特許 5880265 基板収納設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5880265

(24)【登録日】2016年2月12日

(45)【発行日】2016年3月8日

(54)【発明の名称】基板収納設備

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20160223BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

【請求項の数】5

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-106018(P2012-106018)

(22)【出願日】2012年5月7日

(65)【公開番号】特開2013-235892(P2013-235892A)

(43)【公開日】2013年11月21日

【審査請求日】2014年2月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】100107308

【弁理士】

【氏名又は名称】北村 修一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100120352

【弁理士】

【氏名又は名称】三宅 一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100149331

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 昌人

(72)【発明者】

【氏名】安部 健史

(72)【発明者】

【氏名】藤原 浩二

【審査官】 上田 智志

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−２４３１３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１３５２７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１１１８１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２４９６４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１１／０６２１３８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開平１１−３１２７２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００５−５２０３５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

円板状に形成された半導体基板の外周部を支持する一対の支持体を上下方向に離間する状態で複数段並べて備える収納空間、及び、前記収納空間と外部との間で前記半導体基板を出し入れする開口が設けられた搬送容器と、
検査用位置に位置する前記搬送容器に収納された前記半導体基板に前記開口から光を照射する照明手段と、前記照明手段にて光を照射された前記収納空間内の前記半導体基板を撮像する撮像手段と、が設けられ、
前記撮像手段にて撮像された画像に基づいて、前記半導体基板の前記収納空間における収納姿勢が正常であるか否かを判別する基板収納状態判別処理を実行する基板収納状態判別手段が設けられている基板収納状態検査装置を備えた基板収納設備であって、
前記照明手段が、前記検査用位置に位置する前記搬送容器の開口の前面側において、開口左右方向に離間して一対設けられ、
前記基板収納状態判別手段が、前記撮像手段により撮像された単一の検査対象画像において、前記左右一対の照明手段が照射する光により前記半導体基板の周縁部における周方向で離間した箇所に生じる高輝度部分を検出する輝点検出処理を実行し、かつ、
前記輝点検出処理により前記単一の検査対象画像上に検出される左右に離間した前記高輝度部分についての上下方向の位置の対応関係に基づいて、前記半導体基板の収納姿勢が異常であるか否かを判別する姿勢判別処理を実行するように構成され、
前記搬送容器を収納する収納部を複数備えた容器収納棚が設けられ、
前記基板収納状態検査装置が、前記容器収納棚の入庫口、又は、搬送元箇所から前記入庫口に向けて前記搬送容器を搬送する搬送装置に設けられている基板収納設備。

【請求項2】

前記左右一対の照明手段の夫々が、上下方向に長尺状に構成された光源を備えて構成されている請求項１に記載の基板収納設備。

【請求項3】

前記撮像手段が、１台の撮像用カメラで構成されている請求項１又は２に記載の基板収納設備。

【請求項4】

前記基板収納状態判別手段の判別結果を表示する表示手段が設けられ、
前記基板収納状態判別手段が、前記輝点検出処理により前記検査対象画像上に検出される左右に離間した前記高輝度部分について、左右方向の一方側で検出されている前記高輝度部分に対応する高さの他方側の高輝度部分が存在しないと判別した場合には、当該高輝度部分が存在しない部分を前記半導体基板が存在しない異常部分と判別して、前記高輝度部分を示す高輝度シンボルと、前記異常部分を示す異常シンボルとを、前記検査対象画像における前記高輝度部分及び前記異常部分の相対位置関係に対応付ける形態で前記表示手段に表示する異常表示処理を実行自在に構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板収納設備。

【請求項5】

前記検査用位置が、前記搬送容器を搬送する搬送経路上に設けられ、前記左右一対の照明手段が、前記搬送経路における前記搬送容器の移動範囲の両側部で且つ前記移動範囲と重複しない位置に設けられ、前記撮像手段が、前記搬送経路の上方で且つ前記移動範囲と重複しない位置に設けられている請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板収納設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、円板状に形成された半導体基板の外周部を支持する一対の支持体を上下方向に離間する状態で複数段並べて備える収納空間、及び、前記収納空間と外部との間で前記半導体基板を出し入れする開口が設けられた搬送容器と、検査用位置に位置する前記搬送容器に収納された前記半導体基板に前記開口から光を照射する照明手段と、前記照明手段にて光を照射された前記収納空間内の前記半導体基板を撮像する撮像手段と、が設けられ、
前記撮像手段にて撮像された画像に基づいて、前記半導体基板の前記収納空間における収納姿勢が正常であるか否かを判別する基板収納状態判別処理を実行する基板収納状態判別手段が設けられてい基板収納状態検査装置を備えた基板収納設備に関する。

【背景技術】

【0002】

上記基板収納状態検査装置は、円板状に形成された半導体基板の外周部を支持する一対の支持体が上下方向に離間する状態で複数段並べて備えられた搬送容器内に、半導体基板がその一対の支持体に適正に支持されているか否かを検査するものであり、照明手段によって容器に収納された半導体基板に開口から光を照射し、照明手段にて光を照射された収納空間内の半導体基板を撮像手段にて撮像し、当該撮像手段にて撮像された画像に基づいて、基板収納状態判別手段が、半導体基板の収納空間における収納姿勢が正常であるか否かを判別するものである。

【0003】

このような基板収納状態検査装置として、従来、撮像手段にて搬送容器内部に収納された半導体基板を撮像し、撮像した画像に基づいて半導体基板の水平方向に対する角度を算出して、半導体基板が左右方向において傾斜姿勢となった状態で収納されるなどの異常な収納状態となっているか否かを判別するように構成されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００５−６４５１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１の基板収納状態検査装置は、撮像した半導体基板の画像から、半導体基板外周部の周方向に並ぶ複数の箇所のエッジを抽出し、半導体基板夫々についての複数のエッジを結んだ直線を求め、その直線の水平方向に対する角度から半導体基板の傾きを求める、という煩雑な解析を、複数の半導体基板の全てについて行う必要がある。このため、搬送容器内において半導体基板が異常な収納状態となっているか否かを判別するにしても、その構成が複雑となっていた。

【0006】

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、搬送容器内において半導体基板が異常な収納状態となっているか否かを、簡素な構成で判別することができる基板収納状態検査装置を備えた基板収納設備を提供する点にある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するための本発明に係る基板収納設備の第１特徴構成は、円板状に形成された半導体基板の外周部を支持する一対の支持体を上下方向に離間する状態で複数段並べて備える収納空間、及び、前記収納空間と外部との間で前記半導体基板を出し入れする開口が設けられた搬送容器と、検査用位置に位置する前記搬送容器に収納された前記半導体基板に前記開口から光を照射する照明手段と、前記照明手段にて光を照射された前記収納空間内の前記半導体基板を撮像する撮像手段と、が設けられ、前記撮像手段にて撮像された画像に基づいて、前記半導体基板の前記収納空間における収納姿勢が正常であるか否かを判別する基板収納状態判別処理を実行する基板収納状態判別手段が設けられている基板収納状態検査装置を備えた基板収納設備であって、
前記照明手段が、前記検査用位置に位置する前記搬送容器の開口の前面側において、開口左右方向に離間して一対設けられ、前記基板収納状態判別手段が、前記撮像手段により撮像された単一の検査対象画像において、前記左右一対の照明手段が照射する光により前記半導体基板の周縁部における周方向で離間した箇所に生じる高輝度部分を検出する輝点検出処理を実行し、かつ、前記輝点検出処理により前記単一の検査対象画像上に検出される左右に離間した前記高輝度部分についての上下方向の位置の対応関係に基づいて、前記半導体基板の収納姿勢が異常であるか否かを判別する姿勢判別処理を実行するように構成され、前記搬送容器を収納する収納部を複数備えた容器収納棚が設けられ、前記基板収納状態検査装置が、前記容器収納棚の入庫口、又は、搬送元箇所から前記入庫口に向けて前記搬送容器を搬送する搬送装置に設けられている点にある。

【0008】

すなわち、検査用位置に位置する搬送容器の開口の前面側において開口左右方向に離間して一対設けられた照明手段によって搬送容器に収納された半導体基板に光を照射するものであるから、撮像手段にて撮像された検査対象画像において、収納空間内に半導体基板が収納されているときには、その周縁部の左右に離間した箇所に高輝度部分が生じる。
そして、半導体基板が収納空間における上下方向で同じ高さの一対の支持体に支持されている適正な収納状態であれば、検査対象画像において、当該一対の支持体に対応する上下方向の位置に左右一対の高輝度部分が生じることになる。ところが、半導体基板が傾斜姿勢となっている等して半導体基板が支持体に適正に支持されていないときには、当該半導体基板についての一対の高輝度部分の一方が、当該一対の支持体に対応する上下方向の位置に生じないことになる。

【0009】

したがって、検査対象画像上に検出される左右に離間した高輝度部分について、半導体基板が支持体に適正に支持されているときには、その上下方向の位置は左右で同じとなり、半導体基板が支持体に適正に支持されていないときには、その上下方向の位置が左右で異なることになる。
このため、左右の一方側の高輝度部分と同じ高さの他方側の位置に高輝度部分が生じているか否かを調べることで、収納姿勢の適否を判別することができる。このように、検査対象画像上に検出される左右に離間した高輝度部分の上下方向の位置を比較するという簡素な方法で、半導体基板が収納空間内で適正な収納姿勢で収納されているか否かを判別することができることになる。

【0010】

したがって、第１特徴構成によれば、搬送容器内において半導体基板が異常な収納状態となっているか否かを、簡素な構成で判別することができる基板収納状態検査装置を備えた基板収納設備を得ることができる。
そして、基板収納状態検査装置が容器収納棚の入庫口、又は、搬送元箇所から入庫口に向けて搬送容器を搬送する搬送装置に設けられるから、搬送容器に収納される半導体基板の収納姿勢に異常があった場合には、使用者は、容器収納棚への保管のための入庫時に半導体基板の収納姿勢に異常があることを知得することができる。
したがって、使用者は、搬送容器を保管する時間を有効に利用して、半導体基板の収納姿勢の異常を是正するための対処を行うことが可能となる。

【0011】

本発明に係る基板収納設備の第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記左右一対の照明手段の夫々が、上下方向に長尺状に構成された光源を備えて構成されている点にある。

【0012】

すなわち、収納空間の上下方向に複数段備えられる支持体に支持される全ての半導体基板に対して、極力均一な条件で、開口から光を照射することができるから、撮像手段により撮像された検査対象画像においては、上下方向のいずれの支持体に支持された半導体基板においても適切に高輝度部分を生じさせることができる。
したがって、収納空間の上下方向の位置によらず、半導体基板に生じる高輝度部分を適切に検出することができる。

【0013】

本発明に係る基板収納設備の第３特徴構成は、上記第１又は第２特徴構成に加えて、前記撮像手段が、１台の撮像用カメラで構成されている点にある。

【0014】

すなわち、左右に離間した高輝度部分を撮像するに当たって、撮像手段を１台の撮像用カメラにて構成するものであるから、例えば左右一対の高輝度部分夫々に対して各別に撮像手段を備える構成に較べて、機器構成を簡素化することができる。
なお、この場合、１台の撮像用カメラの視野を、収納空間において上下方向に複数収納される半導体基板の左右一対の高輝度部分の全てを撮像可能な領域に設定しておけば、１回の撮像で検査用画像を得ることができる。

【0015】

本発明に係る基板収納設備の第４特徴構成は、上記第１〜第３特徴構成のいずれかに加えて、前記基板収納状態判別手段の判別結果を表示する表示手段が設けられ、
前記基板収納状態判別手段が、前記輝点検出処理により前記検査対象画像上に検出される左右に離間した前記高輝度部分について、左右方向の一方側で検出されている前記高輝度部分に対応する高さの他方側の高輝度部分が存在しないと判別した場合には、当該高輝度部分が存在しない部分を前記半導体基板が存在しない異常部分と判別して、前記高輝度部分を示す高輝度シンボルと、前記異常部分を示す異常シンボルとを、前記検査対象画像における前記高輝度部分及び前記異常部分の相対位置関係に対応付ける形態で前記表示手段に表示する異常表示処理を実行自在に構成されている点にある。

【0016】

すなわち、表示手段に、検査対象画像上に検出される左右に離間した高輝度部分について、左右方向の一方側で検出されている高輝度部分を示す高輝度シンボルを表示し、かつ、左右方向の一方側で検出されている高輝度部分に対応する高さの他方側の高輝度部分が存在しない場合には、高輝度部分が存在しない部分を示す異常シンボルを表示するものであるから、使用者は、表示手段に表示されたシンボルによって、半導体基板の収納姿勢に異常が生じていること、及び、その収納姿勢の異常が収納空間のどの位置で生じているかを容易に知得することができる。
したがって、半導体基板の収納姿勢に異常が生じていることを知得した使用者は、その搬送容器内の半導体基板の搬送姿勢を是正すべく、半導体基板の収納姿勢を正すための対処を行うことができる。
このように、第４特徴構成によれば、使用者にとって使い勝手のよい基板収納状態検査装置を備えた基板収納設備を提供できる。

【0017】

本発明に係る基板収納設備の第５特徴構成は、上記第１〜第４特徴構成のいずれかに加えて、前記検査用位置が、前記搬送容器を搬送する搬送経路上に設けられ、前記左右一対の照明手段が、前記搬送経路における前記搬送容器の搬送経路の両側部で且つ前記移動範囲と重複しない位置に設けられ、前記撮像手段が、前記移動範囲の上方で且つ前記移動範囲と重複しない位置に設けられている。

【0018】

すなわち、搬送容器を搬送する搬送経路上に設けられた検査用位置にて収納部に収納される半導体基板を撮像するから、搬送容器を処理のために搬送する場合において、その搬送途中に、検査対象画像を取得すべく収納空間内の半導体基板を撮像することができる。そして、左右一対の照明手段及び撮像手段が、搬送経路を移動する搬送容器の移動範囲と重複しない位置に設けられるから、左右夫々の照明手段及び撮像手段は移動する搬送容器に干渉することがない。
このため、例えば、左右一対の照明手段又は撮像手段を撮像の都度搬送容器の移動範囲と重複する搬送容器の前面に移動させ、撮像が終了すると搬送容器の移動範囲と重複しない箇所に退避させるような構成に比べ、照明手段や撮像手段を移動させるための構成を設けなくて済むことになるために構成が簡素になり、しかも、照明手段又は撮像手段を移動させずに済むため、搬送容器を検査用位置に位置させた後迅速に撮像することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】基板収納状態検査装置を備える基板収納設備の要部を示す図

【図2】基板収納状態検査装置を搬送装置に備える構成を説明する図

【図3】搬送容器の正面図

【図4】検査用位置に位置する基板搬送容器と照明手段及び撮像用カメラとの位置関係を示す図

【図5】制御ブロック図

【図6】姿勢判別処理のフローチャート

【図7】異常表示処理時の表示内容を示す図

【発明を実施するための形態】

【0022】

本発明の基板収納設備の実施形態について、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、基板収納設備は、半導体基板収納用の搬送容器Ｃを収納する収納部（図示なし）を複数備えた容器収納棚を内部に備えるストッカー３と、当該ストッカー３の入庫口に向けて搬送容器Ｃを搬送する搬送装置としてのコンベヤ１とを備えている。コンベヤ１は、ストッカー３の内部と外部との間に亘って搬送容器Ｃを搬入及び搬出するものである。

【0023】

コンベヤ１におけるストッカー３と逆側の端部側箇所は、ストッカー３から搬出する搬送容器Ｃをストッカー３外で卸す卸し移載や、ストッカー３に搬入する搬送容器Ｃをストッカー３外で掬う掬い移載が行われる作業者用移載箇所Ｐである。また、ストッカー３の内部に位置するコンベヤ１の端部側箇所は、ストッカー３から搬出する搬送容器Ｃをストッカー３内で掬う掬い移載や、ストッカー３に搬入する搬送容器Ｃをストッカー３内で卸す卸し移載が行われるストッカー内移載箇所Ｑである。そして、作業者は作業者用移載箇所Ｐ付近においてコンベヤ１の作業者用移載箇所Ｐに位置する搬送容器Ｃを受け取ったりコンベヤ１の作業者用移載箇所Ｐに搬送容器Ｃを供給したりする移載作業を立った姿勢で行う。

【0024】

ストッカー３及びコンベヤ１は空気浄化手段を備えたクリーンルーム内に設置されている。クリーンルームの床側には、スラブ床５から上方に間隔を隔てた状態で多孔状のグレーチング床６が設けられ、クリーンルームの天井側には天井から下方に間隔を隔ててＨＥＰＡフィルタなどからなる図外のエアーフィルタが設けられている。空気浄化手段は、グレーチング床６の下方側に形成された吸気室と、エアーフィルタの上方側に形成されたチャンバー室と、吸気室及びチャンバー室を連通する循環路とを備え、循環路には、通風ファン及びプレフィルタが備えられている。そして、空気浄化手段の通風ファンを作動させることにより天井側から床側に清浄空気のダウンブローが形成されるようになっている。

【0025】

ストッカー３の内部には、昇降式の庫内移載装置４が設置されている。庫内移載装置４は、グレーチング床６に立設された庫内昇降ガイド７に沿って昇降自在な昇降体８と、この昇降体８に旋回台９及びリンク機構１０を介して取り付けられた庫内移載用載置台１１とを備えている。

【0026】

ストッカー３の内部には、搬送容器Ｃを載置支持する複数の収納台（図示なし）が設けられており、夫々の収納台の上部空間に搬送容器Ｃを収納する収納部が形成されている。収納部は、上下多段に、かつ、平面視で庫内移載装置４を取り囲むように放射状に配列されている。

【0027】

そして、昇降体８の昇降作動、旋回台９の旋回作動、及び、リンク機構１０の屈伸作動を組み合わせることにより庫内移載用載置台１１の位置を移動させかつ平面視姿勢を変更させて、収納台にて載置支持された状態で収納部に収納されている搬送容器Ｃを掬い取ってコンベヤ１のストッカー内移載箇所Ｑに設けられた庫内コンベヤ載置台１８に載置支持させる搬出用持込み作業や、庫内コンベヤ載置台１８に載置支持されている搬送容器Ｃを掬い取って空き状態の収納部における収納台に載置支持させる搬入用持ち出し作業を行うことができるようになっている。
また、図５に示すように、コンベヤ１及び庫内移載装置４の作動を制御する搬送制御手段Ｈｖが設けられている。

【0028】

コンベヤ１は、グレーチング床６から作業者の腰の高さに合わせた設定高さだけ上方に設置されており、水平方向の搬送面に沿って往復移動する載置台２０にて、搬送対象の搬送容器Ｃが作業者用移載箇所Ｐ及びストッカー内移載箇所Ｑとの間で載置搬送されるようになっている。
載置台２０は、コンベヤ１を構成するコンベヤフレーム２２の内部をその長手方向に沿って走行する走行体２３の上端に備えられている。走行体２３は、図示はしないが下端に走行車輪を備え、作業者用移載箇所Ｐとストッカー内移載箇所Ｑとの間で走行移動自在に構成されている。
そして、作業者用移載箇所Ｐやストッカー内移載箇所Ｑにおいて、載置台２０を、その上面が搬送面に一致する搬送用上昇位置と、この搬送用上昇位置よりも下方に位置する移載用下降位置とに昇降させることにより、作業者用移載箇所Ｐにおいて搬送容器Ｃを載置台２０と後述の検査用載置台１Ｐとの間で移載したり、ストッカー内移載箇所Ｑにおいて搬送容器Ｃを載置台２０と後述のストッカー内載置台１Ｑとの間で移載したりすることができるようになっている。

【0029】

図１及び図２に示すように、コンベヤ１の作業者用移載箇所Ｐには、検査用載置台１Ｐが、コンベヤフレーム２２の上面板に取り付け固定されている。検査用載置台１Ｐは、搬送容器Ｃを、その前面の開口Ｃｏをストッカー３に対向させる状態で、かつ、開口Ｃｏ側が上方に向けて５度傾斜する状態で支持するように設けられている。また、コンベヤ１のストッカー内移載箇所Ｑには、ストッカー内載置台１Ｑが、コンベヤフレーム２２の上面板に取り付け固定されている。ストッカー内載置台１Ｑも、検査用載置台１Ｐと同様に、搬送容器Ｃを、搬送容器Ｃの開口Ｃｏ側が上方に向けて５度傾斜する状態で支持するようにコンベヤフレーム２２の上面板に取り付け固定されている。

【0030】

〔搬送容器の構成〕
搬送容器Ｃは、図３に示すように、円板状に形成されたウェハーＷ（半導体基板）の外周部を支持する一対の支持体Ｃｓを上下方向に離間する状態で複数段並べて備える収納空間Ｓが設けられている。搬送容器Ｃの前面側には、収納空間Ｓと外部との間でウェハーＷを出し入れする開口Ｃｏが設けられている。

【0031】

なお、搬送容器Ｃは、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠した合成樹脂製の気密容器、例えばＦＯＳＢやＦＯＵＰと呼称されるものであり、これらＦＯＳＢやＦＯＵＰには、通常は開口Ｃｏを閉塞するための前面蓋が設けられているが、本実施形態では、上記のようなクリーンルーム内部での使用を前提として、開口Ｃｏを前面蓋にて閉塞せずに用いている。

【0032】

搬送容器Ｃは、ストッカー３に収納される前、つまり、その入庫口１９に向けて搬送容器Ｃを搬送するコンベヤ１の作業者用移載箇所Ｐにおいて、当該搬送容器Ｃの収納空間ＳにおけるウェハーＷの収納姿勢が正常であるか否かについての検査が実行される。すなわち、本実施形態では、作業者用移載箇所Ｐが本発明の検査用位置に相当する。したがって、検査用位置は、搬送容器Ｃを搬送する搬送経路上に設けられている。

【0033】

〔基板収納状態検査装置〕
上記ウェハーＷの収納姿勢が正常であるか否かについての検査を行う基板収納状態検査装置について説明する。
基板状態検査装置は、図１、２及び４に示すように、作業者用移載箇所Ｐに位置する搬送容器Ｃに収納されたウェハーＷに、搬送容器Ｃの開口Ｃｏから光を照射する照明手段６１と、照明手段６１にて光を照射された収納空間Ｓ内のウェハーＷを撮像する撮像手段としての撮像用カメラ５１と、を備えている。

【0034】

照明手段６１は、複数の赤外線ＬＥＤを上下方向に長尺状に並ぶように配置した照明部６２を搬送容器Ｃの開口Ｃｏ左右方向に離間して一対備えている。
一対の照明部６２の夫々は、検査用載置台１Ｐにおけるコンベヤ１の長手方向と直交する一対の側部の夫々から垂直方向に立設された垂直支持体６０ｖと、垂直支持体６０ｖにおける上下方向に離間した２箇所から水平方向に延出する水平支持体６０ｈとによって、コンベヤフレーム２２に固定支持されている。

【0035】

すなわち、照明手段６１は、上下方向に長尺状に構成された光源を備え、作業者用移載箇所Ｐに位置する搬送容器Ｃの開口Ｃｏの前面側において、開口左右方向に離間して一対設けられている。
また、左右一対の照明手段６１の夫々は、図４に示すように、搬送経路における搬送容器Ｃの移動範囲Ｋの両側部で且つ前記移動範囲と重複しない位置に設けられている。

【0036】

撮像用カメラ５１は、長手方向と直交する側部のから垂直方向に立設された垂直支持体５０ｖと、垂直支持体５０ｖの上端部から水平方向に延出する水平支持体５０ｈと、水平支持体５０ｈに取り付けられ、撮像用カメラ５１を平面視でコンベヤ１と重複し、かつ、その長手方向と直交する方向で中央にて支持する支持ブラケット５０ｂとによって、コンベヤフレーム２２に固定支持されている。撮像用カメラ５１は、上記赤外線ＬＥＤにて照射された赤外線による像を撮像可能なものであり、その視野は、搬送容器Ｃの収納空間Ｓに収納される全てのウェハーＷを撮像可能な範囲として設定されている。

【0037】

すなわち、左右一対の照明手段６１が、搬送経路における搬送容器Ｃの移動範囲の両側部で且つ移動範囲Ｋと重複しない位置に設けられ、撮像用カメラ５１が、搬送経路の上方で且つ移動範囲Ｋと重複しない位置に設けられている。

【0038】

基板収納状態検査装置は、図５に示すように、撮像コントローラＨ１と基板収納状態判別部Ｈ２とを備えて構成される判別用制御装置Ｈを備えている。判別用制御装置Ｈは、たとえば記憶装置と演算処理装置とを備えたコンピュータにて構成され、撮像コントローラＨ１を構成するプログラムプロセスと基板収納状態判別部Ｈ２を構成するプログラムプロセスとが、当該コンピュータの演算処理装置にて実行されている。
また、判別用制御装置Ｈには、制御用インタフェース又はデータ送受信用インタフェースを介して撮像用カメラ５１及び照明手段６１が接続され、撮像コントローラＨ１は、撮像用カメラ５１との間で撮像指令の指令及び撮像データの受け取りが自在に構成されており、さらに、撮像指令と同期させて照明手段６１への作動指令（ＬＥＤへの通電指令）を指令自在に構成されている。
そして、撮像コントローラＨ１は、撮像処理として、照明手段６１に作動指令を指令するとともに撮像用カメラ５１に撮像指令を指令し、撮像用カメラ５１にて撮像した画像を検査対象画像として基板収納状態判別部Ｈ２に引き渡す。

【0039】

図示はしないが、検査用載置台１Ｐには搬送容器Ｃが載置されたことを検出する載置検出センサが備えられ、判別用制御装置Ｈは、載置検出センサが検査用載置台１Ｐに搬送容器Ｃが載置されたことを検出すると、上述の撮像処理を実行する。

【0040】

基板収納状態判別部Ｈ２は、撮像用カメラ５１にて撮像された画像に基づいて、ウェハーＷの収納空間Ｓにおける収納姿勢が正常であるか否かを判別する。つまり、基板収納状態判別部Ｈ２が、本発明における基板収納状態判別手段に相当する。
判別用制御装置Ｈには、出力インタフェースとして、画像出力が可能なディスプレイ装置Ｄが備えられ、判別用制御装置Ｈによる処理結果を表示可能に構成されている。また、判別用制御装置Ｈには、入力インタフェースとしてポインティングデバイス（マウス等）と文字入力装置（キーボード等）とが備えられている。

【0041】

基板収納状態判別部Ｈ２が実行する処理について、図６のフローチャートに基づいて説明する。
基板収納状態判別部Ｈ２は、上記撮像処理にて撮像用カメラ５１により撮像された検査対象画像において、左右一対の照明手段６１が照射する光によりウェハーＷの周縁部における周方向で離間した箇所に生じる高輝度部分を検出する輝点検出処理を実行する（＃１）。
輝点検出処理は、左右一対の照明手段６１の光に照射されて生じるウェハーＷの左右に離間する輝点を、検査対象画像上で検出する処理である。

【0042】

続いて、輝点検出処理により検査対象画像上に検出される左右に離間した高輝度部分について、左右方向の一方側で検出されている高輝度部分に対応する高さの他方側の高輝度部分が存在する正常状態であるか、他方側の高輝度部分が存在しない異常状態であるかを判別することで半導体基板の収納姿勢が異常であるか否かを判別する姿勢判定処理を実行する（＃２）。

【0043】

＃２にて異常状態であると判別された場合（＃２：Ｙｅｓ）には、基板収納状態判別部Ｈ２は、高輝度部分が存在しない部分をウェハーＷが存在しない異常部分と判別して、図７に示すように、高輝度部分を示す高輝度シンボルＹ１と、異常部分を示す異常シンボルＹ２とを、検査対象画像における高輝度部分及び異常部分の相対位置関係に対応付ける形態でディスプレイ装置Ｄに表示する異常表示処理を実行する（＃５）。異常表示処理においては、図７の表示領域右上に示すように、総合判定結果表示Ｅとして「ＮＧ」と表示する（＃５）。
なお、異常表示処理の実行時には、基板収納状態判別部Ｈ２は搬送制御手段Ｈｖへの搬送停止指令を指令する。

【0044】

また、＃２にて正常状態であると判別された場合（＃２：Ｎｏ）には、基板収納状態判別部Ｈ２は、ディスプレイ装置Ｄに、検査対象画像を表示し、その検査対象画像に重ねる状態で高輝度部分を示す高輝度シンボルＹ１の存在位置のみを表示する正常表示処理を実行する。正常表示処理については図示を省略するが、正常状態であることを示す総合判定結果表示Ｅとして「ＯＫ」と表示する（＃３）。

【0045】

また、正常表示処理（＃３）に引き続き、基板収納状態判別部Ｈ２は搬送制御手段Ｈｖへの搬送指令を指令する。これにより、コンベヤ１及び庫内移載装置４が作動されて、搬送容器Ｃがストッカー３に収納されることになる。

【0046】

本実施形態では、ディスプレイ装置Ｄが基板収納状態判別部Ｈ２の判別結果を表示する表示手段に相当する。
そして、基板収納状態判別部Ｈ２は、輝点検出処理により検査対象画像上に検出される左右に離間した高輝度部分についての上下方向の位置の対応関係に基づいて、半導体基板の収納姿勢が異常であるか否かを判別する姿勢判別処理を実行するように構成されている。

【0047】

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、基板収納状態検査装置を円板状に形成されたウェハーＷを収納する搬送容器Ｃ内のウェハーＷの収納姿勢の検査に用いる場合を説明したが、ウェハーＷの形状は、平面視真円形の円板状に限定されるものではなく、例えば、ウェハーにおける結晶軸の方向を示すためのノッチやオリエンテーションフラットが設けられものであってもよい。
また、上記実施形態では、搬送容器Ｃの前面蓋を取り付けずに使用する形態を説明したが、このような使用形態に限定されるものではなく、例えば前面蓋を透明な材質で形成し、前面蓋の外方から照明手段による光の照射及び撮像用カメラによる撮像を行う形態としてもよい。

【0048】

（２）上記実施形態では、撮像用カメラ５１を搬送経路の上方で且つ搬送容器Ｃの移動範囲Ｋと重複しない位置に設ける構成を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば撮像用カメラを搬送経路の下方側で且つ搬送容器Ｃの移動範囲Ｋと重複しない位置に設ける構成としてもよい。
また、上記実施形態では、撮像用カメラ５１を１台のみ用いる構成を説明したが、撮像用カメラを搬送経路において移動範囲と重複しない位置に設けるものであれば、撮像用カメラを２台以上設ける構成としてもよい。この場合、例えば、撮像用カメラを、搬送経路において移動範囲と重複しない位置として、搬送容器Ｃの移動範囲Ｋの両側部に位置させて設けることが考えられる。

【0049】

（３）上記実施形態では、左右一対の照明手段の夫々を、上下方向に長尺状に構成された光源を備えて構成する例を説明したが、左右一対の照明手段夫々における光源の形状は上記のような構成に限定されるものではなく、収納空間Ｓ内の全ての支持体Ｃｓに支持されるウェハーＷに対して搬送容器Ｃの前面の開口Ｃｏから光を照射可能であれば、点状光源やリング状光源等、各種の形状の光源を用いても良い。

【0050】

（４）上記実施形態では、収納状態検査装置を、搬送容器Ｃの搬送元箇所としてのコンベヤ１の検査用載置台１Ｐからストッカー３の入庫口に向けて搬送容器Ｃを搬送するコンベヤ１に設ける構成を例示したが、コンベヤ１を設けない場合には、ストッカー３の入庫口に収納状態検査装置を設ける構成としてもよい。
また、搬送容器Ｃを搬送する搬送装置は、コンベヤに限定されるものではなく、自走台車等他の搬送手段であってもよい。

【0051】

（５）上記実施形態において、図７に示したディスプレイ装置Ｄへの表示は、異常表示処理の表示形態の一例であり、図７に示したような画像表示以外にも、例えばキャラクターモード画面にて高輝度シンボルと異常シンボルとを文字のみで表示したり、異常シンボルの存在箇所周囲の画像を特に拡大表示したり、総合判定結果表示Ｅのみを表示する等、各種の表示形態を採用することが可能である。
また、上記実施形態では、異常表示処理として、判別用制御装置Ｈに備えるディスプレイ装置Ｄへの表示を行う構成を例示したが、異常表示処理として情報を表示する対象は、判別用制御装置Ｈとネットワークを介して情報の送受が可能な別のコンピュータのディスプレイ装置や、使用者が携帯する携帯型無線端末の表示画面であってもよい。
さらに、異常表示処理として、ディスプレイ装置Ｄへの情報の表示以外に、警告灯の点等や音声による情報出力を用いてもよく、また、これらは夫々単独で用いてもよいし、いずれか又は全てを複合的に用いてもよい。

【0052】

（６）上記実施形態では、照明手段６１として赤外線ＬＥＤを使用し、撮像用カメラ５１は照明手段６１の赤外線ＬＥＤによる赤外線による像を撮像可能なものとするように構成したが、このような構成に限定されるものではなく、照明手段６１として可視光領域の光線を使用し、撮像用カメラ５１として、当該可視光領域の光による像を撮像可能なものを用いてもよい。

【符号の説明】

【0053】

１ 搬送装置
１９ 入庫口
５１ 撮像手段
６１ 照明手段
Ｃ 搬送容器
Ｃｏ 開口
Ｃｓ 支持体
Ｄ 表示手段
Ｈ２ 基板収納状態判別手段
Ｋ 移動範囲
Ｐ 検査用箇所
Ｓ 収納空間
Ｗ 半導体基板
Ｙ１ 高輝度シンボル
Ｙ２ 異常シンボル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】