特許 5882600 基板処理装置及び半導体装置の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5882600

(24)【登録日】2016年2月12日

(45)【発行日】2016年3月9日

(54)【発明の名称】基板処理装置及び半導体装置の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20160225BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

【請求項の数】5

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2011-108963(P2011-108963)

(22)【出願日】2011年5月16日

(65)【公開番号】特開2012-243782(P2012-243782A)

(43)【公開日】2012年12月10日

【審査請求日】2014年5月13日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001122

【氏名又は名称】株式会社日立国際電気

(74)【代理人】

【識別番号】100083563

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 祥二

(72)【発明者】

【氏名】油谷 幸則

(72)【発明者】

【氏名】高島 克美

【審査官】 内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−０７６７４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１８４７７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−０８７４６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０１０００９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数枚の基板が収納される基板搬送容器を搬送する基板搬送容器搬送装置と、該基板搬送容器搬送装置により搬送された複数の基板搬送容器が格納される基板搬送容器格納棚とを具備し、
該基板搬送容器格納棚は、支柱と該支柱を中心に回転可能に設けられた棚板とで構成され、前記支柱は上側の棚板の下面に固着された上シャフトと、下側の棚板から上方に延出する下シャフトからなる２重管構造となっており、前記上シャフトは前記下シャフトに摺動自在に嵌合することを特徴とする基板処理装置。

【請求項2】

前記上シャフトには、円周方向に摺動溝が設けられている請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項3】

前記下シャフトには、前記摺動溝に摺動自在に挿通された摺動ピンが設けられている請求項２に記載の基板処理装置。

【請求項4】

前記摺動溝は、前記上シャフトの軸心と平行な長垂直部と、該長垂直部の下端より前記上シャフトの周面を反時計回り方向に延出する水平部と、を有する請求項２又は請求項３に記載の基板処理装置。

【請求項5】

複数枚の基板が収納される基板搬送容器を格納し、上側の棚板の下面に固着された上シャフトと、下側の棚板から上方に延出する下シャフトからなる２重管構造となっており、前記上シャフトは前記下シャフトに摺動自在に嵌合する支柱と、該支柱を中心に回転可能に設けられた棚板とで構成される基板搬送容器格納棚から前記基板搬送容器を搬送する工程と、
搬送された前記基板搬送容器から前記基板を取出して基板保持具へ装填する工程と、
該基板保持具を処理炉内へ搬入し、基板処理を行う工程と、
を有する半導体装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハ等の基板に、酸化処理、拡散処理、薄膜の生成等の処理を行う基板処理装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体装置の処理工程の１つとして、シリコンウェーハ等の基板に酸化処理、拡散処理、薄膜の生成等の処理を行う基板処理工程があり、該基板処理工程を実行する装置として基板処理装置があり、又縦型処理炉を具備し、所定枚数の基板を一度に処理するバッチ式の基板処理装置として縦型基板処理装置がある。

【0003】

近年、基板の処理時間や基板の搬送時間の短縮や、顧客の生産ラインの運用で発生する基板搬送容器溜り（滞留）により、基板処理装置内に保管可能な基板搬送容器であるポッドの数量の増大が求められている。

【0004】

上記要求により、未処理又は処理済みの基板が保持されたポッドや、基板処理中の空のポッドを基板処理装置内に設けられた回転可能なポッド格納棚へと搬送し、ポッドを保管する基板処理装置が製造されている。

【0005】

然し乍ら、基板処理装置をコンテナに積込んで輸送する際には、コンテナに積荷の高さ制限がある為、従来の基板処理装置ではポッド格納棚の最上部の棚を取外してからコンテナに積込んだ後、取外した最上部の棚を別途輸送する必要があった。その為、輸送前の最上部の棚の取外し及び梱包、輸送後の最上部の棚の再取付け等の作業が必要となり、輸送費、作業時間、作業費の面でコストが高くなるという問題があった。

【0006】

又、ポッド格納棚の最上部の棚の取外し、再取付けは高所での作業であり、又重量が重い為、作業者が２人以上必要となること、最上部の棚を持上げる為のリフターが必要となること等の問題があった。

【0007】

尚、ポッドを搬入、搬出するＩ／Ｏステージを上下２ヶ所に設け、一方のＩ／Ｏステージではプロセス用ポッドの搬入、搬出を行い、他方のＩ／Ｏステージではダミー用又はモニタ用ポッドの搬入、搬出を行う様、プロセス用ポッド、ダミー用又はモニタ用ポッドを別々に運用することでスループットを向上させると共に、ポッドの収納数を増加させる基板処理装置として、特許文献１に示されるものがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２０００−９１３９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

本発明は斯かる実情に鑑み、輸送時に基板搬送容器格納棚の分解を必要とせず、又再組立てを必要とせず、輸送コストを低減できると共に作業性の向上を図る基板処理装置を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明は、複数枚の基板が収納される基板搬送容器と、該基板搬送容器を搬送する基板搬送容器搬送装置と、該基板搬送容器搬送装置により搬送された複数の基板搬送容器が格納される基板搬送容器格納棚とを具備し、該基板搬送容器格納棚を高さ方向に伸縮可能とした基板処理装置に係るものである。

【0011】

又本発明は、前記基板搬送容器格納棚は、支柱と該支柱を中心に回転可能に設けられた複数の棚板とで構成され、前記支柱は上側の棚板の下面に固着された上シャフトと、下側の棚板から上方に延出する下シャフトからなる２重管構造となっており、前記上シャフトは前記下シャフトに摺動自在に外嵌する基板処理装置に係るものである。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、複数枚の基板が収納される基板搬送容器と、該基板搬送容器を搬送する基板搬送容器搬送装置と、該基板搬送容器搬送装置により搬送された複数の基板搬送容器が格納される基板搬送容器格納棚とを具備し、該基板搬送容器格納棚を高さ方向に伸縮可能としたので、輸送時に該基板搬送容器格納棚を分解することなくコンテナに収納可能であり、分解した該基板搬送容器格納棚を別途梱包し輸送する必要がなくなり、コストの低減が図れると共に、該基板搬送容器格納棚の再組立てを必要とせず、作業労力及び作業時間を低減させることができる。

【0013】

又本発明によれば、前記基板搬送容器格納棚は、支柱と該支柱を中心に回転可能に設けられた複数の棚板とで構成され、前記支柱は上側の棚板の下面に固着された上シャフトと、下側の棚板から上方に延出する下シャフトからなる２重管構造となっており、前記上シャフトは前記下シャフトに摺動自在に外嵌するので、前記棚板上に複数の基板搬送容器を載置し、回転させる場合でも充分な曲げ剛性及び捻り剛性を得ることができ、前記支柱の屈曲や破損を防止することができるという優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の実施例に係る基板処理装置の概略斜視図である。

【図2】該基板処理装置の概略側断面図である。

【図3】本発明の第１の実施例に係る回転式ポッド棚の斜視図であり、（Ａ）は伸長状態を示し、（Ｂ）は収縮状態を示している。

【図4】本発明の第１の実施例に係る回転式ポッド棚の要部拡大正面図であり、（Ａ）は伸長状態に於ける伸縮部を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ矢視図を示している。

【図5】本発明の第１の実施例に係る回転式ポッド棚の要部拡大正面図であり、（Ａ）は収縮状態に於ける伸縮部を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ矢視図を示している。

【図6】本発明の第１の実施例に係る回転式ポッド棚の要部拡大分解斜視図である。

【図7】本発明の第２の実施例に係る回転式ポッド棚であり、（Ａ）は該回転式ポッド棚の斜視図を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＣ−Ｃ矢視図を示している。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。

【0016】

先ず、図１、図２に於いて、本発明の実施例に係る基板処理装置について説明する。

【0017】

尚、基板処理装置は、半導体装置（ＩＣ）の製造工程の１つである基板処理工程を実施する。又、以下の説明では、基板処理装置の一例として縦型炉を具備し、基板に酸化処理、ＣＶＤ成膜処理、拡散処理、アニール処理等を行う縦型の基板処理装置について説明する。

【0018】

図１、図２に示されている様に、基板処理装置１は筐体２を備えている。該筐体２の正面壁３の正面前方部にはメンテナンス可能な様に設けられた開口部としての正面メンテナンス口４が開設され、該正面メンテナンス口４は正面メンテナンス扉５によって開閉される。

【0019】

前記筐体２の正面壁３にはポッド搬入搬出口６が前記筐体２の内外を連通する様に開設されており、前記ポッド搬入搬出口６はフロントシャッタ（搬入搬出口開閉機構）７によって開閉される。前記ポッド搬入搬出口６の正面前方側にはロードポート（基板搬送容器受渡し台）８が設置されており、該ロードポート８は載置されたポッド９を位置合せする様に構成されている。

【0020】

ポッド９は密閉式の基板搬送容器であり、図示しない工程内搬送装置によって前記ロードポート８上に搬入され、又該ロードポート８上から搬出される様になっている。

【0021】

前記筐体２内の前後方向の略中央部に於ける上部には、上下方向に伸縮可能な回転式ポッド棚（基板搬送容器格納棚）１１が設置されており、該回転式ポッド棚１１は複数個のポッド９を格納する様に構成されている。

【0022】

前記回転式ポッド棚１１は、垂直に立設されて間欠回転される支柱１２と、該支柱１２に上中下段の各位置に於いて放射状に支持された複数段の棚板（基板搬送容器載置棚）１３とを備えており、該棚板１３はそれぞれポッド９を複数個載置した状態で格納する様に構成されている。

【0023】

前記回転式ポッド棚１１の下方には、ポッドオープナ（基板搬送容器蓋体開閉機口）１４が設けられ、該ポッドオープナ１４はポッド９を載置し、又ポッド９の蓋を開閉可能な構成を有している。

【0024】

前記ロードポート８と前記回転式ポッド棚１１、前記ポッドオープナ１４との間には、ポッド搬送装置（基板搬送容器搬送装置）１５が設置され、該ポッド搬送装置１５はポッドエレベータ１６及びポッド搬送機構１７により構成されている。前記ポッドエレベータ１６と前記ポッド搬送機構１７との連動動作により、前記ポッド搬送装置１５は、ポッド９を保持して昇降可能、水平方向に進退可能となっており、前記ロードポート８、前記回転式ポッド棚１１、前記ポッドオープナ１４との間でポッド９を搬送する様に構成されている。

【0025】

前記筐体２内の前後方向の略中央部に於ける下部には、サブ筐体１８が後端に亘って設けられている。該サブ筐体１８の正面壁１９には、ウェーハ２１を前記サブ筐体１８内に対して搬入搬出する為のウェーハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）２２が１対、垂直方向に上下２段に並べられて開設されており、上下段のウェーハ搬入搬出口２２，２２に対して前記ポッドオープナ１４がそれぞれ設けられている。

【0026】

該ポッドオープナ１４は、ポッド９を載置する載置台２３と、ポッド９の蓋を開閉する開閉機構２４とを備えている。前記ポッドオープナ１４は前記載置台２３に載置されたポッド９の蓋を前記開閉機構２４によって開閉することにより、ポッド９のウェーハ出入れ口を開閉する様になっている。

【0027】

前記サブ筐体１８は、前記ポッド搬送装置１５や前記回転式ポッド棚１１が配設されている空間（ポッド搬送空間）から気密な移載室２５を構成している。該移載室２５の前側領域にはウェーハ移載機構（基板移載機構）２６が設置されており、該ウェーハ移載機構２６は、ウェーハ２１を載置する所要枚数（図示では５枚）のウェーハ載置プレート２７を具備し、該ウェーハ載置プレート２７は水平方向に直動可能、水平方向に回転可能、又昇降可能となっている。前記ウェーハ移載機構２６は、ボート２８に対してウェーハ２１を装填及び払出しする様に構成されている。

【0028】

前記移載室２５の後側領域には、前記ボート２８を収容して待機させる待機部２９が構成され、該待機部２９の上方には縦型の処理炉３１が設けられている。該処理炉３１の下端部は炉口部となっており、該炉口部は炉口シャッタ（炉口開閉機構）３２により開閉される様になっている。

【0029】

前記筐体２の右側端部と前記サブ筐体１８の前記待機部２９の右側端部との間には、前記ボート２８を昇降させる為のボートエレベータ（基板保持具昇降機構）３３が設置されている。該ボートエレベータ３３の昇降台に連結されたアーム３４には、蓋体としての炉口蓋３５が水平に取付けられており、該炉口蓋３５は前記ボート２８を垂直に支持し、前記処理炉３１の下端部を気密に閉塞可能となっている。

【0030】

前記ボート２８は複数本の支柱を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウェーハ２１を、水平姿勢で垂直方向に多段に保持する様に構成されている。

【0031】

前記ボートエレベータ３３側と対向した位置にはクリーンユニット３６が配設され、該クリーンユニット３６は清浄化した雰囲気若しくは不活性ガスであるクリーンエア３７を供給する様、供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。前記ウェーハ移載機構２６と前記クリーンユニット３６との間には、ウェーハ２１の円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置（図示せず）が設置されている。

【0032】

前記クリーンユニット３６から前記移載室２５に吹出されたクリーンエア３７は、ノッチ合せ装置（図示せず）及び前記ウェーハ移載機構２６、前記ボート２８に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれ、前記筐体２の外部に排気がなされるか、若しくは前記クリーンユニット３６の吸込み側である一次側（供給側）に迄循環され、再び該クリーンユニット３６によって、前記移載室２５内に吹出される様に構成されている。

【0033】

次に、前記基板処理装置１の作動について説明する。

【0034】

ポッド９が前記ロードポート８に供給されると、前記ポッド搬入搬出口６が前記フロントシャッタ７によって開放される。前記ロードポート８上のポッド９は、前記ポッド搬送装置１５によって前記筐体２の内部へ前記ポッド搬入搬出口６を通して搬入され、前記回転式ポッド棚１１の指定された前記棚板１３へ載置される。ポッド９は前記回転式ポッド棚１１で一時的に保管された後、前記ポッド搬送装置１５により前記棚板１３から何れか一方のポッドオープナ１４に搬送されて前記載置台２３に移載されるか、若しくは前記ロードポート８から直接前記載置台２３に移載される。

【0035】

この際、前記ウェーハ搬入搬出口２２は前記開閉機構２４によって閉じられており、前記移載室２５にはクリーンエア３７が流通され、充填されている。例えば、前記移載室２５にはクリーンエア３７として窒素ガスが充填されることにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、前記筐体２の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遙かに低く設定されている。

【0036】

前記載置台２３に載置されたポッド９は、その開口側端面が前記サブ筐体１８の前記正面壁１９に於ける前記ウェーハ搬入搬出口２２の開口縁辺部に押付けられると共に、蓋が前記開閉機構２４によって取外され、ウェーハ出入れ口が開放される。

【0037】

ポッド９が前記ポッドオープナ１４によって開放されると、ウェーハ２１はポッド９から前記ウェーハ移載機構２６によって取出され、ノッチ合せ装置（図示せず）にてウェーハ２１を整合した後、前記ウェーハ移載機構２６はウェーハ２１を前記移載室２５の後方にある前記待機部２９へ搬入し、前記ボート２８に装填（チャージング）する。

【0038】

該ボート２８にウェーハ２１を受渡した前記ウェーハ移載機構２６はポッド９に戻り、次のウェーハ２１を前記ボート２８に装填する。

【0039】

一方（上段又は下段）のポッドオープナ１４に於ける、前記ウェーハ移載機構２６によるウェーハ２１の前記ボート２８への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１４には、前記回転式ポッド棚１１から別のポッド９が前記ポッド搬送装置１５によって搬送されて移載され、前記他方のポッドオープナ１４によるポッド９の開放作業が同時進行される。

【0040】

予め指定された枚数のウェーハ２１が前記ボート２８に装填されると、前記炉口シャッタ３２によって閉じられていた前記処理炉３１の炉口部が、前記炉口シャッタ３２によって開放される。続いて、前記ボート２８は前記ボートエレベータ３３によって上昇され、前記処理炉３１内へ搬入（ローディング）される。

【0041】

ローディング後は、前記炉口蓋３５によって炉口部が気密に閉塞され、前記処理炉３１にてウェーハ２１に所定の処理が実行される。

【0042】

処理後は、ノッチ合せ装置（図示せず）でのウェーハ２１の整合工程を除き、上記と逆の手順で、ウェーハ２１及びポッド９が前記筐体２の外部へと払出される。

【0043】

次に、図３〜図６に於いて、第１の実施例に於ける前記回転式ポッド棚１１の詳細について説明する。

【0044】

該回転式ポッド棚１１は、前記支柱１２と、該支柱１２を回転軸として一体に回転可能に設けられた、所定枚数、例えば４枚の前記棚板１３ａ〜１３ｄとで構成され、該棚板１３ａ〜１３ｄは上下方向に所定の間隔で前記支柱１２に固定されている。

【0045】

該棚板１３は略十字形状の板材であり、中心部より四方に突出する４つのポッド載置部３８が形成されている。又、該ポッド載置部３８の上面には、それぞれ所定箇所、例えば３箇所に上方に突出する係合突起３９が形成されており、前記ポッド載置部３８にポッド９が載置された際には、前記係合突起３９がポッド９の裏面に形成された図示しない係合凹部と係合し、ポッド９の水平方向のずれが防止される様になっている。

【0046】

又、前記支柱１２は最上段の伸縮部４１及び短柱１２ａが連結される構成となっており、前記伸縮部４１は２重管構造となっている。該伸縮部４１は前記上から２段目の棚板１３ｂより上方に延出する円筒状の下シャフト４２と、該下シャフト４２に摺動自在に外嵌し、前記最上段の棚板１３ａの下面に固着された円筒状の上シャフト４３により構成されており、前記下シャフト４２と前記上シャフト４３とはボルト等の固着具４４により固着される様になっている。尚、前記下シャフト４２は、前記上から２段目の棚板１３ｂを介在した状態で、ボルト等の固着具４０により前記短柱１２ａと連結される様になっている。

【0047】

該上シャフト４３の周面には、略Ｌ字状の摺動溝４５が円周方向に所定間隔で複数箇所、例えば３箇所に穿設され、該摺動溝４５は前記上シャフト４３の軸心と平行な長垂直部４５ａと、該長垂直部４５ａの下端より前記上シャフト４３の周面を反時計回り方向に延出する水平部４５ｂとを有している。該水平部４５ｂは終端より上方に延出し、前記上シャフト４３の軸心と平行な短垂直部４５ｃを有している。

【0048】

又、前記上シャフト４３の下端部内周面には、若干細径となった嵌合部４６が形成されると共に、該嵌合部４６が形成された部分に、前記固着具４４を半径方向に挿通可能な挿通孔４７が所定の間隔で複数穿設されている。

【0049】

前記下シャフト４２の上端部には、若干太径となった嵌合部４８が形成され、該嵌合部４８と前記嵌合部４６とはガタツキなく嵌合可能となっている。前記下シャフト４２の上端部、即ち前記嵌合部４８が形成された部分には、前記固着具４４を螺入可能な伸長時ネジ孔４９が前記挿通孔４７に対応して複数穿設されると共に、外周面から径方向に突出する摺動ピン５１が前記摺動溝４５と同数突設されている。前記摺動ピン５１の直径は前記摺動溝４５の幅よりも僅かに小さくなっており、該摺動溝４５に前記摺動ピン５１が摺動自在に挿通される様になっている。

【0050】

前記上シャフト４３は前記摺動ピン５１が前記摺動溝４５に案内され摺動することで、前記下シャフト４２に対して垂直方向に摺動し、前記長垂直部４５ａ或は前記短垂直部４５ｃの下端で前記水平部４５ｂに案内され、水平方向に回転可能となっており、前記摺動ピン５１がそれぞれ前記長垂直部４５ａの上端、或は前記短垂直部４５ｃの上端に当接することで、前記上シャフト４３の伸長時、収縮時に於ける位置が決定される様になっている。

【0051】

又、前記下シャフト４２下端部には前記固着具４４が螺入可能な収縮時ネジ孔５２が穿設されており、該収縮時ネジ孔５２が穿設される位置は、前記摺動ピン５１が前記水平部４５ｂを摺動する移動量だけ、前記伸長時ネジ孔４９よりも周方向に変位した位置となっている。

【0052】

次に、前記回転式ポッド棚１１の伸長、収縮について説明する。

【0053】

該回転式ポッド棚１１が伸長状態の場合には、図４（Ａ）に示される様に、前記摺動ピン５１が前記短垂直部４５ｃの上端に当接している。この時、前記挿通孔４７と前記伸長時ネジ孔４９からの位置が一致しており、前記挿通孔４７を通して前記固着具４４を前記伸長時ネジ孔４９に螺入させることで、前記上シャフト４３が伸長状態で固定され、前記回転式ポッド棚１１の高さが伸長された状態となる。

【0054】

又、該回転式ポッド棚１１が収縮状態の場合には、図５（Ａ）に示される様に、前記摺動ピン５１が前記長垂直部４５ａの上端に当接している。この時、前記挿通孔４７と前記収縮時ネジ孔５２の位置が一致しており、前記挿通孔４７を通して前記固着具４４を前記収縮時ネジ孔５２に螺入させることで、前記上シャフト４３が収縮状態で固定され、前記回転式ポッド棚１１の高さが収縮された状態となる。

【0055】

該回転式ポッド棚１１を伸長状態から収縮状態に変更する際には、前記固着具４４を前記伸長時ネジ孔４９から取外した後、前記上シャフト４３を上昇させ、前記摺動ピン５１を前記短垂直部４５ｃに沿って相対的に下方に摺動させる。

【0056】

前記摺動ピン５１が前記短垂直部４５ｃの下端に到達した後、前記上シャフト４３を反時計回りに回転させ、前記摺動ピン５１を前記水平部４５ｂに沿って相対的に時計回り方向に摺動させる。前記上シャフト４３を所定量降下させると、前記嵌合部４６と前記嵌合部４８とが外れ、前記下シャフト４２と前記上シャフト４３との間に隙間が形成され、該上シャフト４３を容易に降下させることができる。

【0057】

次に、前記上シャフト４３を降下させ、前記摺動ピン５１を前記長垂直部４５ａに沿って相対的に上方に摺動させる。前記摺動ピン５１が前記長垂直部４５ａの上端に当接することで、前記上シャフト４３の収縮時に於ける高さ方向の位置が決定され、且つ前記上シャフト４３の自重により高さ方向の位置が決定される。又、前記長垂直部４５ａの幅は前記摺動ピン５１の直径よりも僅かに大きいだけであるので、前記上シャフト４３の回転が拘束され、該上シャフト４３の回転方向の位置も決定される。

【0058】

この時、前記摺動ピン５１が前記長垂直部４５ａの上端に当接することで、前記挿通孔４７と前記収縮時ネジ孔５２の位置が一致し、又前記上シャフト４３の重量が前記摺動ピン５１によって支持されているので、作業者が前記上シャフト４３の重量を支持する必要がなく、容易に前記固着具４４を前記収縮時ネジ孔５２に螺入することができる。又、前記固着具４４で前記上シャフト４３を前記下シャフト４２に固定することができる。

【0059】

又、前記回転式ポッド棚１１を収縮状態から伸長状態に変更する際には、前記固着具４４を前記収縮時ネジ孔５２から取外した後、前記上シャフト４３を上昇させ、前記摺動ピン５１を前記長垂直部４５ａに沿って相対的に下方に摺動させる。

【0060】

前記摺動ピン５１が前記長垂直部４５ａの下端に到達した後、前記上シャフト４３を時計回りに回転させ、前記摺動ピン５１を前記水平部４５ｂに沿って相対的に反時計回り方向に摺動させる。次に前記上シャフト４３を降下させ、前記摺動ピン５１を前記短垂直部４５ｃに沿って相対的に上方に摺動させる。

【0061】

前記摺動ピン５１が前記短垂直部４５ｃの上端に当接することで、前記上シャフト４３の伸長時に於ける高さ方向の位置が決定され、且つ前記上シャフト４３の自重により高さ方向の位置が決定される。又、前記短垂直部４５ｃの幅は前記摺動ピン５１の直径よりも僅かに大きいだけであるので、前記上シャフト４３の回転が拘束され、該上シャフト４３の回転方向の位置も決定される。

【0062】

更に、前記回転式ポッド棚１１が伸長状態の場合には、図４（Ｂ）に示される様に、前記嵌合部４６と前記嵌合部４８とが嵌合した状態となるので、前記上シャフト４３と前記下シャフト４２の芯合せが自動的に行われる。

【0063】

この時、前記摺動ピン５１が前記短垂直部４５ｃの上端に当接することで、前記挿通孔４７と前記伸長時ネジ孔４９の位置が一致しており、又前記上シャフト４３の重量が前記摺動ピン５１によって支持されているので、作業者が前記上シャフト４３の重量を支持する必要がなく、容易に前記固着具４４を前記伸長時ネジ孔４９に螺入することができる。又、前記固着具４４で前記上シャフト４３を前記下シャフト４２に固定することができる。

【0064】

更に、上記した収縮状態から伸長状態への変更時、伸長状態から収縮状態への変更時に於いては、図５（Ｂ）に示される様に、前記下シャフト４２の外周面と前記上シャフト４３の内周面との間に隙間が形成されるので、該上シャフト４３を容易に伸縮させることができる。

【0065】

又、収縮状態、伸長状態の何れの場合も、３箇所に設けられた前記摺動ピン５１が、前記長垂直部４５ａ、或は前記短垂直部４５ｃの上端にそれぞれ当接されるので、前記上シャフト４３の上端に固着された前記最上段の棚板１３ａの水平度を容易に出すことができる。

【0066】

又、第１の実施例では、前記下シャフト４２の径よりも前記上シャフト４３の径を大きくしたことで、前記最上段の棚板１３ａ上に複数のポッド９が載置され、回転した場合に於いても充分な曲げ剛性及び捻り剛性を得ることができ、前記支柱１２の屈曲や破損を防止することができる。

【0067】

上述の様に、第１の実施例では、前記支柱１２の、前記最上段の棚板１３ａと前記上から２段目の棚板１３ｂとの間の部分を２重管構造の伸縮部４１とし、伸縮可能な構造としたので、前記最上段の棚板１３ａを取外すことなく前記回転式ポッド棚１１の高さを縮め、輸送用のコンテナに積込むことができる。

【0068】

従って、輸送時に於ける前記最上段の棚板１３ａの取外し、取外した該最上段の棚板１３ａの梱包、納品先での該最上段の棚板１３ａの再取付け等の作業が必要なくなるので、取付け及び取外しに対応する工数を削減することができ、作業時間及び作業労力の低減が図れると共に、取外した該最上段の棚板１３ａの為に別途輸送費用及び梱包材費用が掛るのを省略でき、作業、梱包、輸送等に於けるコストの低減を図ることができる。

【0069】

更に、前記回転式ポッド棚１１は、簡易な操作で伸縮可能であるので、作業者は１人で安全に行え、又リフターや治具を必要とせず、作業コストを低減させることができる。

【0070】

尚、第１の実施例では、前記支柱１２の前記最上段の棚板１３ａと前記上から２段目の棚板１３ｂとの間のみを伸縮可能な構造としているが、該上から２段目の棚板１３ｂと上から３段目の棚板１３ｃとの間、該上から３段目の棚板１３ｃと最下段の棚板１３ｄとの間の一方或は両方を伸縮可能な構造としてもよい。

【0071】

又、第１の実施例では、前記摺動溝４５及び前記摺動ピン５１を３箇所に設けているが、前記摺動溝４５及び前記摺動ピン５１は４箇所以上に設けてもよいのは言う迄もない。

【0072】

次に、図７（Ａ）（Ｂ）に於いて、本発明の第２の実施例に於ける回転式ポッド棚１１について説明する。尚、図７（Ａ）（Ｂ）中、図３（Ａ）（Ｂ）中と同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。

【0073】

第２の実施例では、支柱１２の、最上段の棚板１３ａと上から２段目の棚板１３ｂとの間の部分は円柱部１２ａとなり、上から２段目の棚板１３ｂと上から３段目の棚板１３ｃとの間の部分は円筒部１２ｂとなっている。前記円柱部１２ａの外径は前記円筒部１２ｂの内径よりも小さく、前記円柱部１２ａは前記円筒部１２ｂに摺動自在に内嵌している。

【0074】

前記円柱部１２ａの下端から所定距離上方には、周面より径方向に突出する略直方体形状の係止片５３が周方向に所定間隔で所定箇所、例えば３箇所に設けられ、前記円柱部１２ａの軸心から前記係止片５３の先端迄の長さは、前記円筒部１２ｂの内径よりも長くなっている。

【0075】

又、前記円筒部１２ｂの内周面には、前記係止片５３と同数且つ同等の間隔で挿通溝５４が刻設されている。該挿通溝５４は前記円筒部１２ｂの高さ方向に軸心と平行に全長に亘って刻設されると共に、前記挿通溝５４は前記係止片５３が自在に摺動できる大きさとなっている。

【0076】

前記回転式ポッド棚１１が伸長状態の場合には、前記係止片５３の下面が前記円筒部１２ｂの上端面に当接した状態で、ボルト等の固着具（図示せず）により前記円柱部１２ａと前記円筒部１２ｂとが固着されている。

【0077】

前記回転式ポッド棚１１を伸長状態から収縮状態へと変更する際には、前記円柱部１２ａ及び前記円筒部１２ｂから前記固着具を取外し、前記係止片５３と前記挿通溝５４の位置が合致する様前記円柱部１２ａを回転させる。その後、前記最上段の棚板１３ａの下面が前記上から２段目の棚板１３ｂの上面と当接する迄降下させることで、前記係止片５３が前記挿通溝５４を通って降下し、前記円柱部１２ａが全て前記円筒部１２ｂの内部に収納される。最後に前記固着具により前記円柱部１２ａと前記円筒部１２ｂとを固着することで、前記回転式ポッド棚１１が収縮状態で固定される。

【0078】

前記回転式ポッド棚１１を収縮状態から伸長状態へと変更する際には、上記と逆の順序で作業が行われる。この時、前記挿通溝５４は前記円筒部１２ｂの内周面に高さ方向全長に亘って刻設されているので、前記円柱部１２ａに対するガイド溝の役割を果し、収縮状態から伸長状態への変更を容易とすることができる。

【0079】

又、第２の実施例の前記回転式ポッド棚１１では、前記支柱１２の前記円柱部１２ａを前記円筒部１２ｂ内に全て収納可能な構造となっているので、前記回転式ポッド棚１１の高さをより縮小することができる。

【0080】

尚、第２の実施例では、前記挿通溝５４を前記円筒部１２ｂの全長に亘って刻設しているが、該円筒部１２ｂの上端部にのみ細径部を形成し、該細径部に前記係止片５３が挿通可能な切欠きを設けてもよい。又、前記円柱部１２ａに段付き加工を施し、前記回転式ポッド棚１１の高さを段階的に伸縮できる様にしてもよい。

【0081】

（付記）
又、本発明は以下の実施の態様を含む。

【0082】

（付記１）複数枚の基板が収納される基板搬送容器と、該基板搬送容器を搬送する基板搬送容器搬送装置と、該基板搬送容器搬送装置により搬送された複数の基板搬送容器が格納される基板搬送容器格納棚とを具備し、該基板搬送容器格納棚を高さ方向に伸縮可能としたことを特徴とする基板処理装置。

【0083】

（付記２）前記基板搬送容器格納棚は、支柱と該支柱を中心に回転可能に設けられた複数の棚板とで構成され、前記支柱は上側の棚板の下面に固着された上シャフトと、下側の棚板から上方に延出する下シャフトからなる２重管構造となっており、前記上シャフトは前記下シャフトに摺動自在に外嵌する付記１の基板処理装置。

【0084】

（付記３）前記下シャフト上端部の外周面には所定間隔で所定数摺動ピンが突設され、前記上シャフトには前記摺動ピンと同数且つ同等の間隔で略Ｌ字状の摺動溝が穿設され、該摺動溝を前記摺動ピンが摺動すると共に、該摺動ピンは前記基板搬送容器格納棚の伸長時及び収縮時にそれぞれ前記摺動溝の垂直部上端及び水平部終端で位置決めされる付記２の基板処理装置。

【符号の説明】

【0085】

１ 基板処理装置
９ ポッド
１１ 回転式ポッド棚
１２ 支柱
１３ 棚板
１５ ポッド搬送装置
２１ ウェーハ
２８ ボート
３１ 処理炉
４１ 伸縮部
４２ 下シャフト
４３ 上シャフト
４５ 摺動溝
４６ 嵌合部
４８ 嵌合部
５１ 摺動ピン
５３ 係止片
５４ 挿通溝

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】