０とねじ溝スペーサ６０（ねじ溝山面）とのクリアランス（Ｄ５）は変更させず、排気口６側のクリアランス（Ｗ５）を大きくする構造にしたので、生成物が堆積しにくい範囲である吸気口４側のクリアランスが大きくなることでガスが逆流するなどしてターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことは防止しつつ、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲に堆積した生成物が筒型回転部材１１０（漸減外径部１１３）又はねじ溝スペーサ６０に接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。

【0045】

（第１実施形態の変形例６）
図８は、本発明の第１実施形態の変形例６に係る生成物接触回避構造１００６の一例を示した断面図である。
図８に示したように、本変形例６に係る生成物接触回避構造１００６は、外周が、円錐の頂点が排気口６側に位置する円錐形状に形成された円錐型回転部材１２０と、内周が、当該円錐型回転部材１２０の外周面と所定のクリアランスを隔てて対向（対面）するねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａ、及び、ねじ溝谷面６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂ、６５ｂを有するねじ溝スペーサ６０と、を有している。

【0046】

ここで、図８に示したように、本変形例６に係る生成物接触回避構造１００６を有するねじ溝スペーサ６０では、各ねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａのうち、より吸気口４側に形成されたねじ溝山面６１ａ、６２ａ、及び６３ａと対面する円錐型回転部材１２０との半径方向のクリアランスはＤ６であり、より排気口６側に形成されたねじ溝山面６４ａ及び６５ａと円錐型回転部材１２０との半径方向のクリアランスは、当該クリアランスＤ６よりも寸法ｄ５（例えば、０．３５ｍｍ）分大きいクリアランスＷ６になるように形成されている。このクリアランスの差である寸法ｄ５は、ねじ溝山面６４ａ及び６５ａを寸法ｄ５分（ｄ５と同等の長さ分）削ることで確保することができる。
なお、本変形例６では、寸法ｄ５は０．３５ｍｍとしたが、諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定することができる。

【0047】

このように、本変形例６に係るターボ分子ポンプ１では、この生成物接触回避構造１００６を有することにより、ねじ溝スペーサ６０の、下側（排気口６側）に形成されるねじ溝スペーサ６０と円錐型回転部材１２０との半径方向のクリアランス（Ｗ６）は、上側（吸気口４側）に形成されるねじ溝スペーサ６０と円錐型回転部材１２０との半径方向のクリアランス（Ｄ６）よりも、寸法ｄ５の長さ分大きい構成になっている。
このように、本変形例６に係る生成物接触回避構造１００６を有するターボ分子ポンプ１では、筒型回転部材１２０とねじ溝スペーサ６０が対面する範囲において、吸気口４側における筒型回転部材１２０とねじ溝スペーサ６０（ねじ溝山面）との半径方向のクリアランス（Ｄ６）は変えずに排気口６側の半径方向のクリアランス（Ｗ６）を大きくする構造にした。
その結果、生成物が堆積しにくい範囲である吸気口４側のクリアランスが大きくなることでガスが逆流するなどしてターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことを防止しつつ、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲に堆積した生成物が筒型回転部材１２０又はねじ溝スペーサ６０に接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。

【0048】

（第１実施形態の変形例７）
図９は、本発明の第１実施形態の変形例７に係る生成物接触回避構造１００７の一例を示した断面図である。
図９に示したように、本変形例７に係る生成物接触回避構造１００７では、外周が、円錐の頂点が排気口６側に位置する円錐形状に形成された円錐型回転部材１２０と、内周が、当該円錐型回転部材１２０の外周面と所定のクリアランスを隔てて対向するねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａ、及び、ねじ溝谷面６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂ、６５ｂを有するねじ溝スペーサ６０と、を有する。
そして、更に、本変形例７に係る円錐型回転部材１２０は、軸方向に対して垂直な面での断面積は一様ではなく、円錐型回転部材１２０の下側（排気口６側）の領域の断面積が上側（吸気口４側）の断面積よりも小さくなるように外周が削り取られた小断面積部１２１が形成されている。
なお、本変形例７では、円錐型回転部材１２０を削り取る部分の寸法ｄ６は０．３５ｍｍ程度としたが、諸条件に合わせて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内で調整することが望ましい。

【0049】

このように、本変形例７に係るターボ分子ポンプ１は、小断面積部１２１が形成された円錐型回転部材１２０を有する生成物接触回避構造１００７を備えるので、小断面積部１２１を形成するために円錐型回転部材１２０を削り取る幅であるｄ６と同等の大きさ分だけ、円錐型回転部材１２０の下側の半径方向のクリアランス（Ｗ７）を大きくすることが可能になる。その結果、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲に堆積した生成物と、円錐型回転部材１２０又はねじ溝スペーサ６０とが接触するまでの期間を延ばすことができる。
また、円錐型回転部材１２０とねじ溝スペーサ６０が対面する吸気口４側に形成される半径方向のクリアランス（Ｄ７）は変更せずに、排気口６側の半径方向のクリアランス（Ｗ７）を大きくする構造にしたので、生成物が堆積しにくい範囲である吸気口４側のクリアランスが大きくなることで、ガスが逆流するなどしてターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことは防止しつつ、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲に堆積した生成物が円錐型回転部材１２０（小断面積部１２１）又はねじ溝スペーサ６０に接触するまでの期間を延ばすことができる。

【0050】

なお、本変形例７では、小断面積部１２１は円錐型回転部材１２０の略下半分（１／２）に形成される構造にしたが、これに限られることはない。
例えば、円錐型回転部材１２０における軸方向下側（排気口６側）の断面積が上側（吸気口４側）の断面積よりも小さくなる範囲内であれば、円錐型回転部材１２０は、下側から上側方向に１／３の範囲に小断面積部１２１を形成する構造にしても良い。即ち、この場合は、円錐型回転部材１２０の軸線方向に２（上側）：１（下側）の構成比になる。
或いは、下側から上側方向に３／４の範囲に小断面積部１２１を有する構造にすることもできる。即ち、この場合は、円錐型回転部材１２０の軸線方向に１（上側）：３（下側）の構成比になる。

【0051】

（第１実施形態の変形例８）
図１０は、本発明の第１実施形態の変形例８に係る生成物接触回避構造１００８の一例を示した断面図である。
図１０に示したように、本変形例８に係る生成物接触回避構造１００８の円錐型回転部材１２０は、変形例７と同様に小断面積部１２１が形成されている。
ここで、本変形例８に係る生成物接触回避構造１００８では、ねじ溝スペーサ６０が有するねじ溝山面６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａのうち、円錐型回転部材１２０の小断面積部１２１と対面するねじ溝山面６４ａ及び６５ａは、小断面積部１２１との半径方向のクリアランスが上側（吸気口４側）から下側（排気口６側）に向かって段階的に大きくなるように削り取られ、最下端であるねじ溝山面６５ａの削り量ｄ７は、例えば、０．３５ｍｍ（諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定可能）になるように形成されている。なお、ねじ溝山面６４ａの削り量は、ねじ溝山面６５ａの削り量ｄ７よりも少なくすることで、ねじ溝山面６４ａとねじ溝山面６５ａとに段差を設けることができる。

【0052】

上述した構成にすることで、本変形例８に係る生成物接触回避構造１００８では、図１０に示したように、吸気口４側のねじ溝山面６１ａ、６２ａ、及び６３ａの各々と円錐型回転部材１２０との間には半径方向のクリアランスＤ８が形成され、一方、排気口６側のねじ溝山面６５ａと、円錐型回転部材１２０に形成された小断面積部１２１との間には半径方向のクリアランスＷ８が形成される。
つまり、この半径方向のクリアランスＷ８は、小断面積部１２１を形成するために円錐型回転部材１２０を削り取る幅であるｄ６と、吸気口４側（最上位置）のねじ溝山面６１ａと円錐型回転部材１２０との半径方向のクリアランスであるＤ８と、排気口６側（最下位置）のねじ溝山面６５ａを削り取る量であるｄ７と、を足し合わせた長さと同等の大きさを有する。

【0053】

なお、本変形例８では、各ねじ溝山面６４ａ及び６５ａの各削り量を、吸気口４側から排気口６側に向かって段階的に微増させることで、ねじ溝スペーサ６０の下側のねじ溝を構成したが、これに限られることはない。
例えば、ねじ溝スペーサ６０における軸方向下側（排気口６側）の内径が上側（吸気口４側）の内径よりも長くなる範囲内であれば、ねじ溝山面を全体にわたって階段状にする（即ち、各ねじ溝のねじ溝山面が軸線方向で階段状になる）構成にしても良い。

【0054】

このように、本変形例８に係る生成物接触回避構造１００８を有するターボ分子ポンプ１は、円錐型回転部材１２０とねじ溝スペーサ６０が対面する範囲において、吸気口４側における円錐型回転部材１２０とねじ溝スペーサ６０（ねじ溝山面）との半径方向のクリアランス（Ｄ８）は変更させず、排気口６側の半径方向のクリアランス（Ｗ８）を大きくする構造にしたので、生成物が堆積しにくい範囲である吸気口４側の半径方向のクリアランス（Ｄ８）が大きくなることでガスが逆流するなどしてターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことを防止しつつ、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲に堆積した生成物が円錐型回転部材１２０（小断面積部１２１）又はねじ溝スペーサ６０に接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。

【0055】

（ｉｉ−２）第２実施形態
次に、図１１〜図１４を参照して、ねじ溝が回転翼円筒部に形成される場合について説明する。
まず、ねじ溝が回転部に形成されるターボ分子ポンプについて、図１１を参照して説明する。
図１１は、本発明の第２実施形態に係る生成物接触回避構造１１００を備えたターボ分子ポンプ５００の概略構成例を示した図であり、軸線方向の断面図を示している。
なお、本発明の第２実施形態に係るターボ分子ポンプ５００の生成物接触回避構造１１００以外の構成は第１実施形態と同様であるため、同じ符号を付して説明を省略する。
本発明の第２実施形態に係るターボ分子ポンプ５００では、第１実施形態の筒型回転部材１０、筒型回転部材１００、又は円錐型回転部材１２０に代えて、らせん溝付き筒型回転部材１３０が配設される。
らせん溝付き筒型回転部材１３０に形成されたらせん溝の方向は、らせん溝内をロータ８の回転方向にガスが輸送された場合、排気口６に向かう方向である。また、らせん溝の深さは、排気口６に近づくにつれて浅くなるようになっており、らせん溝を輸送されるガスは排気口６に近づくにつれて圧縮されながら排気口６側へ送出されるようになっている。即ち、らせん溝は、ガスを輸送する流路となっている。
そして、らせん溝付き筒型回転部材１３０と、所定のクリアランスを隔てて対面するスペーサ（固定部）は、ねじ溝が形成されていないスペーサ７１が配設される。
このように、スペーサ７１とらせん溝付き筒型回転部材１３０が所定のクリアランスを隔てて対向することにより、ねじ溝でガスを移送する気体移送機構（第２気体移送機構）を構成している。
なお、ガスが吸気口４側へ逆流する力を低減させるために、このクリアランスは小さければ小さいほど良い。

【0056】

図１２は、本発明の第２実施形態に係る生成物接触回避構造１１００の一例を示した断面図である。
図１２に示したように、本発明の第２実施形態に係る生成物接触回避構造１１００を有するらせん溝付き筒型回転部材１３０には、ターボ分子ポンプ５００の吸気口４側から排気口６側に向かう方向に、螺旋形状のらせん溝が形成されている。
また、らせん溝付き筒型回転部材１３０のねじ溝山面１３１ａとねじ溝谷面１３１ｂ、ねじ溝山面１３２ａとねじ溝谷面１３２ｂ、ねじ溝山面１３３ａとねじ溝谷面１３３ｂ、ねじ溝山面１３４ａとねじ溝谷面１３４ｂ、及びねじ溝山面１３５ａと、ねじ溝谷面１３５ｂによって各々構成されるねじ溝の各々の深さは、ターボ分子ポンプ１の排気口６側へ向かうにつれて次第に浅くなるように形成されている。
即ち、らせん溝付き筒型回転部材１３０のねじ溝山面１３１ａとねじ溝谷面１３１ｂとで形成されるねじ溝の深さは、ねじ溝山面１３５ａとねじ溝谷面１３５ｂとで形成されるねじ溝の深さよりも深い。
らせん溝の深さが浅くなる構造では、スペーサ７１の内径を斜めにした構造ではなく、筒型回転部材１３０のねじ溝谷部を斜めにする構造でもよい。

【0057】

ここで、本発明の第２実施形態に係る生成物接触回避構造１１００を有するらせん溝付き筒型回転部材１３０では、ねじ溝山面１３１ａとスペーサ７１との半径方向のクリアランスはＤ９−１であり、ねじ溝山面１３２ａとスペーサ７１との半径方向のクリアランスは当該クリアランスＤ９−１よりも大きなクリアランス（Ｄ９−２）であり、ねじ溝山面１３３ａとスペーサ７１との半径方向のクリアランスは当該クリアランスＤ９−２よりも大きなクリアランス（Ｄ９−３）であり、ねじ溝山面１３４ａとスペーサ７１との半径方向のクリアランスは当該クリアランスＤ９−３よりも大きなクリアランス（Ｄ９−４）であり、ねじ溝山面１３５ａとスペーサ７１との半径方向のクリアランスは当該クリアランスＤ９−４よりも大きなクリアランス（Ｄ９−５）であって、このように各半径方向のクリアランスは全て異なる構成になっている。
つまり、ターボ分子ポンプ５００の吸気口４側から排気口６側に向かって、らせん溝付き筒型回転部材１３０の各ねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａ、１３５ａとスペーサ７１との半径方向のクリアランスが段階的に大きくなるように形成されており、各クリアランスの大きさの関係は、（Ｄ９−１）＜（Ｄ９−２）＜（Ｄ９−３）＜（Ｄ９−４）＜（Ｄ９−５）となる。

【0058】

本実施形態２に係る生成物接触回避構造１１００の、らせん溝付き筒型回転部材１３０における排気口６側の最下段に形成される半径方向のクリアランス（Ｄ９−５）は、吸気口４側の最上段に形成される半径方向のクリアランス（Ｄ９−１）よりも、例えば、０．３５ｍｍ（諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定可能）程度大きくなるように形成される。
そのために、各ねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａ、１３５ａは、隣接する２つのねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面１３１ａとねじ溝山面１３２ａ）において、上段（吸気口４側）に位置する方のねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面１３１ａ）の削り量よりも、下段（排気口６側）に位置する方のねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面１３２ａ）の削り量を段階的に微増させて削る。
つまり、本実施形態２に係るらせん溝付き筒型回転部材１３０の、各ねじ溝山面は、排気口６側に向かうに従って多く削り取られる。
そうすることで、図１２のように、らせん溝付き筒型回転部材１３０には断面が階段状になるねじ溝が形成され、最下段のねじ溝山面１３５ａは、最上段のねじ溝山面１３１ａに比べてより多く削り取られた寸法ｄ８（らせん溝付き筒型回転部材１３０が削られる、径方向の長さ）と同等の大きさ分、対面するスペーサ７１との半径方向のクリアランス（Ｗ９）を大きくすることができる。

【0059】

本実施形態２に係る生成物接触回避構造１１００では、らせん溝付き筒型回転部材１３０の、下側（排気口６側）に形成されるねじ溝山面１３５ａにより構成される外径は、上側（吸気口４側）に形成されるねじ溝山面１３１ａにより構成される外径よりも、寸法ｄ８×２の長さ分小さい（狭い）構成になされ、上側から下側にかけて、当該クリアランスは段階的に大きくなっていく構成になっている。
このように、本実施形態２に係る生成物接触回避構造１１００を有するターボ分子ポンプ５００は、ねじ溝式ポンプ部の上側（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）から、ねじ溝式ポンプ部の下側（即ち、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲）にかけて、らせん溝付き筒型回転部材１３０の各ねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａ、１３５ａとスペーサ７１との半径方向のクリアランスが段階的に大きくなっているので、熱膨張やクリープ現象等により、特に排気口６側に向かう方向に歪みが顕著に生じるらせん溝付き筒型回転部材１３０と、スペーサ７１に堆積した生成物とが接触するまでの期間、又は、スペーサ７１と、らせん溝付き筒型回転部材１３０に堆積した生成物とが接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。
また、ねじ溝式ポンプ部の上側におけるねじ溝山面（例えば、１３１ａ）とスペーサ７１との半径方向のクリアランス（Ｄ９−１）は変更せず、ねじ溝式ポンプ部の下側に向かうに従って半径方向のクリアランスを段階的に大きくする構成にしたので、スペーサ７１全体で、ねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａと筒型回転部材１３０とのクリアランスが大きくなり、当該クリアランス部からガスが逆流して、ターボ分子ポンプ５００の性能が大幅に低減してしまうことを防止することもできる。

【0060】

なお、本実施形態２では、らせん溝付き筒型回転部材１３０の各ねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａ、１３５ａの各々の削り量を、吸気口４側から排気口６側に向かって段階的に微増させることで、らせん溝付き筒型回転部材１３０のねじ溝を構成したが、これに限られることはない。
例えば、らせん溝付き筒型回転部材１３０における軸方向下側（排気口６側）のねじ溝山面の外径が、上側（吸気口４側）のねじ溝山面の外径よりも短くなる範囲内であれば、ねじ溝山面を上側半分の群と下側半分の群とに分けて、各ねじ溝山面群同士の段差を２段階にする構成にしても良いし、或いは、上側１／３の群と中央１／３の群と下側１／３の群とに分けて、各ねじ溝山面群同士の段差を３段階にする構成にしても良い。即ち、この場合は、らせん溝付き筒型回転部材１３０の軸線方向に１：１：１の構成比になる。

【0061】

上記のように説明した本発明の第２実施形態に係る生成物接触回避構造は、以下のように様々に変形することが可能である。
（第２実施形態の変形例１）
図１３は、本発明の第２実施形態の変形例１に係る生成物接触回避構造１１０１の一例を示した断面図である。
図１３に示したように、本発明の第２実施形態の変形例１に係る生成物接触回避構造１１０１では、らせん溝付き筒型回転部材１３０には、ターボ分子ポンプ５００の吸気口４側から排気口６側に向かう方向に、螺旋形状のらせん溝が形成されている。そして、スペーサ７１０には、短内径部７１１と長内径部７１２が形成されている。
ここで、本発明の第２実施形態の変形例１に係る生成物接触回避構造１１０１では、当該ねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａ、１３５ａのうち、吸気口４側に位置するねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、及び１３３ａ）は、半径方向のクリアランスＤ１０を隔ててスペーサ７１０の短内径部７１１と各々対面し、一方、排気口６側に位置するねじ溝山面（例えば、ねじ溝山面１３４ａ及び１３５ａ）は、半径方向のクリアランスＤ１０よりも大きい半径方向のクリアランスＷ１０を隔ててスペーサ７１０の長内径部７１２と各々対面している。
このように、本発明の第２実施形態の変形例１に係るスペーサ７１０の内径は軸方向に一様ではなく、吸気口４側の半径方向のクリアランス（Ｄ１０）よりも排気口６側の半径方向のクリアランス（Ｗ１０）の方が大きくなるように、吸気口４側の外径と排気口６側の外径とが異なるように形成されている。

【0062】

具体的には、本発明の第２実施形態の変形例１に係るスペーサ７１０は、図１３に示したように、生成物が堆積しにくい吸気口４側（例えば、上側半分の範囲）には、ねじ溝山面１３１ａと半径方向のクリアランスＤ１０を保って対面する短内径部７１１を、一方、圧力が高く生成物が堆積しやすい排気口６側（例えば、下側半分の範囲）には当該短内径部７１１よりも長い内径を有する長内径部７１２を備えている。
この構成により、本発明の第２実施形態の変形例１に係る生成物接触回避構造１１０１は、当該短内径部７１１と長内径部７１２との半径差である寸法ｄ９（直径分では寸法ｄ９×２の差になる）の長さ分、排気口６側の半径方向のクリアランス（Ｗ１０）が大きく形成される。
なお、この寸法ｄ９は、本変形例では０．３５ｍｍ程度としたが、諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定することができる。

【0063】

このように、本発明の第２実施形態の変形例１に係るターボ分子ポンプ５００は、スペーサ７１０において短内径部７１１と長内径部７１２とを有する生成物接触回避構造１１０１を備えるので、生成物が堆積しやすい部分（即ち、スペーサ７１０の下側であり、圧力が高い範囲）のクリアランスのみを大きくすることが可能になり、堆積した生成物がらせん溝付き筒型回転部材１３０又はスペーサ７１０に接触するまでの期間を延ばすことができる。
また、スペーサ７１０の上側（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）におけるらせん溝付き筒型回転部材１３０のねじ溝山面とスペーサ７１０（短内径部７１１）とのクリアランスは変更せず、スペーサ７１０の下側（即ち、圧力が高く生成物が堆積しやすい範囲）のクリアランスを部分的に大きくする構成にしたので、スペーサ７１０全体で、ねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａと筒型回転部材１３０とのクリアランスが大きくなり、当該クリアランス部からガスが逆流して、ターボ分子ポンプ１の性能が大幅に低減してしまうことを防止することもできる。

【0064】

なお、本発明の第２実施形態の変形例１では、スペーサ７１０において、短内径部７１１を吸気口４側の上側半分の範囲に形成し、長内径部７１２を排気口６側の下側半分の範囲に形成する２段階の構成にしたが、これに限られることはない。
例えば、スペーサ７１０における軸方向下側（排気口６側）の外径が上側（吸気口４側）の内径よりも長くなる範囲内であれば、スペーサ７１０は、上側から下側方向に１／３の範囲に短内径部、下側から上側方向に１／３の範囲に長内径部、そして、当該短内径部と長内径部とに挟まれた中央１／３の範囲に内径が当該短内径部よりも長く当該長内径部よりも小さい中内径部、といった３つの異なる内径を連続して有する（形成する）３段階構成にしても良い。即ち、この場合は、スペーサ７１０の軸線方向に１：１：１の構成比になる。
或いは、上側から下側方向に３／４の範囲に短内径部を、当該短内径部の終了部分から更に下側方向に（即ち、下側から上側方向に１／４の範囲に）長内径部を連続して有する２段階構成にすることもできる。即ち、この場合は、スペーサ７１０の軸線方向に３（上側）：１（下側）の構成比になる。

【0065】

（第２実施形態の変形例２）
図１４は、本発明の第２実施形態の変形例２に係る生成物接触回避構造１１０２の一例を示した断面図である。
図１４に示したように、本発明の第２実施形態の変形例２に係る生成物接触回避構造１１０２のスペーサ７１０は、本発明の第２実施形態の変形例１と同様に、短内径部７１１と、当該短内径部７１１と半径差ｄ９を有する長内径部７１２とが形成されている。なお、このｄ９は、本発明の第２実施形態の変形例２では一例として０．３５ｍｍ程度としたが、諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定することができる。
そして、本発明の第２実施形態の変形例２に係る生成物接触回避構造１１０２では、らせん溝付き筒型回転部材１３０が有するねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａ、１３５ａのうち、スペーサ７１０の長内径部７１２と対面するねじ溝山面１３４ａ及び１３５ａは、長内径部７１２との半径方向のクリアランスが上側（吸気口４側）から下側（排気口６側）に向かって段階的に大きくなるように削り取られ、最下端であるねじ溝山面１３５ａの削り量ｄ１０は、例えば、０．３５ｍｍ程度（諸条件を鑑みて０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲で設定可能）になるように形成されている。なお、ねじ溝山面１３４ａの削り量は、ｄ１０（ねじ溝山面１３５ａの削り量）よりも少なくすることで、ねじ溝山面１３４ａとねじ溝山面１３５ａとに段差を設けることができる。

【0066】

上述した構造にすることで、本発明の第２実施形態の変形例２に係る生成物接触回避構造１１０２では、図１４に示したように、吸気口４側のねじ溝山面１３１ａ、１３２ａ、及び１３３ａの各々と短内径部７１１との間には半径方向のクリアランスＤ１０が形成され、一方、排気口６側のねじ溝山面１３５ａと長内径部７１２との間には半径方向のクリアランスＷ１０が形成される。
つまり、この半径方向のクリアランスＷ１０は、短内径部７１１と長内径部７１２との差（削り量）であるｄ９と、短内径部７１１と吸気口４側（最上位置）のねじ溝山面１３１ａとのクリアランスであるＤ１０と、吸気口４側のねじ溝山面１３１ａと排気口６側（最下位置）のねじ溝山面１３５ａとの削り量の差であるｄ１０と、の３つの半径方向のクリアランスを足し合わせた長さと同等の長さを有する。

【0067】

このように、本発明の第２実施形態の変形例２に係る生成物接触回避構造１１０２を有するターボ分子ポンプ５００は、ねじ溝式ポンプ部の略上側半分（即ち、生成物が堆積しにくい範囲）におけるスペーサ７１０とらせん溝付き筒型回転部材１３０とのクリアランスは一定に保ち、且つ、ねじ溝式ポンプ部の略下側半分（即ち、圧力が高く堆積物が溜まりやすい範囲）においては、スペーサ７１０とらせん溝付き筒型回転部材１３０とのクリアランスが段階的に広くなる構成にしたので、圧力が高く堆積物が溜まりやすい範囲のクリアランスを十分に確保することができる。
その結果、熱膨張やクリープ現象等によって、特に排気口６側に向かう方向に歪みが顕著に生じるらせん溝付き筒型回転部材１３０と、ねじ溝式ポンプ部の下側に堆積した生成物とが接触するまでの期間、又はスペーサ７１０と、らせん溝付き筒型回転部材１３０に堆積した生成物とが接触するまでの期間を従来よりも延ばすことができる。
また、ねじ溝式ポンプ部の略上側半分におけるスペーサ７１０とらせん溝付き筒型回転部材１３０とのクリアランスは変更していないので、らせん溝付き筒型回転部材１３０と当該生成物とが接触するまでの期間を延ばしつつ、同時に、ターボ分子ポンプ５００の性能が大幅に低減してしまうことを防止することもできる。

【0068】

なお、本発明の第２実施形態の変形例２では、各ねじ溝山面１３４ａ及び１３５ａの各削り量を、吸気口４側から排気口６側に向かって段階的に微増させることで、らせん溝付き筒型回転部材１３０の下側のねじ溝を構成したが、これに限られることはない。
例えば、らせん溝付き筒型回転部材１３０における軸方向下側（排気口６側）の外径が上側（吸気口４側）の外径よりも短くなる範囲内であれば、ねじ溝山面を全体にわたって階段状にする（即ち、各ねじ溝のねじ溝山面が軸線方向で階段状になる）構成にしても良い。

【0069】

なお、本発明の第１実施形態及び第２実施形態では、直径が約１００〜３００ｍｍのターボ分子ポンプにおける吸気及び排気の性能と、堆積する生成物によるオーバーホール期間との両面を考慮して、吸気口４側よりも排気口６側のスペーサ（一例として、ねじ溝スペーサ６０やスペーサ７１）と回転部材（一例として、筒型回転部材１０、筒型回転部材１００、円錐型回転部材１２０、らせん溝付き筒型回転部材１３０）とのクリアランスを大きくするための、ねじ溝山面の各削り量（半径方向のクリアランスｄ１〜ｄ１０）を０．３５ｍｍにしたが、削り量はこれに限ることはない。
真空ポンプに配設される真空装置の種類によって、当該クリアランスの最適値（最適値の範囲）は異なるので、ガスの量や真空装置のプロセスに必要な圧力の領域等を考慮したうえで決定されることが望ましい。

【0070】

このように、本発明によれば、真空ポンプにおいて、ねじ溝が形成されている回転部又は固定部の、当該ねじ溝部における下部の径寸法のみを変更することで、堆積する生成物と、回転翼円筒部又は固定部とが接触するまでの期間を長くして、オーバーホールを実施する間隔を長くする真空ポンプを提供することができる。

【符号の説明】

【0071】

１ ターボ分子ポンプ
２ ケーシング
３ ベース
４ 吸気口
５ フランジ部
６ 排気口
７ シャフト
８ ロータ
９ 回転翼
１０ 筒型回転部材
２０ モータ部
３０、３１ 径方向磁気軸受装置
４０ 軸方向磁気軸受装置
５０ 固定翼
６０ ねじ溝スペーサ
６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａ ねじ溝山面
６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂ、６５ｂ ねじ溝谷面
７０ スペーサ
７１ スペーサ
８０ 水冷管
１００ 筒型回転部材
１０１ 長外径部（筒型回転部材）
１０２ 短外径部（筒型回転部材）
１１０ 筒型回転部材
１１３ 漸減外径部（筒型回転部材）
１２０ 円錐型回転部材
１２１ 小断面積部（円錐型回転部材）
１３０ らせん溝付き筒型回転部材
１３１ａ、１３２ａ、１３３ａ、１３４ａ、１３５ａ ねじ溝山面
１３１ｂ、１３２ｂ、１３３ｂ、１３４ｂ、１３５ｂ ねじ溝谷面
５００ ターボ分子ポンプ
７１０ スペーサ
７１１ 短内径部（スペーサ）
７１２ 長内径部（スペーサ）
１０００ 生成物接触回避構造
１００１ 生成物接触回避構造
１００２ 生成物接触回避構造
１００３ 生成物接触回避構造
１００４ 生成物接触回避構造
１００５ 生成物接触回避構造
１００６ 生成物接触回避構造
１００７ 生成物接触回避構造
１００８ 生成物接触回避構造
１１００ 生成物接触回避構造
１１０１ 生成物接触回避構造
１１０２ 生成物接触回避構造

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】