特許5884145電磁波検知部と光学検知部を使用した検査装置

発明の名称　電磁波検知部と光学検知部を使用した検査装置

出願人　株式会社　システムスクエア　（識別番号 598105802）

　　　　特許公開件数ランキング 3836 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4065 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5884145

公報発行日　2016年3月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5884145

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