特許 5881393 窒化物半導体発光素子およびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5881393

(24)【登録日】2016年2月12日

(45)【発行日】2016年3月9日

(54)【発明の名称】窒化物半導体発光素子およびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 33/32 20100101AFI20160225BHJP

   H01L 33/22 20100101ALI20160225BHJP

   H01L 33/06 20100101ALI20160225BHJP

【ＦＩ】

   H01L33/00 186

   H01L33/00 172

   H01L33/00 112

【請求項の数】7

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2011-266822(P2011-266822)

(22)【出願日】2011年12月6日

(65)【公開番号】特開2013-120774(P2013-120774A)

(43)【公開日】2013年6月17日

【審査請求日】2014年10月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】304020177

【氏名又は名称】国立大学法人山口大学

(73)【特許権者】

【識別番号】000005049

【氏名又は名称】シャープ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】柏原 博之

(72)【発明者】

【氏名】岡田 成仁

(72)【発明者】

【氏名】只友 一行

(72)【発明者】

【氏名】瀧口 治久

【審査官】 村井 友和

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−１５００７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２１８７４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１５３８３８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ３３／００−３３／６４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ｎ型窒化物半導体層と、トリガ層と、Ｖピット拡大層と、発光層と、ｐ型窒化物半導体層とがこの順で設けられて構成された窒化物半導体発光素子であって、
前記発光層には、Ｖピットが形成されており、
前記トリガ層は、前記ｎ型窒化物半導体層の上面を構成する材料とは異なる格子定数を有する窒化物半導体材料からなり、
前記Ｖピット拡大層は、前記ｎ型窒化物半導体層の上面を構成する材料とは実質的に同一の格子定数を有する窒化物半導体材料からなり、５ｎｍ以上５０００ｎｍ以下の厚みを有する窒化物半導体発光素子。

【請求項2】

ｎ型窒化物半導体層と、トリガ層と、Ｖピット拡大層と、発光層と、ｐ型窒化物半導体層とがこの順で設けられて構成された窒化物半導体発光素子であって、
前記発光層には、Ｖピットが形成されており、
前記トリガ層は、前記ｎ型窒化物半導体層の上面を構成する材料とは異なる格子定数を有する窒化物半導体材料からなり、
前記Ｖピット拡大層は、前記ｎ型窒化物半導体層の上面を構成する材料とは実質的に同一の格子定数を有する窒化物半導体材料からなり、前記発光層の上面における前記Ｖピットの直径が８６ｎｍ以上となる厚みを有する窒化物半導体発光素子。

【請求項3】

前記発光層は、井戸層とバリア層とが積層されて構成されており、
前記トリガ層は、前記井戸層よりも大きなバンドギャップエネルギーを有する請求項１または２に記載の窒化物半導体発光素子。

【請求項4】

前記ｎ型窒化物半導体層の上面は、ＧａＮからなり、
前記井戸層は、Ｉｎ_xＧａ_1-xＮ（０．０１＜ｘ＜１）からなり、
前記トリガ層は、Ｉｎ_yＧａ_1-yＮ（０．０１≦ｙ＜ｘ）からなる請求項３に記載の窒化物半導体発光素子。

【請求項5】

前記ｎ型窒化物半導体層の上面および前記Ｖピット拡大層は、ＧａＮからなる請求項１または２に記載の窒化物半導体発光素子。

【請求項6】

前記トリガ層は、２０ｎｍ以下の厚みを有する請求項１または２に記載の窒化物半導体発光素子。

【請求項7】

請求項１〜６のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子を製造する方法であって、
前記トリガ層の成長温度を、前記ｎ型窒化物半導体層の成長温度以下とし、
前記Ｖピット拡大層の成長温度を、前記トリガ層の成長温度以上とする窒化物半導体発光素子の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、窒化物半導体発光素子およびその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

窒素を含むＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体（以下「窒化物半導体」と呼ぶ）は、赤外領域から紫外領域の波長を有する光のエネルギーに相当するバンドギャップを有しているため、赤外領域から紫外領域の波長を有する光を発光する発光素子やその領域の波長を有する光を受光する受光素子の材料として有用である。

【0003】

また、窒化物半導体は、窒化物半導体を構成する原子間の結合が強く、絶縁破壊電圧が高く、飽和電子速度が大きいことから、耐高温・高出力・高周波トランジスタなどの電子デバイスの材料としても有用である。

【0004】

さらに、窒化物半導体は、環境を害することがほとんどなく、取り扱いやすい材料としても注目されている。

【0005】

このような窒化物半導体を用いた窒化物半導体発光素子では、発光層として量子井戸構造を採用することが一般的である。電圧が印加されると、電子とホールとが拡散により発光層中に流入し、発光層中の井戸層において電子とホールとが再結合され、これにより、光が発生する。

【0006】

ＩｎＧａＮ系ＬＥＤ（Light Emitting Diode）においては、多重量子井戸構造（Multi Quantum Wells、以下では「ＭＱＷｓ」と記す）の直下にＩｎＧａＮ／ＧａＮからなる歪超格子（Strained-Layer Superlattice、以下では「ＳＬＳ」と記す）構造を挿入することによりＬＥＤの発光強度が向上するという報告はされている。しかし、この物性現象の詳細は不明である。また、ＬＥＤの発光強度がＳＬＳ構造における繰り返し周期の数に依存するか否かも不明である。

【0007】

ところで、窒化物半導体構造において、Ｖピット（V pit、V-shaped pit）などと呼ばれる形状の欠陥があることが知られている。たとえば特許文献１にはＬＥＤチップの表面に「六方ピラミッドキャビティ」を形成した構造が開示されている。

【0008】

Ｖピットは欠陥であるため、一般にはその発生を抑制することによりＬＥＤの特性が向上するのではないかと考えられている。一方、非特許文献１には、ＭＱＷｓ内におけるＶピットの作用が報告されている。これによれば、ＭＱＷｓ内にＶピットがあると、Ｖピットの斜面における量子井戸幅が狭くなるため、量子準位のエネルギーが大きくなるなどの効果により、実効的なバンドギャップが大きくなり、量子井戸における電子・ホールがＶピット内部に到達することが妨げられ、結果としてＭＱＷｓ内における非発光再結合が抑制されるとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開２００５−２７７４２３号公報

【非特許文献】

【0010】

【非特許文献1】A. Hangleiter, F. Hitzel, C. Netzel, D. Fuhrmann, U. Rossow, G. Ade, and P. Hinze, “Suppression of Nonradiative Recombination by V-Shaped Pits in GaInN/GaN Quantum Wells Produces a Large Increase in the Light Emission Efficiency”, Physical Review Letters 95, 127402 (2005)

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

窒化物半導体発光素子には、発光効率の更なる向上が要求されている。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、発光効率に優れた窒化物半導体発光素子を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明は、所定の大きさのＶピットが発光層に形成されれば窒化物半導体発光素子の発光効率の向上を図ることができるというものである。具体的には、本発明に係る第１の窒化物半導体発光素子は、ｎ型窒化物半導体層と、トリガ層と、Ｖピット拡大層と、発光層と、ｐ型窒化物半導体層とがこの順で設けられて構成されている。発光層には、Ｖピットが形成されている。トリガ層は、ｎ型窒化物半導体層の上面を構成する材料とは異なる格子定数を有する窒化物半導体材料からなる。Ｖピット拡大層は、ｎ型窒化物半導体層の上面を構成する材料とは実質的に同一の格子定数を有する窒化物半導体材料からなり、５ｎｍ以上５０００ｎｍ以下の厚みを有する。

【0013】

本発明に係る第２の窒化物半導体発光素子は、ｎ型窒化物半導体層と、トリガ層と、Ｖピット拡大層と、発光層と、ｐ型窒化物半導体層とがこの順で設けられて構成されている。発光層には、Ｖピットが形成されている。トリガ層は、ｎ型窒化物半導体層の上面を構成する材料とは異なる格子定数を有する窒化物半導体材料からなる。Ｖピット拡大層は、ｎ型窒化物半導体層の上面を構成する材料とは実質的に同一の格子定数を有する窒化物半導体材料からなり、発光層の上面におけるＶピットの直径が８６ｎｍ以上となる厚みを有する。

【0014】

発光層は、井戸層とバリア層とが積層されて構成されていることが好ましい。この場合、トリガ層は、井戸層よりも大きなバンドギャップエネルギーを有することが好ましい。

【0015】

ｎ型窒化物半導体層の上面がＧａＮからなるとき、井戸層はＩｎ_xＧａ_1-xＮ（０．０１＜ｘ＜１）からなれば良く、トリガ層はＩｎ_yＧａ_1-yＮ（０．０１≦ｙ＜ｘ）からなれば良い。

【0016】

ｎ型窒化物半導体層の上面がＧａＮからなるとき、Ｖピット拡大層はＧａＮからなれば良い。

【0017】

トリガ層は、２０ｎｍ以下の厚みを有することが好ましい。
本発明に係る窒化物半導体発光素子の製造方法では、トリガ層がInGaNからなるときには、トリガ層の成長温度をｎ型窒化物半導体層の成長温度以下とし、Ｖピット拡大層の成長温度をトリガ層の成長温度以上とすることが望ましい。

【発明の効果】

【0018】

本発明に係る窒化物半導体発光素子では、トリガ層によりＶピットの形成が開始され、且つＶピット拡大層によりＶピットの径が拡大されるので、発光層は所定の大きさのＶピットの側壁にも形成される。このＶピットの側壁部分では井戸層の組成が変わる、または井戸層の厚みが薄く量子準位のエネルギーが大きくなるなどの効果により、実効的なバンドギャップが広がり、Ｖピットの下部に存在している貫通転位へのキャリアの注入が抑えられ、結果として発光効率が向上すると考えられる。したがって、発光層内での非発光再結合の発生が抑制されるので、発光効率に優れた窒化物半導体発光素子を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】ＳＬＳ層の効果を調べる評価用サンプルの模式断面図である。

【図2】評価用サンプルのＡＦＭ（Atomic Force Microscopy）画像の微分画像である。

【図3】Ｖピットの模式斜視図である。

【図4】ＳＬＳ層における繰り返し周期の数とＶピットの直径との関係を示すグラフである。

【図5】（ａ）はＳＬＳ層を備えていない窒化物半導体発光素子の模式断面図であり、（ｂ）はＳＬＳ層を備えた窒化物半導体発光素子の模式断面図である。

【図6】（ａ）は本発明の一実施形態に係る窒化物半導体発光素子の模式断面図であり、（ｂ）は図６（ａ）の要部断面図である。

【図7】（ａ）は本発明の別の実施形態に係る窒化物半導体発光素子の模式断面図であり、（ｂ）は図７（ａ）の要部断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下では、本発明に係る窒化物半導体発光素子およびその製造方法を記す前に、本発明を完成させるに至った実験およびその結果を記す。

【0021】

＜ＳＬＳ層の効果を調べる実験＞
本発明者らは、まずＳＬＳ層の効果を明らかにするため、以下の実験を行なった。

【0022】

通電による発光を行なわずにＶピットの大きさなどがＳＬＳ層における繰り返し周期の数に依存するか否かを評価することを目的として、ＭＯＶＰＥ（Metal Organic Vapor Phase Epitaxy）法によって４種類の評価用サンプルを作製した。図１は、作製した評価用サンプルの模式断面図である。なお、４種類の評価用サンプルでは、ＳＬＳ層における繰り返し周期の数（ここで、ＳＬＳ層における繰り返し周期の数は、ＳＬＳ層を構成するＩｎ_0.1Ｇａ_0.9Ｎ層の層数で規定する）が０、５、１０および２０であった。

【0023】

詳細には、圧力を１００ｋＰａとし、温度を４６０℃とし、ＩＩＩ族元素材料に対するＶ族元素材料のモル比（以下では「Ｖ／ＩＩＩ比」と記す）を４０６７７として、ｃ面サファイア基板５０の上にＧａＮバッファ層５１を２５ｎｍ成長した。その後、温度を１１５０℃とし、Ｖ／ＩＩＩ比を２５３６として、アンドープＧａＮ層５２を２．４μｍ成長した。キャリアガスはＨ₂であった。

【0024】

成長温度を８２０℃に下げ、Ｖ／ＩＩＩ比を６５１７として、Ｉｎ_xＧａ_1-xＮ層（ｘ＝０．０９、厚さが２．５ｎｍ）とＧａＮ層（厚さ２．５ｎｍ）とをＮ周期（Ｎ＝０、５、１０、２０）積層した。このとき、キャリアガスとしてＮ₂を用いた。これにより、ＳＬＳ層５４が形成された。

【0025】

成長温度を７８０℃にして、Ｖ／ＩＩＩ比を６５１７として、Ｉｎ_xＧａ_1-xＮ（ｘ＝０．１５、厚さが３ｎｍ）からなる井戸層とＧａＮ（厚さが１２．５ｎｍ）からなるバリア層とを４周期（（Ｉｎ_0.15Ｇａ_0.85Ｎ井戸層の層数が４））交互に成長した。このとき、キャリアガスとしてＮ₂を用いた。これにより、ＭＱＷｓ層５６が形成された。このようにして、図１に示す評価用サンプルを得た。つまり、評価用サンプルに対しては通電による発光を行なわないため、ｎ型窒化物半導体層、ｐ型窒化物半導体層、ｎ側電極およびｐ側電極を形成することなく評価用サンプルを作製した。

【0026】

得られた評価用サンプルに対してＡＦＭ測定し、その微分画像を得た。図２には、ＳＬＳ層における繰り返し周期の数が２０である評価用サンプルのＡＦＭ画像の微分画像を示す。図２に示すように、Ｖピット（縦断面の形状が理想的なＶ字形状から外れているものも含む）がサファイア基板５０のｃ面とは異なるファセットに囲まれて形成されていることが確認できる。

【0027】

図３には、Ｖピットの模式斜視図を示す。貫通転位ＴＤが窒化物半導体結晶の下から成長方向(＋ｃ軸方向)に延びているが、始点ＶＳ（貫通転位ＴＤ上の歪層あたり）からＶピットが形成される。Ｖピットは理想的には６つの斜面（ファセット）で囲まれている。ファセットには面指数｛１−１０１｝の結晶面が現れるため、Ｖピットは結晶表面である（０００１）面に対して一定の角度に傾斜している。なお、実際のＶピットは、図２に示すように不規則に形成された穴またはピットに過ぎず、図３に示すような理想的な形状を有していない場合が多い。

【0028】

また、得られたＡＦＭ画像から、ＭＱＷｓ層５６の上面におけるＶピットの数密度を算出し、ＭＱＷｓ層５６の上面におけるＶピットの直径（ここでは「Ｖピット径」と記す）を求めた。なお、ＭＱＷｓ層５６の上面におけるＶピットの外形が円形とは異なる形状を有している場合には、ＭＱＷｓ層５６の上面におけるＶピットの外形を円形に近似してその直径を測定した。そして、ＳＬＳ層５４における繰り返し周期の数とＶピットの数密度およびＶピット径との関係を調べた。その結果を図４および表１に示す。

【0029】

【表1】

【0030】

図４および表１から、ＳＬＳ層５４における繰り返し周期の数が多くなると、Ｖピットの数密度はそれほど大きく変わらないものの、Ｖピット径は大きくなっていることが確認できた。これにより、窒化物半導体発光素子に対するＳＬＳ構造の挿入がＶピットの形成を開始させるトリガとなっており、またＳＬＳ層５４の厚みの増加に伴ってＶピット径が増大していることが明確となった。このことがＬＥＤのＩＱＥ（Internal Quantum Efficiency、内部量子効率）およびＥＱＥ（External Quantum Efficiency、外部量子効率）の向上効果に少なからず寄与していると考えられる。

【0031】

本発明者らは、Ｖピットの上記観察結果から、窒化物半導体層内においては、窒化物半導体層と基板との界面近傍から延びる貫通転位または結晶成長中に発生して上方に延びる貫通転位がＳＬＳ層内でＶピットを発生させ、発生したＶピットが低温成長により斜めファセット構造を保持したままＳＬＳ層の厚み分大きくなると考えている。Ｖピットでは、基板の表面に対して平行な面であるｃ面とは異なる面方位の斜めファセットが保持されているので、ＳＬＳ層の上のＭＱＷｓ層には、斜めファセット上に成長する部分が存在する。この部分ではＩｎＧａＮ井戸層の組成が変わる、またはこの部分では井戸層の厚みが薄く量子準位のエネルギーが大きくなるなどの効果により実効的なバンドギャップが広がり、ＭＱＷｓ層内においてはＶピットの下部に存在している貫通転位へのキャリアの注入が抑えられ、結果として発光効率が向上すると考えられる。そこで、ＳＬＳ層を備えた窒化物半導体発光素子を作製して、その特性を調べた。

【0032】

＜ＳＬＳ層の層数とＬＥＤ特性との関係＞
図５（ａ）〜（ｂ）に示す窒化物半導体発光素子を用いて、ＬＥＤ特性を調べた。図５（ａ）には、ＳＬＳ層を備えていない窒化物半導体発光素子の模式断面図を示し、図５（ｂ）には、ＳＬＳ層（繰り返し周期の数が１０）を備えた窒化物半導体発光素子の模式断面図を示す。以下では、図５（ａ）〜（ｂ）に示す窒化物半導体発光素子の作製方法を記す。

【0033】

表面が平坦なｃ面サファイア基板５０の上に、ＭＯＶＰＥ法によって、ＧａＮバッファ層５１、アンドープＧａＮ層５２、ｎ型ＧａＮ層５３、ＳＬＳ層５４、ＭＱＷｓ層５６、ｐ−ＡｌＧａＮ層５７Ａ、およびｐ−ＧａＮ層５７Ｂを成長して、ウエハを得た。

【0034】

具体的には、圧力を１００ｋＰａとし、温度を４６０℃とし、Ｖ／ＩＩＩ比を４０６７７として、ｃ面サファイア基板５０の上にＧａＮバッファ層５１を２５ｎｍ成長した。その後、温度を１１５０℃とし、Ｖ／ＩＩＩ比を２５３６として、アンドープＧａＮ層５２を２．４μｍ成長した。キャリアガスはＨ₂であった。引き続き、Ｓｉをドープしたｎ型ＧａＮ層を２．５μｍ成長した。ｎ型ドーピング濃度は４．４１×１０¹⁸ｃｍ^-3であった。

【0035】

成長温度を８２０℃に下げ、Ｖ／ＩＩＩ比を６５１７として、ＳiドープＩｎ_xＧａ_1-xＮ層（ｘ＝０．０９、厚さが２．５ｎｍ）とＧａＮ層（厚さが２．５ｎｍ）とをＮ周期（Ｎ＝０、１０）積層して、ＳＬＳ層５４を成長した。ｎ型ドーピング濃度を６×１０¹⁷ｃｍ^-3とした。また、キャリアガスはＮ₂であった。

【0036】

成長温度を７８０℃にして、Ｖ／ＩＩＩ比を６５１７として、Ｉｎ_xＧａ_1-xＮ（ｘ＝０．１５）からなる井戸層（厚さが３ｎｍ）と、ＧａＮからなるバリア層（厚さが１２．５ｎｍ）とを６周期成長し、ＭＱＷｓ層５６とした。キャリアガスはＮ₂であった。

【0037】

成長温度を１１００℃にして、Ｖ／ＩＩＩ比を４４０５として、Ｍｇをドーピングしたｐ−Ａｌ_xＧａ_1-xＮ層（ｘ＝０．２、厚さが２０ｎｍ）５７Ａと、ｐ−ＧａＮ層（厚さが１００ｎｍ）５７Ｂとを順に成長した。キャリアガスはＨ₂であった。このようにして、ウエハが得られた。

【0038】

得られたウエハに対して、窒素雰囲気で１０００℃、３０秒間アニールを行った。その後、ウエハの上面全体にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜５８を形成した。それから、ｎ−ＧａＮ層５３が露出するようにエッチングを行ない、エッチングされないメサ部分を形成した。

【0039】

ＩＴＯ膜５８の上に、Ａｕ層とＣｒ層とが積層されて構成されたｐ側電極５９Ａを形成した。エッチングにより露出されたｎ−ＧａＮ層５３の上に、Ｃｒ層とＡｕ層とを順に積層してｎ側電極５９Ｂを形成した。ｐ側電極５９Ａおよびｎ側電極５９Ｂの電極径は、それぞれ、約８６μｍであった。

【0040】

ｐ側電極５９Ａおよびｎ側電極５９Ｂのそれぞれにプローバを当て、順方向電流（電流値が２０ｍＡ）を流して順方向駆動電圧Ｖ_F（Ｖ）を測定し、逆方向電流（電流値が−１０μＡ）を流して逆方向駆動電圧Ｖ_R（Ｖ）を測定し、逆方向電圧（電圧値が−５Ｖ）を印加してリーク電流Ｉ_R（μＡ）を測定し、順方向電流（電流値が２０ｍＡ）を流して発光強度Ｖ_Lを測定した。また、順方向電流（電流値が２０ｍＡ）を流して発光スペクトルを測定し、発光ピーク波長λ_p（ｎｍ）を求めた。これらの結果を表２に示す。

【0041】

【表2】

【0042】

プローバによる測定が終了してから、ウエハを３５０×３５０μｍのサイズに分割して、特性評価用のＴＯ−１８パッケージにマウントし、ｐ側電極５９Ａおよびｎ側電極５９ＢのそれぞれとＴＯ−１８パッケージの端子との間をワイヤボンディングした。ＴＯ−１８パッケージの端子を介してｐ側電極５９Ａとｎ側電極５９Ｂとを通電させてから、積分球により、発光ピーク波長λ_p（ｎｍ）、順方向駆動電圧Ｖ_F（Ｖ）、および外部量子効率η_exeを測定した。これらの結果を表３に示す。

【0043】

【表3】

【0044】

表２に示すように、図５（ｂ）に示す窒化物半導体発光素子は、図５（ａ）に示す窒化物半導体発光素子に比べて、逆方向バイアス時のリーク電流Ｉ_Rが若干増加しているものの、ＳＬＳ層の挿入によるピーク波長λ_pの変動はほとんど見られず、順方向駆動電圧Ｖ_Fが低くなり、発光強度は１．６倍向上した。

【0045】

表３に示すように、図５（ｂ）に示す窒化物半導体発光素子は、図５（ａ）に示す窒化物半導体発光素子に比べて、ピーク波長λ_pが約１０ｎｍ低波長側にシフトしたが、ＥＱＥη_exeが２．２倍向上した。

【0046】

また、本発明者らは、例えば周期が５ｎｍのＳＬＳ層における繰り返し周期の数が５以上であれば、Ｖピット径が８６ｎｍ以上になることを確認している。

【0047】

以上説明したようにＭＱＷｓ層の下にＳＬＳ層を挿入すれば、発光強度が向上し、ＥＱＥが向上するが、逆方向バイアス時のリーク電流Ｉ_Rの増加を招く。本発明者らは、鋭意検討した結果、逆方向バイアス時のリーク電流Ｉ_Rの増加を招くことなく発光強度および発光効率の向上を図ることが可能な窒化物半導体発光素子の構造を見出し、本発明を完成させるに至った。以下では、図面を参照しながら、本発明の実施形態を示す。なお、本発明は、以下に示す実施形態に限定されない。

【0048】

＜実施形態１＞
＜窒化物半導体発光素子の構成＞
図６（ａ）は、本発明の実施形態１に係る窒化物半導体発光素子の模式断面図であり、図６（ｂ）は、本実施形態に係る窒化物半導体発光素子の主要部の拡大断面図である。本実施形態に係る窒化物半導体発光素子では、基板１０の上に、バッファ層１１と、下地層１２と、ｎ型窒化物半導体層１３と、トリガ層１４と、Ｖピット拡大層１５と、ＭＱＷｓ層１６と、ｐ型窒化物半導体層１７とがこの順に設けられている。ｐ型窒化物半導体層１７の上には、透明電極１８を介してｐ側電極１９Ａが設けられている。ｎ型窒化物半導体層１３の上面の一部分はエッチングにより露出しており、その露出した部分の上にはｎ側電極１９Ｂが設けられている。

【0049】

＜基板＞
基板１０は、たとえば、サファイアのような絶縁性基板であっても良いし、ＧａＮ、ＳｉＣ、またはＺｎＯなどのような導電性基板であっても良い。成長時の基板１０の厚さは例えば３００μｍ〜２０００μｍであり、窒化物半導体発光素子の基板１０の厚さは１２０μｍとしたが、特に限定されず、例えば５０μｍ以上３００μｍ以下であれば良い。基板１０の上面は、平坦であっても良いし、凹凸形状を有していても良い。また、レーザリフトオフ法などにより基板を除去した構造でも良い。

【0050】

＜バッファ層＞
サファイア基板などの異種基板を使用する場合、バッファ層１１は、たとえばＡｌ_s0Ｇａ_toＮ（０≦ｓ０≦１、０≦ｔ０≦１、ｓ０＋ｔ０≠０）層であれば良く、好ましくはＡｌＮ層あるいはＧａＮ層である。ただし、Ｎのごく一部（０．５〜２％）を酸素に置き換えても良い。これにより、基板１０の成長面の法線方向に伸長するようにバッファ層１１が形成されるので、結晶粒の揃った柱状結晶の集合体からなるバッファ層１１が得られる。

【0051】

バッファ層１１の厚さは、特に限定されないが、３ｎｍ以上１００ｎｍ以下であれば良く、好ましくは５ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。

【0052】

＜下地層＞
下地層１２は、たとえばＡｌ_s1Ｇａ_t1Ｉｎ_u1Ｎ（０≦ｓ１≦１、０≦ｔ１≦１、０≦ｕ１≦１、ｓ１＋ｔ１＋ｕ１≠０）層であれば良く、好ましくはＡｌ_s1Ｇａ_t1Ｎ（０≦ｓ１≦１、０≦ｔ１≦１、ｓ１＋ｔ１≠０）層であり、より好ましくはＧａＮ層である。これにより、バッファ層１１中に存在する結晶欠陥（たとえば転位など）がバッファ層１１と下地層１２との界面付近でループされ易くなり、よって、その結晶欠陥がバッファ層１１から下地層１２へ引き継がれることを防止できる。

【0053】

サファイア基板などの絶縁性基板を使用する場合、下地層１２は、ｎ型不純物を含んでいても良い。しかし、下地層１２がｎ型不純物を含んでいなければ、下地層１２の良好な結晶性を維持することができる。よって、下地層１２はｎ型不純物を含んでいないことが好ましい。

【0054】

下地層１２の厚みを厚くすることにより下地層１２中の欠陥は減少するが、下地層１２の厚みをある程度以上厚くしても下地層１２における欠陥減少効果が飽和する。このことより、下地層１２の厚さは、１μｍ以上８μｍ以下であることが好ましい。

【0055】

＜ｎ型窒化物半導体層＞
ｎ型窒化物半導体層１３は、たとえばＡｌ_s2Ｇａ_t2Ｉｎ_u2Ｎ（０≦ｓ２≦１、０≦ｔ２≦１、０≦ｕ２≦１、ｓ２＋ｔ２＋ｕ２≒１）層にｎ型不純物がドーピングされた層であれば良く、好ましくはＡｌ_s2Ｇａ_1-s2Ｎ（０≦ｓ２≦１、好ましくは０≦ｓ２≦０．５、より好ましくは０≦ｓ２≦０．１）層にｎ型不純物がドーピングされた層である。

【0056】

ｎ型ドーパントは、特に限定されないが、Ｓｉ、Ｐ、ＡｓまたはＳｂなどであれば良く、好ましくはＳｉである。このことは、後述の各層においても言える。

【0057】

ｎ型窒化物半導体層１３におけるｎ型ドーピング濃度は、特に限定されないが、１×１０¹⁹ｃｍ^-3以下であれば良い。

【0058】

ｎ型窒化物半導体層１３の厚みが厚い方がその抵抗が減少するため、ｎ型窒化物半導体層１３の厚みは厚い方が好ましい。しかし、ｎ型窒化物半導体層１３の厚みを厚くすると、コストアップになる。この両者の兼ね合いから、ｎ型窒化物半導体層１３の厚さは、実用上１μｍ以上１０μｍ以下であれば良いが、特に限定されない。

【0059】

なお、ｎ型窒化物半導体層１３は、２層以上の積層構造を有していても良い。各層は、同一の組成からなっても良いし、異なる組成からなっても良い。また、各層は、同一の膜厚を有していても良いし、異なる膜厚を有していても良い。

【0060】

＜トリガ層＞
トリガ層１４は、Ｖピット３１がＭＱＷｓ層１６内に形成される引き金となる層として機能する。ここで、Ｖピット３１とは、結晶欠陥の一種である。上記＜ＳＬＳ層の効果を調べる実験＞で記したように、Ｖピット３１には、縦断面の形状が理想的なＶ字形状である場合だけでなく、縦断面の形状が理想的なＶ字形状から外れた形状である場合も含まれる。

【0061】

具体的には、トリガ層１４は、ｎ型窒化物半導体層１３の上面を構成する材料とは異なる格子定数を有する窒化物半導体材料からなれば良い。ｎ型窒化物半導体層１３とトリガ層１４とで格子定数が互いに異なると、格子定数の相違に起因する歪みがトリガ層１４に発生し、この歪みがＶピット３１の発生のトリガとして働くと考えられる。これを実現させるためには、構成元素の種類がｎ型窒化物半導体層１３の上面とトリガ層１４とで異なれば良い。つまり、「トリガ層１４がｎ型窒化物半導体層１３の上面を構成する材料とは異なる格子定数を有する窒化物半導体材料からなる」は、構成元素の種類がｎ型窒化物半導体層１３の上面とトリガ層１４とで異なることを意味する。たとえばｎ型窒化物半導体層１３がＧａＮからなる場合、トリガ層１４は、Ｉｎ_yＧａ_1-yＮ（０．０１≦ｙ≦１）またはＡｌ_zＧａ_1-zＮ（０．０１≦ｚ≦１）などからなれば良い。

【0062】

トリガ層１４は、下記＜ＭＱＷｓ層＞で記す井戸層１６Ａよりも大きなバンドギャップエネルギーを有していることが好ましい。これにより、井戸層１６Ａが発した光がトリガ層１４で吸収されることを防止できる。ここで、窒化物半導体層におけるＩｎ組成比が低くなるとその層のバンドギャップエネルギーが大きくなることを考慮すれば、トリガ層１４がＩｎ_yＧａ_1-yＮからなる場合には、Ｉｎ組成比ｙは井戸層１６ＡにおけるＩｎ組成比（下記ｘ）よりも小さいことが好ましい。

【0063】

トリガ層１４の厚みは特に限定されないが、トリガ層１４自体が結晶欠陥を発生させないように歪が緩和されないコヒーレント成長が起こる程度の厚みであることが好ましく、より好ましくは２０ｎｍ以下であり、さらに好ましくは１０ｎｍ以下である。しかしながら、トリガ層１４によって結晶が緩和している場合も含んで良い。

【0064】

＜Ｖピット拡大層＞
Ｖピット拡大層１５は、Ｖピット径を拡大させるために、好ましくはＶピット径を８６ｎｍ以上にするために、より好ましくはＶピット径を１００ｎｍ以上にするために、設けられる。ここで、Ｖピット径とは、上記＜ＳＬＳ層の効果を調べる実験＞で記したように、ＭＱＷｓ層１６の上面におけるＶピット３１の直径であり、ＭＱＷｓ層１６の上面におけるＶピット３１の外形が真円とは異なる形状を有している場合にはＭＱＷｓ層１６の上面におけるＶピット３１の外形を円形に近似したときのその直径である。

【0065】

上記＜ＳＬＳ層の効果を調べる実験＞で記したように、Ｖピット拡大層１５の厚みが厚くなればなるほどＶピット径が大きくなると考えられる。そのため、Ｖピット拡大層１５は、Ｖピット径が８６ｎｍ以上となるような厚みを有していれば良い。具体的には、Ｖピット拡大層１５の厚みは、５ｎｍ以上５０００ｎｍ以下であれば良く、２５ｎｍ以上２５００ｎｍ以下であることが好ましい。Ｖピット拡大層１５の厚みが５ｎｍ未満であれば、Ｖピット径を８６ｎｍ程度にまで大きくすることが難しい場合がある。一方、Ｖピット拡大層１５の厚みが５０００ｎｍを超えると、Ｖピット径が大きくなり過ぎるため、ＭＱＷｓ層１６のうち実際に発光に寄与する部分の体積の減少を招き、発光効率が却って低下するおそれがある。

【0066】

上記＜ＳＬＳ層の効果を調べる実験＞で記したように、Ｖピット３１は、結晶成長により、斜めファセット構造を保持したままＶピット拡大層１５の厚み分だけ大きくなる。そのため、Ｖピット径が大きくなればＶピット３１の深さが深くなると考えられる。Ｖピット径が８６ｎｍ以上であれば、Ｖピット３１の始点がＭＱＷｓ層１６よりも下側に位置し、Ｖピットの側壁にも実効的にバンドギャップの大きい井戸層を有するＭＱＷｓ層１６Ｃが形成され、貫通転位ＴＤへのキャリアの注入が抑制され、発光効率の向上を図ることができる。

【0067】

また、ＳＬＳ層のみよりもトリガ層１４とＶピット拡大層１５とを組み合わせた構造を用いることで、歪を軽減でき、新たな貫通転位ＴＤの発生を抑制することができる。よって、逆方向バイアス時のリーク電流の増加を防止できる。さらに、ＳＬＳ層のみの構造と同等の大きさのＶピット３１を形成することができ、同等の非発光再結合の抑止効果を有している。

【0068】

Ｖピット拡大層１５は、ｎ型窒化物半導体層１３の上面を構成する材料とは実質的に同一の格子定数を有する窒化物半導体材料からなることが好ましい。ここで、「Ｖピット拡大層１５がｎ型窒化物半導体層１３の上面を構成する材料とは実質的に同一の格子定数を有する窒化物半導体材料からなる」には、ｎ型窒化物半導体層１３の上面を構成する材料とＶピット拡大層１５を構成する材料とで格子定数が同一である場合だけでなく、ｎ型窒化物半導体層１３の上面を構成する材料とＶピット拡大層１５を構成する材料とでは格子定数が異なるが、その格子定数の差に起因する欠陥がＶピット拡大層１５に形成されない場合も含まれる。別の言い方をすると、「Ｖピット拡大層１５がｎ型窒化物半導体層１３の上面を構成する材料とは実質的に同一の格子定数を有する窒化物半導体材料からなる」には、ｎ型窒化物半導体層１３の上面とＶピット拡大層１５とでドーピングの有無のみが異なる場合、およびｎ型窒化物半導体層１３の上面を構成する材料とＶピット拡大層１５を構成する材料とで構成元素の種類は同じであるが構成元素の組成比が異なる場合などが含まれる。たとえばｎ型窒化物半導体層１３がｎ型ＧａＮ層である場合、Ｖピット拡大層１５はノンドープＧａＮ層であっても良いが、ｎ型ＧａＮ層であることが好ましい。これにより、Ｖピット拡大層１５を設けたことに起因する結晶欠陥の新たな発生を防止でき、またトリガ層１４を設けたことに起因して新たに形成された欠陥を消滅させることができると考えている。

【0069】

＜ＭＱＷｓ層（発光層）＞
ＭＱＷｓ層１６には、部分的にＶピット３１が形成されている。つまり、Ｖピット３１の側壁上にもＭＱＷｓ層１６Ｃが形成されており、部分的にＶピット３１が形成されているとは、ＭＱＷｓ層１６の上面においてＶピット３１がＡＦＭで点状に観察され、Ｖピット３１で覆われつくされていないことを意味する。なお、Ｖピット３１の数密度は１×１０⁸ｃｍ^-2以上１×１０¹⁰ｃｍ^-2以下であることが好ましい。従来においてもＭＱＷｓ層にはＶピット３１が形成されるが、この場合には、ＭＱＷｓ層の上面におけるＶピット３１の数密度は1×１０⁸ｃｍ^-2未満程度である。

【0070】

上記＜ＳＬＳ層の効果を調べる実験＞で記したように、Ｖピット３１の多くは貫通転位ＴＤにより発生する。ＭＱＷｓ層１６がＶピット３１の側壁に形成されていれば、貫通転位ＴＤがＶピット３１の底部に存在することとなり、よって、貫通転位ＴＤへのキャリアの注入が抑制される。これにより、発光効率が向上する。

【0071】

つまり、Ｖピット３１の始点ＶＳは、ＭＱＷｓ層１６よりも下に位置する層内に存在していることが好ましい。これにより、ＭＱＷｓ層１６内での非発光再結合確率が抑制され、貫通転位ＴＤに起因する発光効率の低下を抑制できる。

【0072】

ＭＱＷｓ層１６は、図６（ｂ）に示すように、井戸層１６Ａとバリア層１６Ｂとが交互に積層されることにより井戸層１６Ａがバリア層１６Ｂに挟まれて構成されたものである。なお、ＭＱＷｓ層１６は、井戸層１６Ａおよびバリア層１６Ｂとは異なる１層以上の半導体層と、井戸層１６Ａと、バリア層１６Ｂとが順に積層されていても良い。また、ＭＱＷｓ層１６の一周期（井戸層１６Ａの厚さとバリア層１６Ｂの厚さとの和）の長さは、Ｖピットの形成されていない領域で例えば５ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。

【0073】

各井戸層１６Ａの組成は、本実施形態に係る窒化物半導体発光素子に求められる発光波長に合わせて調整されるが、たとえばＡｌ_cＧａ_dＩｎ_(1-c-d)Ｎ（０≦ｃ＜１、０＜ｄ≦１）であれば良く、好ましくはＡｌを含まないＩｎ_xＧａ_(1-x)Ｎ（０．０１≦ｘ≦１）層である。ただし例えば３７５ｎｍ以下の紫外発光を行なう場合には、一般にはバンドギャップを広くするため適宜Ａｌを含ませることとなる。各井戸層１６Ａの組成は同じであることが好ましく、それにより各井戸層１６Ａで電子とホールとの再結合により発光する波長を同じにすることができ、よって、窒化物半導体発光素子の発光スペクトル幅が狭くなるため好都合である。また、例えば上部側の各井戸層１６Ａはドーパントを極力含まない（成長時にドーパント原料を導入しない）ことが好ましく、その場合、各井戸層１６Ａにおける非発光再結合が起こりにくく、発光効率が良好となる。一方、下部側の各井戸層１６Ａは、ｎ型ドーパントを含んでいても良く、それにより発光素子の駆動電圧が低下する傾向にある。

【0074】

各井戸層１６Ａの厚さは、限定されないが、それぞれ同じであることがさらに好ましい。各井戸層１６Ａの厚さが同じであれば、量子準位も同じになり、各井戸層における電子とホールとの再結合により各井戸層において同じ波長で発光し、よって、窒化物半導体発光素子の発光スペクトル幅が狭くなるため好都合である。一方、意図的に井戸層１６Ａの組成あるいは厚さを異ならせることにより、窒化物半導体発光素子の発光スペクトル幅をブロードにすることもでき、照明用など用途によってはこの方が好ましい場合がある。

【0075】

各井戸層１６Ａの厚さは、１ｎｍ以上７ｎｍ以下であることが好ましい。各井戸層１６Ａの厚さがこの範囲外であれば、発光効率が低下する傾向にある。

【0076】

各バリア層１６Ｂの組成は、それぞれ、各井戸層１６Ａよりバンドギャップエネルギーが大きい方が好ましく、具体的にはＡｌ_fＧａ_gＩｎ_(1-f-g)Ｎ（０≦ｆ＜１、０＜ｇ≦１）であれば良く、より好ましくはＡｌを含まないＩｎ_hＧａ_(1-h)Ｎ（０＜ｈ≦１）、または井戸層１６Ａと格子定数をほぼ一致させたＡｌ_fＧａ_gＩｎ_(1-f-g)Ｎ（０≦ｆ＜１、０＜ｇ≦１）である。

【0077】

各バリア層１６Ｂの厚さは、１ｎｍ以上２０ｎｍ以下が好ましく、３ｎｍ以上１５ｎｍ以下がより好ましい。各バリア層１６Ｂの厚さが薄いほど駆動電圧が低下するが、極端に薄くすると発光効率が低下する傾向にある。

【0078】

各バリア層１６Ｂにおけるｎ型ドーピング濃度は、特に限定されない。また、複数のバリア層１６Ｂのうち、下側に位置するバリア層１６Ｂにはｎ型ドーピングを行ない、上側に位置するバリア層１６Ｂにはそれよりも低い濃度のｎ型ドーピングを行なうかアンドープとすることが好ましい。各バリア層１６Ｂには、意図的なｎ型ドーピングを行なうこともあり、またはｐ型窒化物半導体層１７の成長時の熱拡散によりｐ型ドーパントが含まれることがある。

【0079】

井戸層１６Ａの数としては、特に限定されないが、例えば２以上２０以下、好ましくは３以上１５以下、さらに好ましくは４以上１２以下とすることができる。

【0080】

＜ｐ型窒化物半導体層＞
ｐ型窒化物半導体層１７は、たとえばＡｌ_s4Ｇａ_t4Ｉｎ_u4Ｎ（０≦ｓ４≦１、０≦ｔ４≦１、０≦ｕ４≦１、ｓ４＋ｔ４＋ｕ４≠０）層にｐ型ドーパントがドーピングされた層であれば良く、好ましくはＡｌ_s4Ｇａ_1-s4Ｎ（０＜ｓ４≦０．４、好ましくは０．１≦ｓ４≦０．３）層にｐ型ドーパントをドーピングした層である。ｐ型ドーパントは、特に限定されないが、たとえばマグネシウムである。

【0081】

ｐ型窒化物半導体層１７におけるキャリア濃度は、１×１０¹⁷ｃｍ^-3以上であることが好ましい。ここで、ｐ型ドーパントの活性率は０．０１程度であることから、ｐ型窒化物半導体層１７におけるｐ型ドーピング濃度（キャリア濃度とは異なる）は１×１０¹⁹ｃｍ^-3以上であることが好ましい。ただしＭＱＷｓ層１６に近いｐ型窒化物半導体層１７におけるｐ型ドーピング濃度はこれより低くてもよい。

【0082】

ｐ型窒化物半導体層１７の厚さは、特に限定されないが、５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下であれば良い。ｐ型窒化物半導体層１７の厚さを薄くすることにより、その成長時における加熱時間を短くすることができ、ｐ型ドーパントのＭＱＷ発光層への拡散を抑制することができる。

【0083】

ｐ型窒化物半導体層１７は、２層以上の層が積層されて構成されていても良く、たとえばｐ型ＡｌＧａＮ層とｐ型ＧａＮ層と高濃度ｐ型ＧａＮ層とが積層されて構成されていても良い。

【0084】

＜透明電極、ｎ側電極、ｐ側電極＞
ｐ側電極１９Ａおよびｎ側電極１９Ｂは、窒化物半導体発光素子に駆動電力を供給するための電極である。ｐ側電極１９Ａおよびｎ側電極１９Ｂは図６（ａ）ではパッド電極部分のみで構成されているが、電流拡散を目的とする細長い突出部（枝電極）が接続されていてもよい。また、ｐ側電極１９Ａの下部において電流の注入を止めるための絶縁層を設けても良い。この絶縁層を設けると、ｐ側電極１９Ａの直下での発光を抑えることができるので、ｐ側電極１９Ａに遮蔽される発光の量が減少する。ｐ側電極１９Ａは、たとえばニッケル層、アルミニウム層、チタン層および金層がこの順序で積層されて構成されていれば良く、１μｍ程度の厚さを有していれば良い。ｎ側電極１９Ｂは、たとえば、チタン層、アルミニウム層および金層がこの順序で積層されて構成されていれば良く、ワイヤボンドを行なう場合の強度を想定すると１μｍ程度の厚さを有していれば良い。ｐ側電極１９Ａとｎ側電極１９Ｂとは同一の組成であってもよい。透明電極１８は、たとえばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）などの透明導電膜からなれば良く、２０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の厚さを有していれば良い。

【0085】

＜窒化物半導体発光素子の製造方法＞
基板１０の上に、バッファ層１１と下地層１２とｎ型窒化物半導体層１３とを順に結晶成長させる。各層の結晶成長の条件は特に限定されない。各層の材料および厚みなどに応じて各層の結晶成長の条件を適宜決定すれば良い。

【0086】

ｎ型窒化物半導体層１３の上に、トリガ層１４を結晶成長させる。トリガ層１４の結晶成長の条件は特に限定されないが、トリガ層１４の成長温度をｎ型窒化物半導体層１３の成長温度以下とすれば良い。特に、トリガ層１４がＩｎを含む場合には、トリガ層１４の成長温度をｎ型窒化物半導体層１３の成長温度よりも低い温度とすることが好ましく、より好ましくはトリガ層１４の成長温度をｎ型窒化物半導体層１３の成長温度よりも２００℃以上４００℃以下低くすることである。これにより、トリガ層１４の格子定数はｎ型窒化物半導体層１３の格子定数よりも大きくなるので、ファセットで囲まれたＶピット３１の形成の引き金になる。よって、Ｖピット３１の側壁（Ｖピット３１のファセット）の上にＭＱＷｓ層１６が形成されるため、トリガ層１４とＶピット拡大層１５とを有効に機能させることができる。

【0087】

トリガ層１４の上に、Ｖピット拡大層１５を結晶成長させる。Ｖピット拡大層１５の結晶成長の条件は特に限定されないが、Ｖピット拡大層１５の成長温度をトリガ層１４の成長温度以上とすれば良く、好ましくはＶピット拡大層１５の成長温度をトリガ層１４の成長温度と同等以上２５０℃以下高くすることである。Ｖピット拡大層１５の成長温度を高く設定することにより、結晶性に優れたＶピット拡大層１５を形成できる。よって、Ｖピット拡大層１５の上に設けられるＭＱＷｓ層１６の結晶性の低下を防止できるので、発光効率の低下を防止できる。さらに、厚みを同程度としてトリガ層１４およびＶピット拡大層１５の組み合わせと従来のＳＬＳ層とを比較すると、トリガ層１４とＶピット拡大層１５との組み合わせの方が転位等の新たな発生が少なく、ＬＥＤに応用した時にはリーク電流の低減および発光効率の増加が観測される。

【0088】

Ｖピット拡大層１５の上に、ＭＱＷｓ層１６およびｐ型窒化物半導体層１７を順に結晶成長させる。各層の結晶成長の条件は特に限定されず、各層の材料および厚みなどに応じて各層の結晶成長の条件を適宜決定すれば良い。

【0089】

ｐ型窒化物半導体層１７の上に透明電極１８を設けてから、ｎ型窒化物半導体層１３の上面の一部分が露出するようにｐ型窒化物半導体層１７とＭＱＷｓ層１６とＶピット拡大層１５とトリガ層１４とをエッチングする。透明電極１８の上にｐ側電極１９Ａを設け、エッチングにより露出したｎ型窒化物半導体層１３の上にｎ側電極１９Ｂを設ける。これにより、本実施形態に係る窒化物半導体発光素子が得られる。

【0090】

＜実施形態２＞
図７（ａ）は、本発明の実施形態２に係る窒化物半導体発光素子の模式断面図であり、図７（ｂ）は、本実施形態に係る窒化物半導体発光素子の主要部の拡大断面図である。本実施形態に係る窒化物半導体発光素子は３層のトリガ層を備えており、それ以外の点に関しては上記実施形態１に係る窒化物半導体発光素子と略同一の構成を備えている。以下では、上記実施形態１とは異なる点を主に記す。

【0091】

図７（ｂ）に示すように、本実施形態に係る窒化物半導体発光素子は３層のトリガ層２４を備えており、隣り合うトリガ層２４の間には介在層２５が設けられている。このようにトリガ層２４を２層以上設ければ、Ｖピット３１の発生数が上記実施形態１よりも増え、したがって、上記実施形態１よりも発光効率が向上する。

【0092】

トリガ層２４は、上記実施形態１における＜トリガ層＞で記した材料からなれば良い。トリガ層２４の厚みは、上記実施形態１における＜トリガ層＞で記したように２０ｎｍ以下であれば良く、１０ｎｍ以下であればさらに好ましい。トリガ層２４の層数は、トリガ層の厚み、バンドギャップエネルギー、または格子定数などに依存するため一概に言えないが、１層以上５０層以下であることが好ましく、１層以上２０層以下であればさらに好ましい。トリガ層２４の層数が５１層を超えると、トリガ層２４の厚みが大きくなりすぎ、発光効率が却って低下するおそれがある。

【0093】

介在層２５は、その材料に限定されず、ｎ型ＧａＮ層であっても良いし、アンドープＧａＮ層であっても良い。介在層２５は、その厚みに限定されず、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下がより好ましい。このように介在層２５を設けることにより、トリガ層２４のそれぞれの厚みを２０ｎｍ以下に抑えつつ（つまり、トリガ層２４自体が結晶欠陥を発生することを防止しつつ）Ｖピット３１の発生数を増加させることができる。

【実施例】

【0094】

以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【0095】

＜実施例１＞
実施例１では、上記実施形態１に係る窒化物半導体素子を作製して評価した。

【0096】

表面が平坦なｃ面サファイア基板の上に、ＭＯＶＰＥ法により、圧力を１００ｋＰａとし、温度を４６０℃とし、Ｖ／ＩＩＩ比を４０６７７として、ＧａＮバッファ層を２５ｎｍ成長した。次に、温度を１１５０℃とし、Ｖ／ＩＩＩ比を２５３６として、アンドープＧａＮ層を２．４μｍ成長した。キャリアガスはＨ₂であった。引き続き、Ｓｉをドープしたｎ型ＧａＮ層を２．５μｍ成長した。ｎ型ドーピング濃度は４．４１×１０¹⁸ｃｍ^-3であった。

【0097】

成長温度を８２０℃に下げ、Ｖ／ＩＩＩ比を６５１７として、１層のＳｉドープＩｎ_xＧａ_1-xＮ（ｘ＝０．０９）からなるトリガ層（厚さ２．５ｎｍ）を成長した。トリガ層におけるｎ型ドーピング濃度は６×１０¹⁷ｃｍ^-3であり、キャリアガスはＮ₂であった。

【0098】

成長温度をそのままで、Ｖ／ＩＩＩ比を２８６３０として、ＳｉドープＧａＮからなるＶピット拡大層（厚さ１００ｎｍ）を成長した。Ｖピット拡大層におけるｎ型ドーピング濃度は６×１０¹⁷ｃｍ^-3であり、キャリアガスはＮ₂であった。

【0099】

成長温度を７８０℃にして、Ｖ／ＩＩＩ比を６５１７として、Ｉｎ_xＧａ_1-xＮ（ｘ＝０．１５）からなる井戸層（厚さ３ｎｍ）とＧａＮからなるバリア層（厚さ１２．５ｎｍ）とを６周期成長した。キャリアガスはＮ₂であった。これにより、ＭＱＷｓ層が形成された。

【0100】

成長温度を１１００℃にして、Ｖ／ＩＩＩ比を４４０５として、Ｍｇをドーピングしたｐ−Ａｌ_xＧａ_1-xＮ層（ｘ＝０．２、厚さ２０ｎｍ）と、ｐ−ＧａＮ層（厚さ１００ｎｍ）とを成長した。キャリアガスはＨ₂である。このようにしてウエハを得た。得られたウエハに対して、窒素雰囲気下で、１０００℃、３０秒間、アニールを行なった。

【0101】

アニールが終了してから、ウエハの上面全体にＩＴＯ膜を形成した。ｎ型ＧａＮ層が露出するように、ＩＴＯ膜、ｐ−ＧａＮ層、ｐ−Ａｌ_xＧａ_1-xＮ層、ＭＱＷｓ層、Ｖピット拡大層、およびトリガ層をエッチングした。これにより、メサ部（エッチングされずに残った部分に相当）が形成された。ＩＴＯ膜の上にＣｒ膜およびＡｕ膜を順に積層してｐ側パッド電極を形成した。また、エッチングにより露出したｎ型ＧａＮ層の上にＣｒ膜およびＡｕ膜を順に積層してｎ側電極（パッド電極）を形成した。電極径は約８６μｍであった。

【0102】

ｐ側電極およびｎ側電極のそれぞれにウェハープローバー（オプト・システム社製、品番WPSR3100）を用いてプローバを当て、順方向電流（電流値が２０ｍＡ）を流して順方向駆動電圧Ｖ_F（Ｖ）を測定し、逆方向電流（電流値が−１０μＡ）を流して逆方向駆動電圧Ｖ_R（Ｖ）を測定し、逆方向電圧（電圧値が−５Ｖ）を印加してリーク電流Ｉ_R（μＡ）を測定し、順方向電流（電流値が２０ｍＡ）を流して発光強度Ｖ_Lを測定した。また、順方向電流（電流値が２０ｍＡ）発光スペクトルを測定し、発光ピーク波長λ_p（ｎｍ）を求めた。

【0103】

プローバによる測定が終了してから、ウエハを３５０×３５０μｍのサイズに分割して、特性評価用ＴＯ−１８パッケージにマウントして、ｐ側電極およびｎ側電極のそれぞれとＴＯ−１８パッケージの端子との間をワイヤボンディングした。その後、積分球測定システム（labsphere社製、品番DAS-2100）を用いて外部量子効率を測定した。

【0104】

＜実施例２＞
実施例２では、トリガ層の構成が異なることを除いては上記実施例１と同様の方法にしたがって、窒化物半導体発光素子を作製した。

【0105】

具体的には、１層のＳｉドープＩｎ_xＧａ_1-xＮ（ｘ＝０．０９）からなるトリガ層（厚さ２．５ｎｍ）を成長してから、成長温度を８２０℃とし、Ｖ／ＩＩＩ比を２５３６として、ＳｉドープＧａＮからなる介在層を２．５ｎｍ成長した。介在層におけるｎ型ドーピング濃度は６×１０¹⁷ｃｍ^-3であった。その後、上記トリガ層、上記介在層、および上記トリガ層を順に成長した。それから、上記実施例１に記載の方法にしたがって、Ｖピット拡大層１００ｎｍ、ＭＱＷｓ層、ｐ−Ａｌ_xＧａ_1-xＮ層、およびｐ−ＧａＮ層を成長してからＩＴＯ膜を形成し、所定のエッチングを行なってからｎ側電極およびｐ側電極を形成した。そして、上記実施例１に記載の方法にしたがって、得られた窒化物半導体素子を評価した。

【0106】

＜比較例１＞
比較例１では、トリガ層およびＶピット拡大層を設けなかったことを除いては上記実施例１と同様の方法にしたがって、窒化物半導体発光素子を作製した。そして、上記実施例１に記載の方法にしたがって、得られた窒化物半導体素子を評価した。

【0107】

＜比較例２＞
比較例２では、トリガ層およびＶピット拡大層の代わりにＳＬＳ層を設けることを除いては上記実施例１と同様の方法にしたがって、窒化物半導体発光素子を作製した。

【0108】

具体的には、上記＜ＳＬＳ層の層数とＬＥＤ特性との関係＞で述べたように、Ｓｉをドープしたｎ型ＧａＮ層を２．５μｍ成長してから、成長温度を８２０℃に下げ、Ｖ／ＩＩＩ比を６５１７として、ＳiドープＩｎ_xＧａ_1-xＮ層（ｘ＝０．０９、厚さが２．５ｎｍ）とＧａＮ層（厚さが２．５ｎｍ）とを１０周期積層して、ＳＬＳ層を成長した。ｎ型ドーピング濃度を６×１０¹⁷ｃｍ^-3とした。また、キャリアガスはＮ₂であった。それから、上記実施例１に記載の方法にしたがって、ＭＱＷｓ層、ｐ−Ａｌ_xＧａ_1-xＮ層、およびｐ−ＧａＮ層を成長してからＩＴＯ膜を形成し、所定のエッチングを行なってからｎ側電極およびｐ側電極を形成した。そして、上記実施例１に記載の方法にしたがって、得られた窒化物半導体素子を評価した。

【0109】

結果を表４に示す。

【0110】

【表4】

【0111】

なお、表４における「ＳＬＳ」の欄には、ＳＬＳ層の有無を記している。また、表４における「ＴＬ」はトリガ層を意味し、「ＥＬ」はＶピット拡大層を意味する。

【0112】

表４に示すように、実施例１〜２では、比較例１に比べて、順方向駆動電圧Ｖ_Fが低下し、発光強度が５倍以上も向上した。このことから、トリガ層およびＶピット拡大層を設ければ、発光効率に優れた窒化物半導体発光素子を提供できると言える。

【0113】

また、実施例１〜２では、比較例２に比べて、逆方向バイアス時のリーク電流I_Rがほぼ半減した。その理由としては、ＳＬＳ層ではＶピット拡大効果もあるが歪も多いので新たな貫通転位を招くが、トリガ層とＶピット拡大層とを組み合わせた構造では歪が少なくなるため貫通転位ＴＤの発生が抑制されたということが考えられる。

【0114】

また、実施例１と実施例２とを比較すると、実施例２の方が実施例１よりも発光強度に優れている。その理由としては、実施例２の方が実施例１よりもトリガ層の層数が多いのでＶピットの発生数が増加したからであると考えている。

【0115】

また、実施例１〜２および比較例１〜２では、ピーク波長λ_pはそれほど大きく変化しなかった。よって、発光効率に優れた窒化物半導体発光素子を提供するためにトリガ層およびＶピット拡大層を設けることは実用的であると言える。

【0116】

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0117】

１０ 基板、１１ バッファ層、１２ 下地層、１３ ｎ型窒化物半導体層、１４ トリガ層、１５ Ｖピット拡大層、１６ ＭＱＷｓ層（発光層）、１６Ａ 井戸層、１６Ｂ バリア層、１７ ｐ型窒化物半導体層、１８ 透明電極、１９Ａ ｐ側電極、１９Ｂ ｎ側電極、２４ トリガ層、２５ 介在層、３１ Ｖピット。

【図1】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図2】

【図3】