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特許5882801半導体結晶性評価装置および該方法
発明の名称 半導体結晶性評価装置および該方法
出願人 株式会社神戸製鋼所 （識別番号 1199）
特許公開件数ランキング 122 位（88件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 168 位（57件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社コベルコ科研 （識別番号 130259）
特許公開件数ランキング 1192 位（6件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1045 位（6件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5882801
公報発行日 2016年3月9
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5882801
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