特許5885830プラズマ源を有する堆積反応炉

発明の名称　プラズマ源を有する堆積反応炉

出願人　ピコサン　オーワイ　（識別番号 510275024）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5885830

公報発行日　2016年3月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5885830

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