特許 5881357 シート貼付装置及びシート製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5881357

(24)【登録日】2016年2月12日

(45)【発行日】2016年3月9日

(54)【発明の名称】シート貼付装置及びシート製造装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160225BHJP

   B65H 35/08 20060101ALI20160225BHJP

   B65H 35/07 20060101ALI20160225BHJP

   B26F 1/44 20060101ALI20160225BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   B65H35/08

   B65H35/07 K

   B26F1/44 B

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2011-211957(P2011-211957)

(22)【出願日】2011年9月28日

(65)【公開番号】特開2013-74105(P2013-74105A)

(43)【公開日】2013年4月22日

【審査請求日】2014年6月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101188

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 義雄

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 平野 崇

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−３００７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１００３３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２０９２５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１６５３６３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ２６Ｆ １／４４

Ｂ６５Ｈ ３５／０７

Ｂ６５Ｈ ３５／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記カッター部の変位手段を更に含み、当該変位手段は、前記カッター部を変位させることにより、前記接着シートの繰出方向先端部側の切込を形成するカッター刃領域の位置を変更可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記切込の形成を複数回行うことを特徴とするシート貼付装置。

【請求項3】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記カッター部の変位手段を更に含み、当該変位手段は、前記カッター部を変位させることにより、前記接着シートの繰出方向先端部側の切込を形成するカッター刃領域の位置を変更可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。

【請求項4】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記切込の形成を複数回行うことを特徴とするシート製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置及びシート製造装置に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及びシート製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置で切込を形成する場合、図３（Ａ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が２０μｍ前後剥離シートＲＬに入り込むように、当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔が調整される。なお、このような剥離シートＲＬは、通常５０μｍ前後の厚みを有するものが採用される。同図中ＷＳは帯状シート、ＢＳは基材シート、ＡＤは接着剤層、ＲＳは原反を示す。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１１６９２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、剥離シートＲＬにあっては、材料コストを低減するために、２５μｍ前後の薄手のものが採用される機会が多くなっている。このような薄手の剥離シートＲＬが採用された原反を特許文献１の装置で使用すると、図３（Ｂ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込まなくなり、ピールプレートで切込ＣＵの内側に形成された接着シートと、その外側に形成された不要シートとを確実に切り離すことができず、当該接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。

【0005】

ここで、図３（Ｂ）において、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込むように当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔を再調整することで、接着シートを確実に不要シートから切り離すようにできる。ところが、この場合、調整の切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔を近付け過ぎると、装置の振動、雰囲気の温度や湿度、切断刃ＨＣの変形等の何らかの影響によって、ときに切込ＣＵが部分的又は全体的に原反を貫通してしまい、少しの外力を受けただけで接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが原反ＲＳから抜け落ちてしまったり、ピールプレートで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまい、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を発生してしまう、という不都合を招来する。

【0006】

［発明の目的］
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及びシート製造装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記カッター部の変位手段を更に含み、当該変位手段は、前記カッター部を変位させることにより、前記接着シートの繰出方向先端部側の切込を形成するカッター刃領域の位置を変更可能に設けられる、という構成を採っている。

【0008】

本発明において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を有し、前記調整手段は、前記接触検知手段の検知結果に基づいて、前記間隔を調整可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。

【0010】

更に、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記切込の形成を複数回行う、という構成を採っている。

【0011】

更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との接触を検知する、という方法を採っている。

【0012】

また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記カッター部の変位手段を更に含み、当該変位手段は、前記カッター部を変位させることにより、前記接着シートの繰出方向先端部側の切込を形成するカッター刃領域の位置を変更可能に設けられる、という構成を採っている。
更に、本発明に係るシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記切込の形成を複数回行う、という構成を採っている。

【0013】

また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との接触を検知する、という方法を採っている。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、カッター部と受圧部との接触を検知することで、切込が原反を貫通してしまったことを検知することができるので、切込が部分的又は全体的に原反を貫通してしまったとしても、それを検知して、例えば、シート貼付装置やシート製造装置を非常停止させたり、音や光等の通知手段によってオペレータ等に知らせたりすることができ、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を未然に防止することができる。

【0015】

また、カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を設けた場合、接触検知手段の検知結果に基づいて間隔を調整可能になり、シート貼付装置やシート製造装置を非常停止させる必要がなくなる。
更に、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する構成とした場合、当該カッター刃の一部領域が摩耗等によって劣化しても、他の領域で接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成することができる。

【0016】

また、１枚の接着シート形成に対して切込の形成を複数回行うことで、切込の深さを確実に所定の深さとすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。

【図2】切込形成後の原反の概略斜視図。

【図3】（Ａ）及び（Ｂ）は、従来例に係る切断要領を示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。

【0019】

図１及び図２において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。

【0020】

前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。

【0021】

前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ３６と、原反ＲＳを間に挟んでダイカットローラ３６と対向配置され、ダイカットローラ３６の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を左右方向に移動させて当該ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整可能な調整手段３８と、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との接触を検知可能な接触検知手段３９とを備えている。なお、プラテンローラ３７は、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられている。

【0022】

前記ダイカットローラ３６は、回動モータＤＭ３と共にブラケット４１を介して調整手段３８に支持されている。ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。また、切断刃４０は、例えば、ダイカットローラ３６の回転方向に２７０°の範囲に亘って設けられ、当該回転方向での先端を図１中符号４０ａで示し、後端を同図中符号４０ｂで示す。なお、切断刃４０の高さは、４５０μｍに設定されている。

【0023】

前記調整手段３８は、ブラケット４１に連結された出力軸３８Ａを備え、当該出力軸３８Ａを左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータとしての機能と、図１中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に出力軸３８Ａを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸３８Ａを図１中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ３６を同図中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に１８０°回転駆動することで、ダイカットローラ３６の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、切込ＣＵの形成を開始する領域を切断刃４０の後端４０ｂに変更可能となり、切断刃４０の先端４０ａ及び後端４０ｂの何れからでも切込ＣＵを形成開始可能となり、先端４０ａ及び後端４０ｂの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用することが可能となる。なお、変位手段は、調整手段３８から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。

【0024】

前記接触検知手段３９は、プラテンローラ３７と切断刃４０とが接触することで、電気的に接続されたことを検知可能なセンサ４５を備えている。これにより、プラテンローラ３７と切断刃４０とが原反ＲＳの存在によって絶縁されている状態を非接触状態として判断でき、プラテンローラ３７と切断刃４０とが電気的に導通している状態を接触状態として判断できるようになっている。

【0025】

ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。

【0026】

前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。

【0027】

次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。

【0028】

まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートＷＳの厚みは１００μｍ、剥離シートＲＬの厚みは２５μｍのものが採用されている。また、調整手段３８によって、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する。本実施形態では、切断刃４０が切込ＣＵを形成する際、当該切断刃４０の頂点とプラテンローラ３７の外周面との間隔が１０μｍになるように設定されている。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。

【0029】

そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。この接着シートＡＳの形成過程で、例えば、何らかの影響によって切込ＣＵが部分的又は全体的に原反を貫通してしまった場合、接触検知手段３９は、プラテンローラ３７と切断刃４０との接触を検知し、その検知信号を図示しないコンピュータやシーケンサ等の制御手段に出力する。制御手段は、接触検知手段３９からの検知信号を受けると、シート貼付装置１０の作動を全て停止して非常停止状態としたり、音や光等の通知手段によってオペレータ等に知らせたりする緊急対応を行うことができる。ここで、図示しない制御手段は、１の接着シートＡＳを形成する間に接触検知手段３９から入力される検知信号の継続時間を内部タイマによって計測し、当該継続時間が所定時間以内であれば、非常停止等の緊急対応を行わないタイムキャンセル手段を設けてもよい。また、図示しない制御手段は、１の接着シートＡＳを形成する間に接触検知手段３９から発せられる検知信号の入力回数を内部カウンタによってカウントし、当該入力回数が所定回数以内であれば、非常停止等の緊急対応を行わないカウントキャンセル手段を設けてもよい。なお、カウントキャンセル手段は、タイムキャンセル手段を優先させる方が好ましい。

【0030】

切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。このとき、切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔をそれらが接触しない程度に設定したので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと切り離され易くなり、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、切込ＣＵが確実に剥離シートＲＬに入り込んでいるので、接着シートＡＳの繰出方向先端部は確実に剥離シートＲＬから剥離され、剥離シートＲＬと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取られるようなことはない。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。このとき、接着シートＡＳの繰出方向先端部に対応する剥離シートＲＬ部分が確実に接着シートＡＳから剥離されているので、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されるようなことはない。

【0031】

従って、このような実施形態によれば、切断刃４０とプラテンローラ３７との接触を検知することができるので、切込ＣＵが部分的又は全体的に原反ＲＳを貫通してしまったとしても、それを検知して、非常停止等の緊急対応を採ることができ、接着シートＡＳとそれに対応する剥離シートＲＬ部分が原反ＲＳから抜け落ちてしまったり、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートＡＳの貼付不良を抑制することができる。

【0032】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0033】

例えば、切断刃４０の頂点とプラテンローラ３７との間隔を、原反ＲＳの厚みより約１００μｍ程度大きくし、切断刃４０の先端４０ａがプラテンローラ３７に対向した状態としておく。そして、原反ＲＳの繰出を停止させた状態で、調整手段３８を駆動させ、ダイカットローラ３６を右方向に移動して切断刃４０とプラテンローラ３７とを接近させる。切断刃４０の先端４０ａと接触部４４とが接触すると、接触検知手段３９が当該接触を検知し、その検知信号を図示しない制御手段に出力する。制御手段は、接触検知手段３９からの検知信号を受け、調整手段３８に対してダイカットローラ３６を例えば１０μｍ左方向に移動させ指令を送る。この状態から、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳの繰出を行い、切込ＣＵを形成するように構成してもよい。
また、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成する前の段階で、原反ＲＳに線状若しくは点状のテスト用切込ＴＣ（図２参照）を形成するテスト切断を行うように構成してもよい。この場合、上記と同様に、原反ＲＳの繰出を停止させた状態で、切断刃４０とプラテンローラ３７とを接近させてそれらが接触すると、図示しない制御手段がその接触位置を記憶する。その後、調整手段３８によって、切断刃４０の頂点が原反ＲＳに接触しない位置とされた後に、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳの繰出を行い、切込ＣＵを形成する。この切込ＣＵを形成するとき、制御手段は、先に記憶した接触位置を基に、切断刃４０の先端４０ａがプラテンローラ３７に対して１０μｍ左方向に位置するように制御を行う。なお、このようなテスト用切込ＴＣを形成する動作は、１枚の接着シートＡＳを形成する毎に行ってもよいし、複数枚の接着シートＡＳ形成毎に行ったり、ダイカットローラ３６や切断刃４０を交換する毎に、１回或いは複数回行ったりしてもよい。

【0034】

また、接触検知手段３９は、前記実施形態と同様に検知を行える限りにおいて、種々の設計変更が可能である。例えば、切断刃４０によってプラテンローラ３７に局所的に加わる押圧力を検知可能な圧力センサにより構成し、その圧力値の検知結果によりプラテンローラ３７と切断刃４０との接触を検知するようにしてもよい。

【0035】

更に、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。

【0036】

また、切込Ｃの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、切込ＣＵの形成を複数回行ってもよい。

【0037】

更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。

【0038】

また、切断刃４０の平面形状は、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。

【0039】

更に、切断刃４０は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。

【0040】

また、調整手段３８による切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。

【0041】

更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
更に、上記実施形態と同様の調整手段３８をプラテンローラ３７側にも設け、ダイカットローラ３６を停止させた状態で、プラテンローラ３７をダイカットローラ３６に対して離間接近させたり、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７を相互に離間接近させたりして切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔を調整するようにしてもよい。

【0042】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【0043】

更に、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。

【符号の説明】

【0044】

１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
３６ カッター部（ダイカットローラ）
３７ 受圧部（プラテンローラ）
３８ 調整手段
３９ 接触検知手段
４０ 切断刃
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
ＴＣ テスト用切込
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート

【図1】

【図2】

【図3】