特許5884540プラズマ処理用ガス供給管ユニットおよびそれを用いる被膜形成方法

発明の名称　プラズマ処理用ガス供給管ユニットおよびそれを用いる被膜形成方法

出願人　凸版印刷株式会社　（識別番号 3193）

　　　　特許公開件数ランキング 19 位（861件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 30 位（605件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5884540

公報発行日　2016年3月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5884540

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