特許 5881358 シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5881358

(24)【登録日】2016年2月12日

(45)【発行日】2016年3月9日

(54)【発明の名称】シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160225BHJP

   B65H 35/08 20060101ALI20160225BHJP

   B65C 9/18 20060101ALN20160225BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   B65H35/08

   !B65C9/18

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2011-211958(P2011-211958)

(22)【出願日】2011年9月28日

(65)【公開番号】特開2013-74106(P2013-74106A)

(43)【公開日】2013年4月22日

【審査請求日】2014年6月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100101188

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 義雄

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 平野 崇

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−３００７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１１４２７０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ６５Ｈ ３５／０８

Ｂ６５Ｃ ９／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを初期剥離領域から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記剥離手段の前段に、前記切断手段により前記切込が原反を貫通して形成されたことを検知可能な検知手段と、前記剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付する繋ぎシート貼付手段とを備え、
前記繋ぎシート貼付手段は、前記検知手段の検知結果を基に前記繋ぎシートを貼付可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記剥離工程の前段で、前記切込が原反を貫通して形成されたことを検知したときに、その検知結果を基に前記剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付する貼付工程を備えていることを特徴とするシート貼付方法。

【請求項3】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段により前記切込が原反を貫通して形成されたことを検知可能な検知手段と、
前記剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付する繋ぎシート貼付手段とを備え、
前記繋ぎシート貼付手段は、前記検知手段の検知結果を基に前記繋ぎシートを貼付可能に設けられているを備えていることを特徴とするシート製造装置。

【請求項4】

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記切断工程で前記切込が原反を貫通して形成されたことを検知したときに、その検知結果を基に前記剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付する貼付工程とを備えていることを特徴とするシート製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置で切込を形成する場合、図６（Ａ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が２０μｍ前後剥離シートＲＬに入り込むように、当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔が調整される。なお、このような剥離シートＲＬは、通常５０μｍ前後の厚みを有するものが採用される。同図中ＷＳは帯状シート、ＢＳは基材シート、ＡＤは接着剤層、ＲＳは原反を示す。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１１６９２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、剥離シートＲＬにあっては、材料コストを低減するために、２５μｍ前後の薄手のものが採用される機会が多くなっている。このような薄手の剥離シートＲＬが採用された原反に対し、特許文献１の装置で剥離シートＲＬに切断刃ＨＣの刃先を２０μｍ前後入り込ませて接着シートを形成した場合、図６（Ｂ）に示されるように、切込ＣＵが形成された位置における剥離シートＲＬの厚みが薄くなり過ぎてしまうので、少しの外力を受けただけで接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが原反ＲＳから抜け落ちてしまったり、図６（Ｃ）に示されるように、ピールプレートＰＰで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまい、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を発生してしまう、という不都合を招来する。

【0005】

［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを初期剥離領域から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記剥離手段の前段に、前記切断手段により前記切込が原反を貫通して形成されたことを検知可能な検知手段と、前記剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付する繋ぎシート貼付手段とを備え、
前記繋ぎシート貼付手段は、前記検知手段の検知結果を基に前記繋ぎシートを貼付可能に設けられる、という構成を採っている。

【0007】

本発明において、前記繋ぎシート貼付手段は、前記初期剥離領域に対応する初期切込に跨って前記繋ぎシートを貼付可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。

【0009】

また、前記切断手段は、閉ループ状の切断刃を有するカッター部と、当該カッター部の押圧力を原反の剥離シート側から受ける受圧部とを備え、当該受圧部は、前記繋ぎシートを保持可能に設けられる、という構成を採ることができる。

【0010】

更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記剥離工程の前段で、前記切込が原反を貫通して形成されたことを検知したときに、その検知結果を基に前記剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付する貼付工程を備える、という方法を採っている。

【0011】

また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段により前記切込が原反を貫通して形成されたことを検知可能な検知手段と、
前記剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付する繋ぎシート貼付手段とを備え、
前記繋ぎシート貼付手段は、前記検知手段の検知結果を基に前記繋ぎシートを貼付可能に設けられているを備える、という構成を採っている。

【0012】

また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記切断工程で前記切込が原反を貫通して形成されたことを検知したときに、その検知結果を基に前記剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付する貼付工程とを備える、という方法を採っている。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、繋ぎシート貼付手段が剥離シートの他方の面に繋ぎシートを貼付するので、剥離シートに深い切込が形成されても、接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが簡単に原反から抜け落ちてしまったり、ピールプレートで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまったりするといった不都合を解消することができる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、前述と同様に切込が形成され、且つ、繋ぎシートが貼付された原反を準備でき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、前述した貼付不能を回避することができる。

【0014】

また、初期切込に跨って繋ぎシートを貼付する場合、接着シートの初期剥離領域を確実に不要シートから切り離すことができる。

【0015】

更に、検知手段により原反を貫通するよう切込を形成したことを検知可能とし、この検知結果に基づいて繋ぎシートを貼付するので、原反を貫通した切込部分にだけ繋ぎシートを貼付可能となり、繋ぎシートの消費量を抑制したり、繋ぎシートを貼付する工程の短縮化を図ったりすることができる。

【0016】

また、受圧部が繋ぎシートを保持可能とした場合、切断手段を利用して繋ぎシート貼付手段を構成することができ、装置全体が大型化することを抑制することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。

【図2】（Ａ）、（Ｂ）は、繋ぎシートを貼付した原反の説明図。

【図3】（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例に係る繋ぎシートを貼付した原反の説明図。

【図4】変形例に係る繋ぎシート貼付手段及び切断手段の正面図。

【図5】変形例に係る繋ぎシート貼付手段及び切断手段の正面図。

【図6】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、従来例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。

【0019】

図１及び図２において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の第１剥離シートＲＬ１と、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、この切断手段１５を経た第１剥離シートＲＬ１の他方の面に繋ぎシートＣＳを貼付可能に設けられた繋ぎシート貼付手段１６と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１７と、第１剥離シートＲＬ１を折り返して接着シートＡＳを第１剥離シートＲＬ１から剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して第１剥離シートＲＬ１の一方の面に仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。

【0020】

前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の第１剥離シートＲＬ１を挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の第１剥離シートＲＬ１を図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。

【0021】

前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ３６と、原反ＲＳを間に挟んでダイカットローラ３６と対向配置され、ダイカットローラ３６の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を左右方向に移動させて当該ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整可能な調整手段３８と、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との接触を検知可能な検知手段３９とを備えている。なお、プラテンローラ３７は、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられている。

【0022】

前記ダイカットローラ３６は、回動モータＤＭ３と共にブラケット４１を介して調整手段３８に支持されている。ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。また、切断刃４０は、例えば、ダイカットローラ３６の回転方向に２７０°の範囲に亘って設けられ、当該回転方向での先端を図１中符号４０ａで示し、後端を同図中符号４０ｂで示す。ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が切断刃４０の先端４０ａにより形成される。この先端４０ａにより形成された接着シートＡＳ部分が剥離板１８によって第１剥離シートＲＬ１から最初に剥離される初期剥離領域Ｓａとなり、この初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＣＵ部分が初期切込ＣＵ１とされる。

【0023】

前記調整手段３８は、ブラケット４１に連結された出力軸３８Ａを備え、当該出力軸３８Ａを左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータとしての機能と、図１中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に出力軸３８Ａを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸３８Ａを図１中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ３６を同図中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に１８０°回転駆動することで、ダイカットローラ３６の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、切込ＣＵの形成を開始する領域を切断刃４０の後端４０ｂに変更可能となり、切断刃４０の先端４０ａ及び後端４０ｂの何れからでも切込ＣＵを形成開始可能となり、先端４０ａ及び後端４０ｂの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用することが可能となる。なお、変位手段は、調整手段３８から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。

【0024】

前記検知手段３９は、プラテンローラ３７と切断刃４０とが接触することで、電気的に接続されたことを検知可能なセンサ４５を備えている。これにより、プラテンローラ３７と切断刃４０とが原反ＲＳの存在によって絶縁されている状態を非接触状態として判断でき、プラテンローラ３７と切断刃４０とが電気的に導通している状態を接触状態として判断できるようになっている。

【0025】

ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。

【0026】

前記繋ぎシート貼付手段１６は、帯状の第２剥離シートＲＬ２を駆動機器としての回動モータＤＭ５によって繰り出し、この繰り出しの途中で第２剥離シートＲＬ２を繋ぎシート剥離板４７Ａで折り返し、当該第２剥離シートＲＬ２に所定間隔毎に仮着された繋ぎシートＣＳを１枚ずつ剥離して供給可能な供給手段４７と、この供給手段４７から供給された繋ぎシートＣＳを押圧して第１剥離シートＲＬ１の他方の面に貼付する押圧ローラ４８とを備えて構成されている。

【0027】

前記巻取手段１７は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを第１剥離シートＲＬ１から剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。剥離ローラ５０は、原反Ｒを間に挟んで押圧ローラ４８と対向配置され、押圧ローラ４８の押圧力を受け止めるようになっている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。

【0028】

次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。

【0029】

まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、第１剥離シートＲＬ１から帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、第１剥離シートＲＬ１は、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートＷＳの厚みは１００μｍ、第１剥離シートＲＬ１の厚みは２５μｍのものが採用されている。また、調整手段３８によって、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する。本実施形態では、切断刃４０が切込ＣＵを形成する際、当該切断刃４０の頂点とプラテンローラ３７の外周面との間隔が５μｍになるように設定されている。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。

【0030】

そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。この接着シートＡＳの形成過程で、例えば、何らかの影響によって切込ＣＵが部分的又は全体的に原反を貫通してしまった場合、検知手段３９は、プラテンローラ３７と切断刃４０との接触を検知し、その検知信号を図示しないコンピュータやシーケンサ等の制御手段に出力する。制御手段は、検知手段３９からの検知信号を受けると、繋ぎシート貼付手段１６によって繋ぎシートＣＳを１枚繰り出して、当該繋ぎシートＣＳを第１剥離シートＲＬ１の他方の面に貼付する。この繋ぎシートＣＳの貼付は、本実施形態では、図２に示されるように、初期切込ＣＵ１に対応する領域を第１剥離シートＲＬ１の他方の面から繋ぎ合わせるように行われる。

【0031】

繋ぎシートＣＳが貼付された後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。このとき、第１剥離シートＲＬ１の他方の面に繋ぎシートＣＳが貼付されているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、切込ＣＵが確実に剥離シートＲＬに入り込んでいるので、接着シートＡＳの繰出方向先端部は確実に剥離シートＲＬから剥離され、第１剥離シートＲＬ１と共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取られることはない。更に、第１剥離シートＲＬ１の他方の面に繋ぎシートＣＳが貼付されているので、接着シートＡＳと共に対応する剥離シートＲＬ部分も抜けてしまい、剥離シートＲＬ部分が付随した状態で接着シートＡＳがスタンバイ状態となることもない。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。
その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。このとき、接着シートＡＳの繰出方向先端部に対応する剥離シートＲＬ部分が確実に接着シートＡＳから剥離されているので、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されるようなことはない。

【0032】

従って、このような実施形態によれば、第１剥離シートＲＬ１に繋ぎシートＣＳを貼付したので、切断手段１５を経た後の原反ＲＳから、接着シートＡＳが抜け落ち、当該接着シートＡＳの貼付が行えなくなることを防止できる。これにより、第１剥離シートＲＬ１が薄厚化しても、これに対応して接着シートＡＳの剥離及び貼付を良好に行うことができ、当該薄厚化によるコストダウンの要求に応じることが可能となる。

【0033】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

【0034】

例えば、図３（Ａ）に示されるように、繋ぎシートＣＳを帯状に形成して複数の接着シートＡＳ部分に跨るように連続して貼付してもよい。この場合、同図（Ｂ）に示されるように、切込ＣＵの全領域において原反ＲＳを貫通するように切断してもよい。

【0035】

また、図４に示されるように、プラテンローラ３７を繋ぎシートＣＳを吸着保持可能なサクションローラとし、当該プラテンローラ３７に繋ぎシート貼付手段１６から枚葉又は帯状の繋ぎシートＣＳを供給してもよい。同図によれば、プラテンローラ３７に保持された繋ぎシートＣＳが当該プラテンローラ３７とダイカットローラ３６との間を通過するときに、第１剥離シートＲＬ１の他方の面に貼付される。

【0036】

更に、帯状の繋ぎシートＣＳを用いる場合、図５に示されるような繋ぎシート貼付手段１６としてもよい。この場合、プラテンローラ３７をサクションローラとする必要はなく、基材シートＢＳ２に接着剤層ＡＤ２が積層された帯状の繋ぎシートＣＳを実線で示されるように、プラテンローラ３７と第１剥離シートＲＬ１との間に供給したり、二点鎖線で示されるように、第１駆動ローラ２７と第１剥離シートＲＬ１との間に供給したりする構成が採用できる。

【0037】

また、検知手段３９は、前記実施形態と同様に検知を行える限りにおいて、種々の設計変更が可能である。例えば、切断刃４０によってプラテンローラ３７に局所的に加わる押圧力を検知可能な圧力センサにより構成し、その圧力値の検知結果によりプラテンローラ３７と切断刃４０との接触を検知するようにしてもよい。

【0038】

更に、前記巻取手段１６を省略し、第１剥離シートＲＬ１から不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、第１剥離シートＲＬ１と不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。

【0039】

また、切込ＣＵの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、切込ＣＵの形成を複数回行ってもよい。

【0040】

更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが第１剥離シートＲＬ１に仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。
また、繋ぎシート貼付手段１６を図１の奥行き方向に１体追加し、検知手段３９からの検知信号を受けて、切込ＣＵが部分的に原反を貫通してしまった部位に対応して繋ぎシートＣＳを第１剥離シートＲＬ１の他方の面に貼付するように構成してもよい。
更に、繋ぎシート貼付手段１６は、接着シートＡＳよりも大きな繋ぎシートＣＳを貼付できるようにしてもよい。

【0041】

また、切断刃４０の平面形状は、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能である。

【0042】

更に、切断手段１５は、前記切込ＣＵを形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。この場合、原反ＲＳの第１剥離シートＲＬ１側に検知手段として受光手段を配置し、この受光手段がレーザ光線を受光したことで切込ＣＵが原反ＲＳを貫通することを検知するようにしてもよい。
また、切断刃４０は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。

【0043】

更に、調整手段３８による切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
また、調整手段３８は、前記間隔を調整できる限りにおいて、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方を左右に移動可能に設ければよい。

【0044】

更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
更に、検知手段３９を設けずに、繋ぎシート貼付手段１６が常に枚葉又は帯状の繋ぎシートＣＳを第１剥離シートＲＬ１の他方の面に貼付するように構成してもよい。
また、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
更に、上記実施形態と同様の調整手段３８をプラテンローラ３７側にも設け、ダイカットローラ３６を停止させた状態で、プラテンローラ３７をダイカットローラ３６に対して離間接近させたり、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７を相互に離間接近させたりして切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔を調整するようにしてもよい。

【0045】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【0046】

更に、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。

【0047】

また、原反ＲＳにおける帯状シートＷＳが予め他の装置等によって、所定の間隔を隔てて所定形状の切込ＣＵが形成されることで当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳが形成されるとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳが形成されたものの場合、前記シート貼付装置１０の切断手段１５を省略することができる。このような場合にでも、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。

【符号の説明】

【0048】

１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１６ 繋ぎシート貼付手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
３６ カッター部（ダイカットローラ）
３７ 受圧部（プラテンローラ）
３８ 調整手段
３９ 検知手段
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＣＵ１ 初期切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ１ 第１剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】